微机电系统装置、液体喷射头以及液体喷射装置

    公开(公告)号:CN105966070B

    公开(公告)日:2018-03-23

    申请号:CN201610136485.6

    申请日:2016-03-10

    Abstract: 本发明提供一种MEMS装置、液体喷射头以及液体喷射装置,该MEMS装置能够更加切实地对驱动电路与配线图案进行连接,从而能够对压力产生单元进行驱动,所述液体喷射头能够实施可靠性较高的液体的喷出。所述MEMS装置具备:保护基板(30),其上安装有对压电致动器(300)进行驱动的驱动电路(120),并形成有与驱动电路(120)电连接的配线图案(110);密封基板,其具有第一开口(45),并隔着配线图案(110)的一部分且通过粘合剂(46)而与保护基板(30)粘合,配线图案(110)从保护基板(30)与密封基板(40)通过粘合剂(46)而被粘合的粘合区域(130)起向第一开口(45)延伸,并具有连接部(112),所述连接部(112)具备与驱动电路(120)电连接的连接区域(115),连接部(112)在粘合区域(130)与连接部(112)的分界(140)和连接区域(115)之间形成有槽(114)。

    液体喷射头以及液体喷射装置

    公开(公告)号:CN111823713B

    公开(公告)日:2024-02-06

    申请号:CN202010290879.3

    申请日:2020-04-14

    Abstract: 本发明提供一种能够减少振动板的裂纹等的产生的液体喷射头以及液体喷射装置。液体喷射头具备:振动板,其构成对液体进行收纳的压力室的壁面的一部分;以及压电元件,其使所述振动板进行振动,所述振动板由多个层构成,所述多个层包括具有压缩应力的压缩膜和具有拉伸应力的拉伸膜,所述压缩膜以及所述拉伸膜为所述多个层中的以最大的张力差而相邻的两个层,所述压缩膜与所述拉伸膜的张力差的绝对值为400[N/m]以下。

    液体喷射头以及液体喷射装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114801482A

    公开(公告)日:2022-07-29

    申请号:CN202210092477.1

    申请日:2022-01-26

    Abstract: 本发明提供一种在抑制振动板的裂纹的发生的同时提升了振动板的位移量的液体喷射头以及液体喷射装置。所述液体喷射头设为如下结构:压电致动器(300)在作为压力室(12)的并排设置方向的第一方向上,在与压力室(12)的两端部相对应的振动板(50)的第一区域(P1)具备压电体层(70)被第一电极(60)和第二电极(80)夹着的活性部(310),在与压力室(12)的中央部相对应的第二区域(P2)不具备活性部(310),并且振动板(50)在第一方向上,在第一区域(P1)具有预定厚度的厚壁部(55),在第二区域(P2)具有与厚壁部(55)相比厚度较薄的薄壁部(56)。

    液体喷出头以及液体喷出装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116728962A

    公开(公告)日:2023-09-12

    申请号:CN202310202756.3

    申请日:2023-03-03

    Abstract: 本发明提供一种液体喷出头以及液体喷出装置。该液体喷出头具备:振动板;压力室基板,其被层叠在振动板的第一面上;压电元件,其具有第一能动部以及第二能动部,且被层叠在振动板的第二面上,在将振动板以及压电元件的层叠方向设为第一方向、将在第一方向上观察时第一能动部和第二能动部并排的方向设为第二方向、将与第一方向以及第二方向正交的方向设为第三方向时,第一能动部以及第二能动部的各自的至少一部分在于第一方向上观察时与压力室基板的压力室重叠,压电元件具有沿着第三方向而设置有第一能动部以及第二能动部双方的区域即第一区域、和沿着第三方向而设置有第一能动部以及第二能动部中的一方且未设置另一方的区域即第二区域。

    微机电系统装置、液体喷射头以及液体喷射装置

    公开(公告)号:CN105966070A

    公开(公告)日:2016-09-28

    申请号:CN201610136485.6

    申请日:2016-03-10

    Abstract: 本发明提供一种MEMS装置、液体喷射头以及液体喷射装置,该MEMS装置能够更加切实地对驱动电路与配线图案进行连接,从而能够对压力产生单元进行驱动,所述液体喷射头能够实施可靠性较高的液体的喷出。所述MEMS装置具备:保护基板(30),其上安装有对压电致动器(300)进行驱动的驱动电路(120),并形成有与驱动电路(120)电连接的配线图案(110);密封基板,其具有第一开口(45),并隔着配线图案(110)的一部分且通过粘合剂(46)而与保护基板(30)粘合,配线图案(110)从保护基板(30)与密封基板(40)通过粘合剂(46)而被粘合的粘合区域(130)起向第一开口(45)延伸,并具有连接部(112),所述连接部(112)具备与驱动电路(120)电连接的连接区域(115),连接部(112)在粘合区域(130)与连接部(112)的分界(140)和连接区域(115)之间形成有槽(114)。

