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公开(公告)号：CN109484031B
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN201811042820.1
申请日：2018-09-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种在抑制振动板的位移量的降低的同时确保振动板的强度的液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件。液体喷射头具备：喷嘴，其对液体进行喷射；流道基板，其形成有与所述喷嘴连通的压力室和与所述压力室连通的液体供给室；振动板，其被设置于所述流道基板上，且与所述压力室和所述液体供给室重叠；以及压电元件，其被形成于所述振动板中的与所述压力室相反的一侧，所述振动板中的与所述压力室重叠的部分的厚度和所述振动板中的与所述液体供给室重叠的部分的厚度相比而较薄。
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公开(公告)号：CN107949480A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201680050676.9
申请日：2016-08-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14 , B41J2/16 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/319
Abstract: 提供了一种压电装置，包括：基板(10)，所述基板上设置有多个凹部(12)；振动板(50)，其设置在所述基板的一个表面侧；和压电元件(300)，其设置在所述振动板(50)上方，并且在所述压电元件上自基板(10)侧层叠有第一电极(60)、压电层(70)以及第二电极(80)，其中所述第一电极(60)形成为具有第一宽度，所述第一宽度在至少一个凹部(12)的并排设置方向上比所述凹部在所述并排设置方向上的尺寸小，并且所述压电层(70)延伸到所述第一电极(60)的在所述并排设置方向上的外侧，并且所述压电层(70)具有第二宽度，所述第二宽度比所述第一宽度大且比所述凹部(12)在所述并排设置方向上的宽度小，所述振动板(50)含有氧化锆层(52)，并且当氧化锆层(52)的与具有所述第一宽度的所述第一电极相对应的区域被设定为第一区域(p)，氧化锆层(52)的与所述压电层(70)设置在所述第一区域(p)的在所述并排设置方向的外侧的区域相对应的区域被设定为第二区域(q)，并且氧化锆层(52)的与在所述第二区域(q)的所述并排设置方向的外侧的凹部(12)相对应的区域被设定为第三区域(r)时，所述氧化锆层(52)在所述第一区域(p)中在厚度方向的至少第一电极(60)侧含有粒状晶体，并且在所述第三区域(r)中含有柱状晶体。
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公开(公告)号：CN101049758A
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200710091653.5
申请日：2007-04-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491
Abstract: 本发明提供一种促动器装置，该装置具备：振动板，其包含由设置在衬底上的氧化硅(SiO2)形成的弹性膜；和压电元件，其包括设置在所述振动板上的下电极、压电体层及上电极；其中，在所述压电元件发生位移的状态下，所述振动板具有给予该压电元件300[MPa]以上500[MPa]以下拉伸应力的应力。
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公开(公告)号：CN1893138A
公开(公告)日：2007-01-10
申请号：CN200610098456.1
申请日：2006-07-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供了一种具有压电体层的致动器装置、液体喷射头以及液体喷射装置，其中该压电体层由抑制了极化方向的变动的、无变形状态的结晶构成。本发明的致动器装置具有：设置在单晶硅基板上的二氧化硅；设置在二氧化硅上的至少一层缓冲层；以及设置在该缓冲层上，由面取向(100)的镍酸镧构成的基底层；并且还具有压电元件，其包括：设置在该基底层上，由面取向(100)的铂构成的下电极；由面取向为(100)取向的铁电体构成的压电体层，其通过外延生长而形成在该下电极上，具有从由正方晶系、单斜晶系、以及菱形晶系构成的组中选出的至少一种晶系相对于其他晶系占主导地位的晶系；以及设置在该压电体层上的上电极。
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公开(公告)号：CN105835528A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201610056387.1
申请日：2016-01-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 横山直人
IPC: B41J2/14 , H01L41/083
Abstract: 本发明提供了一种能够对因压电体层的氧缺损的偏析而引起的压电元件的劣化进行抑制，并能够长时间良好地对压电元件进行驱动的压电元件的驱动方法。在压电元件(300)的驱动方法中，所述压电元件(300)具备：第一电极(60)；压电体层(70)，其被形成在第一电极(60)上，且由ABO3型钙钛矿结构的复合氧化物构成；第二电极(80)，其被形成在压电体层(70)上，在通过预定的驱动波形而对压电元件(300)进行了预定次数的驱动后，使驱动波形的极性反转并对该压电元件(300)进行驱动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102275384A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201110155375.1
