-
公开(公告)号：CN101051669A
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200710091649.9
申请日：2007-04-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/047 , B41J2/14 , B41J2/045
CPC classification number: B41J2/1629 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491
Abstract: 一种驱动装置、液体喷头及液体喷射装置，该驱动装置，具备变位自如地设置在基板(10)上且由下电极(60)、压电体层(70)及上电极(80)构成的压电元件(300)，并且，使所述下电极(60)的杨氏模量为200Gpa以上，从而防止因压电元件(300)的反复驱动引起的变位降低。
-
公开(公告)号：CN100503058C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200610066947.8
申请日：2006-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够较容易地控制结晶状态并可始终获得稳定特性的电介质膜的制造方法，以及可提高压电元件特性的压电元件的制造方法。该方法包括：涂布含有金属有机化合物的胶体溶液来形成介电前驱体膜的涂布工序，金属有机化合物含有构成电介质膜的金属，电介质膜至少含有铅成分；对介电前驱体膜进行干燥的干燥工序；对介电前驱体膜进行脱脂的脱脂工序；煅烧介电前驱体膜以形成电介质膜的煅烧工序；干燥工序具有：将介电前驱体膜加热到低于材料主溶媒的溶剂沸点的温度并保持一定时间以使其干燥的第一干燥工序；在140℃～170℃的范围内干燥介电前驱体膜的第二干燥工序；脱脂工序使脱脂的温度为350℃～450℃，使升温率为15[℃/sec]以上，煅烧工序使升温率为100[℃/sec]～150[℃/sec]。
-
公开(公告)号：CN100377878C
公开(公告)日：2008-04-02
申请号：CN200510002864.8
申请日：2005-01-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2202/03 , C04B35/499 , C04B2235/3206 , C04B2235/3224 , C04B2235/3251 , C04B2235/3258 , C04B2235/3272 , C04B2235/3275 , C04B2235/3279 , C04B2235/3284 , C04B2235/3286 , C04B2235/768 , H01L41/1875 , H01L41/317 , H03H3/02 , H03H3/08 , H03H9/02015 , H03H9/02031 , H03H9/02574 , H03H9/0542 , H03H9/173 , H03H9/174 , H03H2003/021 , H03H2003/023
Abstract: 本发明公开了一种具有高压电常数的压电薄膜的压电元件，以及使用该压电元件的压电致动器、喷墨式记录头、喷墨打印机、表面声波组件、频率滤波器、振荡器、电子电路、以及电子设备。该压电元件(1)包括在基体上形成的种晶层(5)和在该种晶层(5)上形成的压电薄膜(6)。该种晶层(5)是由钙钛矿型的压电材料构成的，同时又是优选定向为假立方晶(100)的。压电薄膜层(6)是由钙钛矿型的、具有斜六方体结构的、同时优选定向为假立方晶(100)的驰豫材料构成的。
-
公开(公告)号：CN101049758A
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200710091653.5
申请日：2007-04-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491
Abstract: 本发明提供一种促动器装置，该装置具备：振动板，其包含由设置在衬底上的氧化硅(SiO2)形成的弹性膜；和压电元件，其包括设置在所述振动板上的下电极、压电体层及上电极；其中，在所述压电元件发生位移的状态下，所述振动板具有给予该压电元件300[MPa]以上500[MPa]以下拉伸应力的应力。
-
公开(公告)号：CN101049758B
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200710091653.5
申请日：2007-04-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491
Abstract: 本发明提供一种促动器装置，该装置具备：振动板，其包含由设置在衬底上的氧化硅(SiO2)形成的弹性膜；和压电元件，其包括设置在所述振动板上的下电极、压电体层及上电极；其中，在所述压电元件发生位移的状态下，所述振动板具有给予该压电元件300[MPa]以上500[MPa]以下拉伸应力的应力。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1840244A
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：CN200610066947.8
申请日：2006-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够较容易地控制结晶状态并可始终获得稳定特性的电介质膜的制造方法，以及可提高压电元件特性的压电元件的制造方法。该方法包括：涂布含有金属有机化合物的胶体溶液来形成介电前驱体膜的涂布工序，金属有机化合物含有构成电介质膜的金属，电介质膜至少含有铅成分；对介电前驱体膜进行干燥的干燥工序；对介电前驱体膜进行脱脂的脱脂工序；煅烧介电前驱体膜以形成电介质膜的煅烧工序；干燥工序具有：将介电前驱体膜加热到低于材料主溶媒的溶剂沸点的温度并保持一定时间以使其干燥的第一干燥工序；在140℃～170℃的范围内干燥介电前驱体膜的第二干燥工序；脱脂工序使脱脂的温度为350℃～450℃，使升温率为15[℃/sec]以上，煅烧工序使升温率为100[℃/sec]～150[℃/sec]。
