弹性波装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN109075764B

    公开(公告)日:2019-06-18

    申请号:CN201780025581.6

    申请日:2017-02-28

    Inventor: 川崎健太郎

    Abstract: 本发明提供一种能够提高生产率且能够减小插入损耗的弹性波装置。弹性波装置(1)具备:压电基板(2);第一IDT电极(4A)~第三IDT电极(4C),设置在压电基板(2)上;以及电介质膜(5),设置在压电基板(2)上,使得覆盖第一IDT电极(4A)~第三IDT电极(4C),且覆盖第一IDT电极(4A)的第一区域(A)的厚度与覆盖第二IDT电极(4B)以及第三IDT电极(4C)的第二区域(B)、第三区域(C)的厚度不同。构成包含第一IDT电极(4A)~第三IDT电极(4C)以及电介质膜(5)的第一弹性波滤波器(3A)~第三弹性波滤波器(3C)(第一弹性波元件~第三弹性波元件)。将如下的厚度设为密度换算厚度,该厚度为将分别构成第一IDT电极(4A)~第三IDT电极(4C)的材料的密度全部设为相同的密度而进行换算的厚度,此时,第一IDT电极(4A)、第二IDT电极(4B)的密度换算厚度相等,第三IDT电极(4C)的密度换算厚度与第一IDT电极(4A)、第二IDT电极(4B)的密度换算厚度不同。

    声表面波谐振器及其制备方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109639252A

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201910027071.3

    申请日:2019-01-11

    Inventor: 杜迅 施小赟

    CPC classification number: H03H3/08

    Abstract: 本发明涉及一种声表面波谐振器及其制备方法,本声表面波谐振器包括:换能器,以及位于换能器两侧的反射栅;将反射栅内与换能器两侧相邻的指条的宽度设为W1,换能器与反射栅内的其余指条的宽度相等设为W2,其中W1<W2。本发明的声表面波谐振器的制备方法可以制备出高品质因数的声表面波谐振器,提高了声表面波谐振器的稳定性和可靠性。

    气密性声表面波元件封装结构及制作方法

    公开(公告)号:CN108768335A

    公开(公告)日:2018-11-06

    申请号:CN201810516232.0

    申请日:2018-05-25

    Applicant: 张琴

    Inventor: 张琴

    CPC classification number: H03H3/08 H03H9/00 H03H9/02535 H03H2009/0019

    Abstract: 本发明公开了一种气密性声表面波元件封装结构及制作方法,所述封装结构包括上玻璃盖板阵列、下玻璃基板阵列和多颗声表面波芯片,所述多颗声表面波芯片贴装到下玻璃基板阵列上,所述上玻璃盖板阵列通过粘合剂与下玻璃基板阵列对准压合,形成多个空腔,上玻璃盖板阵列的多块上玻璃盖板、下玻璃基板阵列的多块下玻璃基板、多颗声表面波芯片和多个空腔均为一一对应,所述声表面波芯片位于对应的空腔内。本发明简化了传统声表面波元件的封装,大大增加了工艺的吞吐量,从而大大提高了生产效率。

    一种压电谐振器的制备方法及压电谐振器

    公开(公告)号:CN107947750A

    公开(公告)日:2018-04-20

    申请号:CN201711172385.X

    申请日:2017-11-22

    Applicant: 周燕红

    Inventor: 周燕红

    CPC classification number: H03H3/02 H03H3/08 H03H9/171 H03H2003/023

    Abstract: 本发明实施例公开了一种压电谐振器的制备方法及压电谐振器,其方法具体包括:在第一衬底上生长材料层;在第二衬底的一侧平面上形成一个凹槽;将所述第一衬底和其上生长的所述材料层与所述第二衬底的一侧表面固定形成空腔;将所述第一衬底与其上生长的所述材料层剥离。本发明实施例通过将第一衬底和其上生长的材料层倒装固定于第二衬底上,在材料层覆盖在第二衬底上形成空腔,这样可以使得第一电极和第二电极之间将声波可以进行全反射,避免能量的泄露,同时降低了带有空腔的压电谐振器的制作难度,改善了压电膜的品质;降低了插入损耗,提高Q值和机电耦合系数,从而大幅度的提高了压电谐振器的性能。

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