    液体喷出头以及液体喷出装置
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118578781A

    公开(公告)日:2024-09-03

    申请号:CN202410213599.0

    申请日:2024-02-27

    Abstract: 本公开提供一种提升液体喷出头的喷出效率的液体喷出头以及液体喷出装置。液体喷出头具有:压电元件,其具有第一电极、压电体层和第二电极;压力室基板,其设置有与喷嘴连通的压力室;振动板,其通过利用压电元件的驱动来进行振动,从而向压力室的液体给予压力,压力室基板、振动板以及压电元件按照此顺序而在层叠方向上被层叠,由压电元件以及振动板而构成的层叠体的中性面位于压电体层内,在使压电体层沿着层叠方向而通过中性面来划分出的两个区域之中,当将在层叠方向上相对于中性面而位于下方的区域设为下部区域、并将在层叠方向上相对于中性面而位于上方的区域设为上部区域时,下部区域的压电常数与上部区域的压电常数相比而较小。

    喷射头以及液体喷射装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118494020A

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202410175482.8

    申请日:2024-02-08

    Abstract: 本发明提供一种即使反复驱动也抑制了液体喷射特性发生劣化的液体喷射头以及液体喷射装置。液体喷射头具备:基板,其形成有多个与喷射液体的喷嘴连通的压力室;振动板,其被设置在基板的一面侧;压电致动器,其具有从振动板侧起在第一方向上层叠的第一电极、压电体层以及第二电极,在将压电致动器中的沿第一方向观察时与压力室重叠并且第一电极、压电体层以及第二电极重叠的部分设为活性部,将压电致动器中的沿第一方向观察时与压力室重叠并且第一电极、压电体层以及第二电极不重叠的部分设为非活性部时,压电体层在活性部与非活性部之间连续地设置,非活性部中形成压电体层的压电体的结晶粒径大于活性部中形成压电体层的压电体的结晶粒径。

    液体喷射头以及液体喷射装置

    公开(公告)号:CN111347782B

    公开(公告)日:2022-12-09

    申请号:CN201911301283.2

    申请日:2019-12-17

    Abstract: 本发明提供一种能够降低振动板的裂纹等的产生的液体喷射头以及液体喷射装置。液体喷射头具备:振动板,其构成对液体进行收纳的压力室的壁面的一部分;压电元件,其使振动板振动,振动板由多个层构成,在将振动板的厚度设为D,并将振动板的中立轴与由多个层中的最大张力差的相邻的两个层形成的界面之间的距离设为d时,满足d/D≤0.25的关系。

    电子设备、液体喷出头以及电子设备的制造方法

    公开(公告)号:CN106553450A

    公开(公告)日:2017-04-05

    申请号:CN201610677838.3

    申请日:2016-08-16

    Abstract: 本发明提供电子设备、液体喷出头、以及电子设备的制造方法,其能够抑制可动区域的裂纹等损伤,并且使振动特性一致。该电子设备的特征在于,多个基板以被层压的状态被相互接合在一起,在多个基板中的一个基板(16)上形成有空间(26),对所述空间进行划分的面中的一面为可动区域(17),所述可动区域具有从空间侧凹陷至可动区域的厚度方向的中途为止的凹部(38),在与基板层压方向垂直的方向上,凹部的内部尺寸大于空间的内部尺寸,一个基板中的对空间进行划分的壁、与凹部的底面的至少一部分通过粘合剂(21)而被粘合。

    液体喷出装置
    10.
    发明公开
    液体喷出装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN116552124A

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202310119893.0

    申请日:2023-02-02

    Abstract: 本发明提供液体喷出装置。液体喷出装置具备:压力室基板,层叠在振动板的第一面且具有划分与喷出液体的喷嘴连通的压力室的隔壁;压电元件,层叠在振动板的第二面且具有在沿振动板的厚度方向观察时与压力室的中心重叠的第一能动部和在比第一能动部接近压力室的外边缘的位置与压力室重叠的第二能动部;驱动信号生成部,生成驱动第一能动部的第一驱动信号和驱动第二能动部的第二驱动信号,第一驱动信号在每个周期性的单位期间包括使压力室的容积收缩的第一收缩要素,第二驱动信号在每个单位期间包括使压力室的容积收缩的第二收缩要素,执行将第一收缩要素向第一能动部供给的第一期间和将第二收缩要素向第二能动部供给的第二期间互相重叠的收缩工序。

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