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公开(公告)号：CN110289826B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN201910192683.8
申请日：2019-03-13
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供能够使布线电极对热冲击试验的可靠性提高的弹性波装置。间隔层(5)直接或间接地形成在支承基板(1)上，在从支承基板(1)的厚度方向(D1)俯视的情况下形成在压电膜(2)的外侧。覆盖层(6)形成在间隔层(5)上。贯通电极(7)贯通间隔层(5)和覆盖层(6)，并与布线电极(4)电连接。布线电极(4)具有：第一部分(41)，在从厚度方向(D1)的俯视下与贯通电极(7)重叠；第二部分(42)，在从厚度方向(D1)的俯视下与压电膜(2)重叠；以及台阶部(431)，在第一部分(41)与第二部分(42)之间形成厚度方向(D1)上的台阶。间隔层(5)中的覆盖层(6)侧的端部(52)进入到覆盖层(6)。
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公开(公告)号：CN118648243A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202380020185.X
申请日：2023-02-24
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 林泰伸
IPC: H03H9/145 , H10N30/06 , H10N30/20 , H10N30/853 , H10N30/87
Abstract: 本发明提供一种能够提高IDT电极的耐热性和耐功率性的弹性波装置。弹性波装置(1)具备压电性基板(2)、以及设置在压电性基板(2)上的IDT电极(3)。IDT电极(3)在将作为母元素的金属元素设为A、将作为添加物的元素设为B时，具有使用了含有母元素A和添加物B的电极材料的层。在将x和y设为任意的正数时，在母元素A和添加物B的二元相图中的添加物B的浓度为50at％以下的区域内，包含由AxBy所表示的化合物的相。二元相图中，在将母元素A的熔点设为Ta、将添加物B的熔点设为Tb、将化合物AxBy的熔点设为Tc时，Ta＜Tc、并且Tb‑Ta
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118648242A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202380020170.3
申请日：2023-02-24
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 林泰伸
IPC: H03H9/145 , H10N30/06 , H10N30/20 , H10N30/853 , H10N30/87
Abstract: 本发明提供可以有效地降低IDT电极的电阻的弹性波装置。弹性波装置(1)具备压电性基板(2)、以及设置在压电性基板(2)上的IDT电极(3)。IDT电极(3)在将作为母元素的金属元素设为A、将作为添加物的元素设为B时，具有使用了含有母元素A和添加物B的电极材料的层。母元素A和添加物B是在二元相图中不形成化合物的2种元素。电极材料中，添加物B在母元素A中分散为粒状。
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公开(公告)号：CN114600373A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202080074325.8
申请日：2020-10-28
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 林泰伸
Abstract: 本发明在抑制特性下降的同时使耐电力性提高。弹性波装置(1)具备压电性基板(2)和电极(60)。电极(60)形成在压电性基板(2)上。电极(60)具有第1层(601)和第2层(602)。第1层(601)包含Al和Cu。第2层(602)形成在第1层(601)的与压电性基板(2)侧相反侧，包含Al。第1层(601)具有在与压电性基板(2)的厚度方向(D1)正交的方向上排列的Al晶体(611)和CuAl2晶粒(612)的至少一部分。在电极(60)中，CuAl2晶粒(612)不到达至第2层(602)的与第1层(601)侧相反侧的主面(621)。
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公开(公告)号：CN109791840B
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN201780059789.X
申请日：2017-10-30
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种电子部件，具备：基板，具有第一主面以及第二主面；元件，设置在基板的第一主面上；第一接触电极，与元件电连接；绝缘膜，在俯视第一主面时，在与第一接触电极重叠的位置设置有第一开口；保护膜，被设置为在包括第一开口的周围的至少一部分的区域覆盖绝缘膜；以及第一外部电极，被设置为第一接触电极至保护膜。
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公开(公告)号：CN110289826A
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201910192683.8
申请日：2019-03-13
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供能够使布线电极对热冲击试验的可靠性提高的弹性波装置。间隔层(5)直接或间接地形成在支承基板(1)上，在从支承基板(1)的厚度方向(D1)俯视的情况下形成在压电膜(2)的外侧。覆盖层(6)形成在间隔层(5)上。贯通电极(7)贯通间隔层(5)和覆盖层(6)，并与布线电极(4)电连接。布线电极(4)具有：第一部分(41)，在从厚度方向(D1)的俯视下与贯通电极(7)重叠；第二部分(42)，在从厚度方向(D1)的俯视下与压电膜(2)重叠；以及台阶部(431)，在第一部分(41)与第二部分(42)之间形成厚度方向(D1)上的台阶。间隔层(5)中的覆盖层(6)侧的端部(52)进入到覆盖层(6)。
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公开(公告)号：CN109791840A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201780059789.X
申请日：2017-10-30
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种电子部件，具备：基板，具有第一主面以及第二主面；元件，设置在基板的第一主面上；第一接触电极，与元件电连接；绝缘膜，在俯视第一主面时，在与第一接触电极重叠的位置设置有第一开口；保护膜，被设置为在包括第一开口的周围的至少一部分的区域覆盖绝缘膜；以及第一外部电极，被设置为第一接触电极至保护膜。
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