-
公开(公告)号：CN1647923A
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN200510002864.8
申请日：2005-01-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2202/03 , C04B35/499 , C04B2235/3206 , C04B2235/3224 , C04B2235/3251 , C04B2235/3258 , C04B2235/3272 , C04B2235/3275 , C04B2235/3279 , C04B2235/3284 , C04B2235/3286 , C04B2235/768 , H01L41/1875 , H01L41/317 , H03H3/02 , H03H3/08 , H03H9/02015 , H03H9/02031 , H03H9/02574 , H03H9/0542 , H03H9/173 , H03H9/174 , H03H2003/021 , H03H2003/023
Abstract: 本发明公开了一种具有高压电常数的压电薄膜的压电元件，以及使用该压电元件的压电致动器、喷墨式记录头、喷墨打印机、表面声波组件、频率滤波器、振荡器、电子电路、以及电子设备。该压电元件(1)包括在基体上形成的种晶层(5)和在该种晶层(5)上形成的压电薄膜(6)。该种晶层(5)是由钙钛矿型的压电材料构成的，同时又是优选定向为假立方晶(100)的。压电薄膜层(6)是由钙钛矿型的、具有斜六方体结构的、同时优选定向为假立方晶(100)的驰豫材料构成的。
-
公开(公告)号：CN100595942C
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200710091649.9
申请日：2007-04-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/047 , B41J2/14 , B41J2/045
CPC classification number: B41J2/1629 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491
Abstract: 一种驱动装置、液体喷头及液体喷射装置，该驱动装置，具备变位自如地设置在基板(10)上且由下电极(60)、压电体层(70)及上电极(80)构成的压电元件(300)，并且，使所述下电极(60)的杨氏模量为200Gpa以上，从而防止因压电元件(300)的反复驱动引起的变位降低。
-
公开(公告)号：CN100420654C
公开(公告)日：2008-09-24
申请号：CN200510103970.5
申请日：2005-09-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 野口元久
IPC: C04B35/624 , C04B35/00 , C04B35/63 , H01L27/10
CPC classification number: C01G33/006 , C01G25/006 , C01P2002/72 , C01P2006/40 , C04B35/493 , C04B35/624 , C04B35/6264 , C04B2235/3251 , C04B2235/44 , C04B2235/441 , C04B2235/449
Abstract: 本发明提供前体溶液的制造方法，是用于采用溶胶凝胶法形成将Pb、Zr、Ti以及Nb作为构成元素的PZTN复合氧化物的前体溶液的制造方法，包括：至少将羧酸铅溶解于具有烷氧基的有机溶剂中形成第1溶液的工序；加热处理上述第1溶液而除去上述羧酸铅的结晶水，同时通过该羧酸铅与具有上述烷氧基的有机溶剂的配位基取代反应，形成醇铅，从而形成含有该醇铅的第2溶液的工序；在上述第2溶液中混合从Pb以外的Zr、Ti以及Nb中选择的至少1种的金属醇盐，形成含有Pb、Zr、Ti以及Nb的各自的金属醇盐的第3溶液的工序；在上述第3溶液中加水，进行上述金属醇盐的水解、缩合，从而形成含有PZTN复合氧化物的前体的第4溶液的工序。
-
公开(公告)号：CN1931791A
公开(公告)日：2007-03-21
申请号：CN200510103970.5
申请日：2005-09-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 野口元久
IPC: C04B35/624 , C04B35/00 , C04B35/63 , H01L27/10
CPC classification number: C01G33/006 , C01G25/006 , C01P2002/72 , C01P2006/40 , C04B35/493 , C04B35/624 , C04B35/6264 , C04B2235/3251 , C04B2235/44 , C04B2235/441 , C04B2235/449
Abstract: 本发明提供前体溶液的制造方法，是用于采用溶胶凝胶法形成将Pb、Zr、Ti以及Nb作为构成元素的PZTN复合氧化物的前体溶液的制造方法，包括：至少将羧酸铅溶解于具有烷氧基的有机溶剂中形成第1溶液的工序；加热处理上述第1溶液而除去上述羧酸铅的结晶水，同时通过该羧酸铅与具有上述烷氧基的有机溶剂的配位基取代反应，形成醇铅，从而形成含有该醇铅的第2溶液的工序；在上述第2溶液中混合从Pb以外的Zr、Ti以及Nb中选择的至少1种的金属醇盐，形成含有Pb、Zr、Ti以及Nb的各自的金属醇盐的第3溶液的工序；在上述第3溶液中加水，进行上述金属醇盐的水解、缩合，从而形成含有PZTN复合氧化物的前体的第4溶液的工序。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
10
records
(took 0.019 seconds)
