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公开(公告)号：CN119301063A
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202380039062.0
申请日：2023-04-21
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: B81B3/00 , H04R17/00 , H10N30/045 , H10N30/20 , H10N30/30 , H10N30/80 , H10N30/853
Abstract: MEMS元件(1)具备：压电元件(100)，包含压电膜(40)，该压电膜(40)包含铁电体，通过施加电压而进行振动；以及二极管部(200)，与上述压电元件(100)电并联连接，包含至少1个二极管(200A、210、220)。
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公开(公告)号：CN118303038A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202280078024.1
申请日：2022-11-24
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 具备声学设备(100)和声学路径(P)。声学设备(100)包含声学MEMS元件(120)。声学路径(P)与声学MEMS元件(120)相通。在声学路径(P)中，能够与通过声学MEMS元件(120)的振动而产生的超声波共鸣。超声波换能器(400)具有通过声学MEMS元件(120)的共振和由声学路径(P)产生的共鸣组合而出现多个声压峰值的声压频率特性。如果将声学MEMS元件(120)的共振频率设为f0，将上述声压频率特性中出现多个声压峰值的频率之中低于共振频率f0且最接近共振频率f0的频率设为fl，则满足5≤(f0‑fl)/f0×100≤33的关系。
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公开(公告)号：CN112470298B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN201980049523.6
申请日：2019-07-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: MEMS器件(101)具备由压电体的单晶构成的压电层(10)、配置于压电层(10)的第一方向(91)的表面的第一电极(14)、以及配置为覆盖压电层(10)的第一方向(91)的表面的作为第一层的中间层(3)。压电层(10)的至少一部分包含在膜片部(6)中。第一电极(14)被第一层(3)覆盖且具有凹部。压电层(10)在与第一电极(14)的至少一部分对应的位置处具有贯通孔(18)，该贯通孔(1g)贯穿压电层(10)，使得将压电层(10)的与第一方向(91)相反的一侧即第二方向(92)的表面与所述凹部连结。
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公开(公告)号：CN113261308B
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN201980079191.6
申请日：2019-08-16
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 板状部(121)具有遍及上下方向的整个厚度而与连接部(123)连接的多个第1连接区域(121R)。多个第1连接区域(121R)沿着板状部(121)的外周侧面(121S)的周向而位于相互隔开间隔的位置。基端部(122)具有遍及上下方向的整个厚度而与连接部(123)连接的多个第2连接区域(122R)。多个第2连接区域(122R)沿着上述周向而位于相互隔开间隔的位置。连接部(123)具有如下形状：在从多个第1连接区域(121R)之中的任意的第1连接区域(121R)向板状部(121)的外周侧延伸并通过多个第2连接区域(122R)之中的任意的第2连接区域(122R)的多个虚拟直线(L)上分别由于设置于隔膜部(120)的至少一个槽部(124)而变得不连续。
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公开(公告)号：CN111095585A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201880059615.8
申请日：2018-11-16
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/053 , H01L41/09 , H03H3/02 , H03H9/17
Abstract: 压电器件具备：至少一部分能够弯曲振动且极化状态相同的压电单晶体(10)、配置在压电单晶体(10)的上表面上的上部电极(22)、配置在压电单晶体(10)的下表面上的下部电极(21)、和配置在压电单晶体(10)的下方的支承基板(40)，设置有从支承基板(40)的下表面朝向压电单晶体(10)的下表面上的凹部(141)。
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公开(公告)号：CN107852449A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680040944.9
申请日：2016-06-30
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种振动装置，能不对压电振子施加较大负荷，有利地去除附着在外罩、镜头上的水滴等。振动装置(2)使用于具有透镜(9)的摄像头主体。振动装置具有：设有压电振子(15)的筒状振动体部(12)；与筒状振动体部(12)的一端连结的筒状的模式转换结合部(21)；以及与模式转换结合部(21)接合的透光体部(22)。透光体部(22)具有配置在透镜(9)的前方的透光性部分。模式转换结合部(21)具有与筒状振动体部(12)相比、厚度较薄的薄壁部。
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公开(公告)号：CN102959752B
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201180030839.4
申请日：2011-07-26
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/08 , H01L41/187 , H01L41/316 , H01L41/319 , C23C14/08
CPC classification number: H01L41/0805 , C23C14/0036 , C23C14/083 , C23C14/088 , H01L41/0815 , H01L41/1873 , H01L41/22 , H01L41/316 , H01L41/319
Abstract: 提供一种具有表面形态良好、结晶性优异的压电薄膜层的压电薄膜元件的制造方法。压电薄膜元件的制造方法包括：在基板(1)上形成下部电极层(2)的工序；在下部电极层(2)上，以相对较低的成膜温度来形成压电薄膜缓冲层(3)的工序；在压电薄膜缓冲层(3)上，以比压电薄膜缓冲层(3)的成膜温度高的成膜温度来形成压电薄膜层(4)的工序；以及在压电薄膜层(4)上形成上部电极层的工序。
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公开(公告)号：CN113412579B
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN201980091764.7
申请日：2019-09-26
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/17 , H10N30/06 , H10N30/87 , H10N30/20 , H10N30/853 , H10N30/045 , H04R17/00
Abstract: 压电驱动部(120)由多个层构成，直接或间接支承于基部(110)。压电驱动部(120)包含压电体层(130)、上部电极层(140)以及下部电极层(150)。上部电极层(140)配置于压电体层(130)的上侧。下部电极层(150)以夹着压电体层(130)而与上部电极层(140)的至少局部相对的方式配置。在压电驱动部(120)中，通过设有沿着上下方向贯通的贯通槽(121)而形成一对内侧面(122)。一对内侧面(122)分别包含贯通槽(121)的宽度从压电体层(130)的上端面(131)朝向下方逐渐变窄的第1窄幅部(123)。
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公开(公告)号：CN115210891A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202180017323.X
申请日：2021-02-22
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/047 , H04R17/00 , H01L41/187 , H01L41/29 , H03H9/17
Abstract: 层叠部(120)至少在凹部(113)的上方包含单晶压电体层(130)和对单晶压电体层(130)施加电压的一对电极层。构成一对电极层的至少一部分且沿着单晶压电体层(130)的基部(111)侧延伸存在的下部电极层(150)仅位于凹部(113)内。
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公开(公告)号：CN114731149A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202080080825.2
申请日：2020-07-27
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 压电装置(100)包括外侧基部(110)、突出基部(120)以及仅一个悬臂梁部(130)。突出基部(120)具有突出部(121)和顶端部(122)。突出部(121)从外侧基部(110)的内周面(111)朝向环状的中央(C)突出。顶端部(122)连接于突出部(121)且位于上述中央(C)。悬臂梁部(130)连接于顶端部(122)，与突出部(121)分开且伸出。悬臂梁部(130)具有固定端部(131)和自由周端部(132)。固定端部(131)连接于顶端部(122)。自由周端部(132)位于沿着内周面(111)的位置。突出部(121)位于自由周端部(132)的一端(132a)与另一端(132b)之间。
