公开(公告)号：CN116896973A

公开(公告)日：2023-10-17

申请号：CN202310310757.X

申请日：2023-03-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 北田和也 ,  大桥幸司 ,  滨田泰彰 ,  矢野凯己

IPC: H10N30/87

Abstract: 本发明提供一种能够提高压电体层内部的绝缘性的压电元件以及压电元件应用器件。本发明的压电元件具备：基板；第一电极，其被形成在所述基板上；压电体层，其被形成在所述第一电极上；第二电极，其被形成在所述压电体层上，压电体层包含钾、钠、铌、氧和碳，在压电体层内的二次离子质谱分析中，碳的最大强度相对于氧的最大强度的比率为3.1×10‑3以上且9.1×10‑3以下。

公开(公告)号：CN116890528A

公开(公告)日：2023-10-17

申请号：CN202310303950.0

申请日：2023-03-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 滨田泰彰 ,  矢野凯己 ,  北田和也 ,  大桥幸司

IPC: B41J2/14

Abstract: 本发明提供一种能够对振动板的位移量的效率(线性)的下降进行抑制的压电元件、头芯片、液体喷射装置以及传感器。本发明的压电元件具备：第一电极；压电体层，其被形成在所述第一电极的上方；第二电极，其被形成在所述压电体层的上方，所述压电体层包含钾、钠和铌，并且通过纳米压痕法而被测量出的所述压电体层的杨氏模量超过130GPa。

公开(公告)号：CN117835794A

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN202311269427.7

申请日：2023-09-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 矢野凯己 ,  大桥幸司 ,  滨田泰彰 ,  北田和也

IPC: H10N30/853 ,  H10N30/093

Abstract: 本发明提供一种能够抑制漏电流的产生的压电基板、压电元件以及压电元件应用器件。本发明的压电基板的特征在于，具备：基体；电极，其被成膜于所述基体上；压电体层，其被成膜于电极上，并包括钾、钠和铌，通过傅里叶变换红外光谱法来测量压电体层的表面时的峰2的积分强度IR2除以峰1的积分强度IR1而得到的值IR2/IR1小于0.086，其中，峰1为475～700cm‑1波数处检测到的峰中的最强峰的面积强度，峰2为1200～1645cm‑1波数处检测到的峰的面积强度之和。

公开(公告)号：CN116890533A

公开(公告)日：2023-10-17

申请号：CN202310318683.4

申请日：2023-03-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 滨田泰彰 ,  板山泰裕 ,  大桥幸司 ,  北田和也 ,  矢野凯己 ,  中山雅夫

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/055 ,  B41J2/045 ,  B41J2/01

Abstract: 本发明涉及液滴喷出头、打印机。提供即便在高频驱动时也能够抑制异常喷出的液滴喷出头。一种液滴喷出头，具备：喷嘴板，具有喷嘴；压力室形成基板，具有压力室；振动板；以及压电元件，包含钾、钠以及铌，并形成在振动板上。压电元件具有第一电极及第二电极和位于第一电极与第二电极之间的压电体层。压电体层、第一电极及第二电极的厚度的合计比振动板的厚度大。将绝对值25V的电压作为使振动板向压力室的容积膨胀的方向位移的电压施加到压电元件时的振动板的位移量的绝对值为将绝对值25V的电压作为使振动板向压力室的容积收缩的方向位移的电压施加到压电元件时的振动板的位移量的绝对值的2倍以上。

公开(公告)号：CN116782744A

公开(公告)日：2023-09-19

申请号：CN202310237641.8

申请日：2023-03-13

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 大桥幸司 ,  滨田泰彰 ,  北田和也 ,  矢野凯己 ,  浅川勉 ,  竹内正浩 ,  堀场靖央 ,  板山泰裕

IPC: H10N30/85 ,  H10N30/00 ,  H10N30/87

Abstract: 本发明提供一种对压电体层中的裂纹的产生进行抑制的压电元件。该压电元件(44)具备：紧贴层(445)，其被形成在振动板(36)上，并包含钛；下部电极(441)，其被形成在紧贴层(445)上；扩散抑制层(447)，其被形成在下部电极(441)上，并包含铱；种子层(442)，其被形成在扩散抑制层(447)上，并包含铋；压电体层(443)，其被形成在种子层(442)上，并包含钾、钠、铌；上部电极(444)，其被形成在压电体层(443)上。

公开(公告)号：CN116568117A

公开(公告)日：2023-08-08

申请号：CN202310126009.6

申请日：2023-02-01

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 北田和也 ,  大桥幸司 ,  滨田泰彰 ,  矢野凯己

IPC: H10N30/30 ,  H10N30/20 ,  B41J2/14 ,  B41J2/01

Abstract: 本发明提供一种可以提升电气特性的压电元件、液滴喷出头、致动器以及振子。压电元件(44)具备：第一电极(441)，其被形成在基板(36)上；种子层(442)，其被形成在第一电极(441)上；压电体膜(443)，其被形成在种子层(442)上，并含有钾、钠以及铌；第二电极(444)，其被形成在压电体膜(443)上，压电体膜(443)含有锂以及一种以上的第一过渡元素，种子层(442)含有铋，当将压电体膜(443)在层叠方向上进行二等分，并将第二电极(444)侧设为第一区域(443f)且将第一电极(441)侧设为第二区域(443s)时，第一区域(443f)和第二区域(443s)的分界(s2)处的由二次离子质谱测量而得到的铋强度为，压电体膜(443)的由二次离子质谱测量而得到的最大铋强度的五百分之一以下。