弹性波装置
    3.
    发明公开
    弹性波装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN118648242A

    公开(公告)日:2024-09-13

    申请号:CN202380020170.3

    申请日:2023-02-24

    发明人: 林泰伸

    摘要: 本发明提供可以有效地降低IDT电极的电阻的弹性波装置。弹性波装置(1)具备压电性基板(2)、以及设置在压电性基板(2)上的IDT电极(3)。IDT电极(3)在将作为母元素的金属元素设为A、将作为添加物的元素设为B时,具有使用了含有母元素A和添加物B的电极材料的层。母元素A和添加物B是在二元相图中不形成化合物的2种元素。电极材料中,添加物B在母元素A中分散为粒状。

    一种无铅压电陶瓷及其制备方法

    公开(公告)号:CN116813339B

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN202310540861.8

    申请日:2023-05-12

    摘要: 本发明公开了一种无铅压电陶瓷及其制备方法,涉及陶瓷技术领域。无铅压电陶瓷的化学通式为:aK0.48Na0.54Nb0.96O3‑bSb2O3‑cZrO2‑dBi2O3‑xFe2O3‑yCuO‑zMnO2,其中0.92≤a≤0.98,0.02≤b≤0.08,0.02≤c≤0.08,0.01≤d≤0.05,0≤x≤0.03,0≤y≤0.03,0≤z≤0.03。本申请通过引入氧化铁、氧化铜、氧化锰三者协同辅助铌酸钾钠基陶瓷的烧结,可以降低陶瓷的烧结温度,避免高温下钾钠元素的挥发,在该较低烧结温度的条件下提高铌酸钾钠基陶瓷的烧结性能,减少气孔率,提高了压电陶瓷的致密度和压电性能。

    一种氧化锌薄膜压电传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN118175913B

    公开(公告)日:2024-08-30

    申请号:CN202410591535.4

    申请日:2024-05-14

    摘要: 本发明属于半导体器件技术领域,具体涉及一种氧化锌薄膜压电传感器,包括刚性支撑基底,刚性支撑基底提供结构支撑,刚性支撑基底上设有第一电极层,第一电极层上设有氧化锌薄膜,氧化锌薄膜包括氧化锌主组分以及掺杂组分;掺杂组分包括P型掺杂源、N型掺杂源和加工带入掺杂源;各掺杂组分中的所有元素均以氧化物的形式掺杂到氧化锌薄膜中;氧化锌薄膜上设有第二电极层,第二电极层上设有保护层;第一电极层和第二电极层上设置连接线,连接线将传感器与传感器测量电路连接,本发明对工艺参数进行优化,使制备的薄膜组分含量接近预设组分含量,可应用于触摸屏、医疗设备和工业自动化等领域。

    压电装置
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113412579B

    公开(公告)日:2024-08-27

    申请号:CN201980091764.7

    申请日:2019-09-26

    摘要: 压电驱动部(120)由多个层构成,直接或间接支承于基部(110)。压电驱动部(120)包含压电体层(130)、上部电极层(140)以及下部电极层(150)。上部电极层(140)配置于压电体层(130)的上侧。下部电极层(150)以夹着压电体层(130)而与上部电极层(140)的至少局部相对的方式配置。在压电驱动部(120)中,通过设有沿着上下方向贯通的贯通槽(121)而形成一对内侧面(122)。一对内侧面(122)分别包含贯通槽(121)的宽度从压电体层(130)的上端面(131)朝向下方逐渐变窄的第1窄幅部(123)。

    压电薄膜元件
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112750941B

    公开(公告)日:2024-06-25

    申请号:CN202011162665.4

    申请日:2020-10-27

    申请人: TDK株式会社

    摘要: 本发明提供一种压电薄膜元件,所述压电薄膜元件具备第一电极层和压电薄膜,第一电极层包含具有晶体结构的金属Me,压电薄膜包含具有纤锌矿型结构的氮化铝,氮化铝包含二价元素Md以及四价元素Mt,[Al]是氮化铝中的Al的含量,[Md]是氮化铝中的Md的含量,[Mt]是氮化铝中的Mt的含量,([Md]+[Mt])/([Al]+[Md]+[Mt])为36原子%以上且70原子%以下,LALN是平行于第一电极层的与压电薄膜相接的表面的方向上的氮化铝的晶格长度,LMETAL是上述方向上的Me的晶格长度,LALN比LMETAL长。