一种压电陶瓷致动元件及其制作方法

    公开(公告)号:CN102664234A

    公开(公告)日:2012-09-12

    申请号:CN201210157180.5

    申请日:2012-05-21

    申请人: 花毅

    发明人: 花毅

    IPC分类号: H01L41/113 H01L41/24

    摘要: 本发明公开了一种压电陶瓷致动元件。本发明的压电陶瓷致动元件包括具有基片电极的基片,以及一片或两片正反表面分别附着有电极层的压电陶瓷片,所述压电陶瓷片与基片电极通过粘剂相互粘接,压电陶瓷片与基片电极的粘接面上存在至少一处填充有导电物质的无粘剂区域。本发明通过在压电陶瓷片与基片电极的粘接面上设置填充有导电物质的无粘剂区域,使基片电极与压电陶瓷片粘接面的电极层之间实现充分电导通,有效提高了压电陶瓷致动元件工作时的出力,且增加了压电陶瓷致动元件的使用寿命;并进一步通过在基片上与无粘剂区域所对应的位置设置充满导电物质的通孔,降低了制作工艺难度。本发明还公开了一种压电陶瓷致动元件的制作方法。

    压电极化装置及方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102610741A

    公开(公告)日:2012-07-25

    申请号:CN201210081374.1

    申请日:2012-03-23

    申请人: 浙江大学

    发明人: 王治 诸骏 陈伟球

    IPC分类号: H01L41/24

    摘要: 本发明涉及压电陶瓷材料的极化技术,旨在提供一种压电极化装置及方法。该装置包括极化主机;极化油槽设于电气控制箱上部,并通过升降装置连接至电机;极化油槽中设电加热器,极化油槽上侧盖板的下方设有若干个极化电极;极化电极的下端设有用于夹持待极化试件的夹具;50KW高压直流电源通过电缆连接至远程高压控制仪,电气控制箱通过电缆连接至远程极化控制仪;远程高压控制仪和远程极化控制仪设于离开极化主机至少1.5米的距离之外。本发明能够让操作人员在安全范围内遥控操作极化主机,避免操作人员的不安全因素。无需再长时间升温即可立即进行新试件的极化,具有节能高效的特点。

    层叠型压电元件、使用该层叠型压电元件的喷射装置及燃料喷射系统

    公开(公告)号:CN102511088A

    公开(公告)日:2012-06-20

    申请号:CN201080041342.8

    申请日:2010-10-25

    发明人: 佐藤政宏

    摘要: 本发明提供一种抑制裂纹从端面发展且使耐久性提高了的层叠型压电元件、使用其的喷射装置及燃料喷射系统。层叠型压电元件(1)具备:柱状层叠体(5),其具有压电体层(21)和内部电极层(3a、3b)交替层叠多层而形成的活性部(2a)以及在活性部(2a)的层叠方向的两端配置的分别层叠多层压电体层(22)而形成的非活性部(2b);一对外部电极(4a、4b),它们设置在柱状层叠体(5)的侧面,与内部电极层(3a、3b)每隔一层交替地电连接,其中,在非活性部(2b)中的层间的至少一个,粒径比形成非活性部(2b)的压电体层(22)的压电陶瓷的粒径小的金属粒子(12)在从柱状层叠体(5)的层叠方向观察时,散布在包括内部电极层(3a、3b)彼此重叠的区域的范围内。

    压电发声体
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102450034A

    公开(公告)日:2012-05-09

    申请号:CN201080003821.0

    申请日:2010-01-26

    CPC分类号: H04R17/00 B06B1/0603

    摘要: 本发明提供一种可获得导电性树脂层所构成的引出导体的稳定的连接状态的压电发声体。压电发声体10是在振动板12的一主面侧,从在第1开口13a1、13b1露出的压电元件11的表面电极11a1、11b1上,跨及在第2开口13a2、13b2露出的端子部15的端子电极15a、15b上,而分别平坦地形成着引出导体18a、18b。由此,压电元件11的表面电极11a与端子部15的端子电极15a导电连接,另外,压电元件11的表面电极11b、11c与端子部15的端子电极15b导电连接。因此,不易在引出导体上产生由裂纹等所引起的连接不良。

    一种微型压电泵的制备方法

    公开(公告)号:CN102306703A

    公开(公告)日:2012-01-04

    申请号:CN201110226589.3

    申请日:2011-08-09

    IPC分类号: H01L41/24 F04B43/04

    摘要: 本发明公开一种微型压电泵的制备方法,首先在双抛双氧硅片上溅射一层铬铜种子层;在种子层上电镀金属作为压电陶瓷片的底层导电层;把压电陶瓷片连接在底层导电层上;减薄压电陶瓷片;在双抛双氧硅片背面开出二氧化硅的刻蚀窗口;刻蚀刻蚀窗口中的二氧化硅得到硅的刻蚀窗口;湿法刻蚀刻蚀窗口中的硅,得到泵的腔体;开出正面压电陶瓷片的刻蚀窗口;切出带压电陶瓷片的泵腔体;刻蚀未被光刻胶保护的压电陶瓷片得到压电陶瓷片的泵腔体;在泵腔体上粘接带有阀的PDMS腔体,PDMS腔体中的进口阀连接进液口,出口阀连接微针。本发明通过湿法刻蚀加工泵的腔体,方法简单,成本低;压电泵可以做的很小,可以控制微流量液体;工作可靠。