申请日：2011-06-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2202/11
Abstract: 本发明提供液体的排出能力高的液体喷射头及液体喷射装置。液体喷射头(100)具备压电致动器(10)，其具有第1电极(14)、形成于第1电极(14)的上方的压电体(16)和形成于压电体(16)的上方的第2电极(18)；以及静电致动器(20)，其具有第2电极(18)和相对于第2电极(18)隔着空间(24)相对配置的第3电极(22)。
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公开(公告)号：CN101049758B
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200710091653.5
申请日：2007-04-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491
Abstract: 本发明提供一种促动器装置，该装置具备：振动板，其包含由设置在衬底上的氧化硅(SiO2)形成的弹性膜；和压电元件，其包括设置在所述振动板上的下电极、压电体层及上电极；其中，在所述压电元件发生位移的状态下，所述振动板具有给予该压电元件300[MPa]以上500[MPa]以下拉伸应力的应力。
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公开(公告)号：CN100546064C
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200610098456.1
申请日：2006-07-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供了一种具有压电体层的致动器装置、液体喷射头以及液体喷射装置，其中该压电体层由抑制了极化方向的变动的、无变形状态的结晶构成。本发明的致动器装置具有：设置在单晶硅基板上的二氧化硅；设置在二氧化硅上的至少一层缓冲层；以及设置在该缓冲层上，由面取向(100)的镍酸镧构成的基底层；并且还具有压电元件，其包括：设置在该基底层上，由面取向(100)的铂构成的下电极；由面取向为(100)取向的铁电体构成的压电体层，其通过外延生长而形成在该下电极上，具有从由正方晶系、单斜晶系、以及菱形晶系构成的组中选出的至少一种晶系相对于其他晶系占主导地位的晶系；以及设置在该压电体层上的上电极。
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公开(公告)号：CN119459134A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411063786.1
申请日：2024-08-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供液体喷出头及液体喷出装置。液体喷出头具有第一电极、第二电极、通过基准电压与驱动电压的电压差驱动的压电体、相应于压电体的驱动而振动的振动板、通过振动板的振动喷出液体的喷嘴，设向第一电极施加第一基准电压、向第二电极施加第一驱动电压时的振动板的位移量为第一位移量，向第一电极施加第二基准电压、向第二电极施加第二驱动电压时的振动板的位移量为第二位移量时，第一驱动电压的最大值和最小值的差等于第二驱动电压的最大值和最小值的差，第一驱动电压的最小值和第一基准电压的差对应于压电体的矫顽电场，第二驱动电压的最小值和第二基准电压的差比第一驱动电压的最小值和第一基准电压的差接近0，第二位移量大于第一位移量的90％。
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公开(公告)号：CN107949480B
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201680050676.9
申请日：2016-08-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14 , B41J2/16 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/319
Abstract: 提供了一种压电装置，包括：基板(10)，所述基板上设置有多个凹部(12)；振动板(50)，其设置在所述基板的一个表面侧；和压电元件(300)，其设置在所述振动板(50)上方，并且在所述压电元件上自基板(10)侧层叠有第一电极(60)、压电层(70)以及第二电极(80)，其中所述第一电极(60)形成为具有第一宽度，所述第一宽度在至少一个凹部(12)的并排设置方向上比所述凹部在所述并排设置方向上的尺寸小，并且所述压电层(70)延伸到所述第一电极(60)的在所述并排设置方向上的外侧，并且所述压电层(70)具有第二宽度，所述第二宽度比所述第一宽度大且比所述凹部(12)在所述并排设置方向上的宽度小，所述振动板(50)含有氧化锆层(52)，并且当氧化锆层(52)的与具有所述第一宽度的所述第一电极相对应的区域被设定为第一区域(p)，氧化锆层(52)的与所述压电层(70)设置在所述第一区域(p)的在所述并排设置方向的外侧的区域相对应的区域被设定为第二区域(q)，并且氧化锆层(52)的与在所述第二区域(q)的所述并排设置方向的外侧的凹部(12)相对应的区域被设定为第三区域(r)时，所述氧化锆层(52)在所述第一区域(p)中在厚度方向的至少第一电极(60)侧含有粒状晶体，并且在所述第三区域(r)中含有柱状晶体。
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