压电单晶元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1954445A

    公开(公告)日:2007-04-25

    申请号:CN200480042961.3

    申请日:2004-10-29

    发明人: 松下三芳

    摘要: 本发明提供耐热性优良的压电单晶元件及其制造方法,该元件即使在有从室温到高温(具体为150℃)的温度变化的使用环境下,也可以使横向振动模式的机电耦合系数k31稳定而不降低,从而保持50%以上的高值。具体而言,其特征在于,当以将[001]轴为C轴(晶格常数最大的轴)的正方晶格的[101]轴为极化方向3时,压电元件端面T的法线方向1处于包含与极化方向3大致正交方向的[-101]轴且相对该[-101]轴成±25°立体角的角度范围内,或者,当以上述正方晶格的[011]轴为极化方向3时,压电元件端面T的法线方向1处于包含与极化方向大致正交方向的[0-11]轴且相对该[0-11]轴成±25°立体角的角度范围内,无论何种情况,与极化方向3大致正交方向即横向的振动模式的机电耦合系数k31均在50%以上。

    铌酸锂单晶基板的制造方法

    公开(公告)号:CN108138357A

    公开(公告)日:2018-06-08

    申请号:CN201680057085.4

    申请日:2016-06-08

    发明人: 梶谷富男

    摘要: 本发明的课题是提供一种容易管理涉及温度、时间等的处理条件、体积电阻值的面内分布少并且由同一晶锭加工成的基板间的体积电阻率偏差少的铌酸锂(LN)基板的制造方法。本发明是使用通过丘克拉斯基法培养成的LN单晶制造LN基板的方法,其特征在于,将单晶中的Fe浓度为50质量ppm以上且2000质量ppm以下的、晶锭状态的铌酸锂单晶埋入Al粉末中或者埋入Al和Al2O3的混合粉末中,在450℃以上且小于铝的熔点660℃的温度条件下进行热处理,制造体积电阻率被控制在1×108Ω·cm以上且2×1012Ω·cm以下的范围的铌酸锂单晶基板。

    压电单晶元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN100448048C

    公开(公告)日:2008-12-31

    申请号:CN200480042961.3

    申请日:2004-10-29

    发明人: 松下三芳

    摘要: 本发明提供耐热性优良的压电单晶元件及其制造方法,该元件即使在有从室温到高温(具体为150℃)的温度变化的使用环境下,也可以使横向振动模式的机电耦合系数k31稳定而不降低,从而保持50%以上的高值。具体而言,其特征在于,当以将[001]轴为C轴(晶格常数最大的轴)的正方晶格的[101]轴为极化方向3时,压电元件端面T的法线方向1处于包含与极化方向3大致正交方向的[-101]轴且相对该[-101]轴成±25°立体角的角度范围内,或者,当以上述正方晶格的[011]轴为极化方向3时,压电元件端面T的法线方向1处于包含与极化方向大致正交方向的[0-11]轴且相对该[0-11]轴成±25°立体角的角度范围内,无论何种情况,与极化方向3大致正交方向即横向的振动模式的机电耦合系数k31均在50%以上。

    压电单晶元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1943054A

    公开(公告)日:2007-04-04

    申请号:CN200480042913.4

    申请日:2004-10-28

    发明人: 松下三芳

    摘要: 提供一种能够稳定地得到横向振动模式的机电偶合系数k31为60%以上的压电单晶元件及其制造方法。具体而言,在以极化方向(3)为假立方晶系的[110]轴时,压电元件端面10c的法线方向(1)在包含与极化方向大致正交的方向即[001]轴且在该[001]轴±35°的角度范围内,与极化方向(3)正交的方向即横向振动模式的机电偶合系数k31为60%以上。