公开(公告)号：CN110832655B

公开(公告)日：2023-07-28

申请号：CN201880044685.6

申请日：2018-09-11

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 木村纯一

IPC: H10N30/079 ,  B81B3/00 ,  C23C14/06 ,  H10N30/853 ,  H10N30/87

Abstract: 本发明提供一种压电薄膜与下部电极层(第一电极层)之间的晶格不匹配减少了的压电薄膜元件。压电薄膜元件(10)具备第一电极层(6a)、及直接层叠于第一电极层(6a)的压电薄膜(2)，第一电极层(6a)包含由两种以上的金属元素构成的合金，第一电极层(6a)具有体心立方晶格结构，压电薄膜(2)具有纤锌矿型结构。

公开(公告)号：CN111244263B

公开(公告)日：2023-05-12

申请号：CN201911173017.6

申请日：2019-11-26

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 木村纯一 ,  井上柚华梨

IPC: H10N30/85 ,  H10N30/093 ,  H10N30/092

Abstract: 本发明提供一种压电薄膜元件，该压电薄膜元件(10)具备导电层(4)、和直接层叠于导电层(4)表面的压电薄膜(2)，压电薄膜(2)包含具有纤锌矿型结构的多个晶粒，至少一部分晶粒的(001)面在导电层(4)的表面的法线方向DN上取向，与导电层(4)的表面平行的方向上的多个晶粒的中值粒径为30nm以上且80nm以下。

公开(公告)号：CN110832655A

公开(公告)日：2020-02-21

申请号：CN201880044685.6

申请日：2018-09-11

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 木村纯一

IPC: H01L41/319 ,  B81B3/00 ,  C23C14/06 ,  H01L41/047 ,  H01L41/187

Abstract: 本发明提供一种压电薄膜与下部电极层(第一电极层)之间的晶格不匹配减少了的压电薄膜元件。压电薄膜元件(10)具备第一电极层(6a)、及直接层叠于第一电极层(6a)的压电薄膜(2)，第一电极层(6a)包含由两种以上的金属元素构成的合金，第一电极层(6a)具有体心立方晶格结构，压电薄膜(2)具有纤锌矿型结构。

公开(公告)号：CN110832654A

公开(公告)日：2020-02-21

申请号：CN201880044596.1

申请日：2018-09-11

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 木村纯一

IPC: H01L41/319 ,  B81B3/00 ,  C23C14/06 ,  H01L41/047 ,  H01L41/187

Abstract: 本发明提供一种压电薄膜与下部电极层(第一电极层)之间的晶格不匹配减少了的压电薄膜元件。压电薄膜元件(10)具备第一电极层(6a)、和直接层叠于第一电极层(6a)的压电薄膜(2)，第一电极层(6a)包含由两种以上的金属元素构成的合金，第一电极层(6a)具有面心立方晶格结构，压电薄膜(2)具有纤锌矿型结构。

公开(公告)号：CN112750941B

公开(公告)日：2024-06-25

申请号：CN202011162665.4

申请日：2020-10-27

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 木村纯一 ,  井上柚华梨

IPC: H10N30/50 ,  H10N30/853 ,  C04B35/581

Abstract: 本发明提供一种压电薄膜元件，所述压电薄膜元件具备第一电极层和压电薄膜，第一电极层包含具有晶体结构的金属Me，压电薄膜包含具有纤锌矿型结构的氮化铝，氮化铝包含二价元素Md以及四价元素Mt，[Al]是氮化铝中的Al的含量，[Md]是氮化铝中的Md的含量，[Mt]是氮化铝中的Mt的含量，([Md]+[Mt])/([Al]+[Md]+[Mt])为36原子％以上且70原子％以下，LALN是平行于第一电极层的与压电薄膜相接的表面的方向上的氮化铝的晶格长度，LMETAL是上述方向上的Me的晶格长度，LALN比LMETAL长。

公开(公告)号：CN110832654B

公开(公告)日：2023-07-28

申请号：CN201880044596.1

申请日：2018-09-11

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 木村纯一

IPC: H10N30/079 ,  B81B3/00 ,  C23C14/06 ,  H10N30/853 ,  H10N30/87

Abstract: 本发明提供一种压电薄膜与下部电极层(第一电极层)之间的晶格不匹配减少了的压电薄膜元件。压电薄膜元件(10)具备第一电极层(6a)、和直接层叠于第一电极层(6a)的压电薄膜(2)，第一电极层(6a)包含由两种以上的金属元素构成的合金，第一电极层(6a)具有面心立方晶格结构，压电薄膜(2)具有纤锌矿型结构。

公开(公告)号：CN112750941A

公开(公告)日：2021-05-04

申请号：CN202011162665.4

申请日：2020-10-27

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 木村纯一 ,  井上柚华梨

IPC: H01L41/083 ,  H01L41/187 ,  C04B35/581

Abstract: 本发明提供一种压电薄膜元件，所述压电薄膜元件具备第一电极层和压电薄膜，第一电极层包含具有晶体结构的金属Me，压电薄膜包含具有纤锌矿型结构的氮化铝，氮化铝包含二价元素Md以及四价元素Mt，[Al]是氮化铝中的Al的含量，[Md]是氮化铝中的Md的含量，[Mt]是氮化铝中的Mt的含量，([Md]+[Mt])/([Al]+[Md]+[Mt])为36原子％以上且70原子％以下，LALN是平行于第一电极层的与压电薄膜相接的表面的方向上的氮化铝的晶格长度，LMETAL是上述方向上的Me的晶格长度，LALN比LMETAL长。

公开(公告)号：CN111244263A

公开(公告)日：2020-06-05

申请号：CN201911173017.6

申请日：2019-11-26

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 木村纯一 ,  井上柚华梨

IPC: H01L41/18 ,  H01L41/39 ,  H01L41/37

Abstract: 本发明提供一种压电薄膜元件，该压电薄膜元件(10)具备导电层(4)、和直接层叠于导电层(4)表面的压电薄膜(2)，压电薄膜(2)包含具有纤锌矿型结构的多个晶粒，至少一部分晶粒的(001)面在导电层(4)的表面的法线方向DN上取向，与导电层(4)的表面平行的方向上的多个晶粒的中值粒径为30nm以上且80nm以下。