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公开(公告)号：CN111347782B
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN201911301283.2
申请日：2019-12-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够降低振动板的裂纹等的产生的液体喷射头以及液体喷射装置。液体喷射头具备：振动板，其构成对液体进行收纳的压力室的壁面的一部分；压电元件，其使振动板振动，振动板由多个层构成，在将振动板的厚度设为D，并将振动板的中立轴与由多个层中的最大张力差的相邻的两个层形成的界面之间的距离设为d时，满足d/D≤0.25的关系。
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公开(公告)号：CN111823713B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202010290879.3
申请日：2020-04-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够减少振动板的裂纹等的产生的液体喷射头以及液体喷射装置。液体喷射头具备：振动板，其构成对液体进行收纳的压力室的壁面的一部分；以及压电元件，其使所述振动板进行振动，所述振动板由多个层构成，所述多个层包括具有压缩应力的压缩膜和具有拉伸应力的拉伸膜，所述压缩膜以及所述拉伸膜为所述多个层中的以最大的张力差而相邻的两个层，所述压缩膜与所述拉伸膜的张力差的绝对值为400[N/m]以下。
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公开(公告)号：CN1890103A
公开(公告)日：2007-01-03
申请号：CN200480035810.5
申请日：2004-12-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 公开了一种制造致动器装置的方法和液体喷射装置，其通过防止振动板分离而实现了提高的耐久性和可靠性。该方法包括在衬底的一侧上制造振动板的步骤以及在该振动板上制造由下电极、压电层和上电极构成的压电元件的步骤。振动板制造步骤包括绝缘膜形成子步骤，在该子步骤中通过溅射在衬底的所述一侧上形成锆层，将具有锆层的衬底以200mm/min或更大的速度插入加热到700℃以上的热氧化炉而使锆层热氧化，由此形成氧化锆绝缘膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100418772C
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：CN200480035810.5
申请日：2004-12-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 公开了一种制造致动器装置的方法和液体喷射装置，其通过防止振动板分离而实现了提高的耐久性和可靠性。该方法包括在衬底的一侧上制造振动板的步骤以及在该振动板上制造由下电极、压电层和上电极构成的压电元件的步骤。振动板制造步骤包括绝缘膜形成子步骤，在该子步骤中通过溅射在衬底的所述一侧上形成锆层，将具有锆层的衬底以200mm/min或更大的速度插入加热到700℃以上的热氧化炉而使锆层热氧化，由此形成氧化锆绝缘膜。
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公开(公告)号：CN1323842C
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200510053843.9
申请日：2005-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种既可以提高构成压电元件的压电层的特性，又可以稳定压电层特性的致动器装置的制造方法及液体喷射装置。形成所述振动膜的工序包括通过形成锆层并且在预定温度下对该锆层进行热氧化，从而将由氧化锆形成的构成所述振动膜的最表层的绝缘膜以使其表面粗糙度Ra在1～3nm范围内地形成的工序，并且，形成所述压电元件的工序包括：通过使用溅射法在所述下电极上涂布钛来形成钛种层的工序；以及在该钛种层上涂布压电材料来形成压电体前驱体膜，并且烧结该压电体前驱体膜使其结晶，从而形成所述压电层的工序。
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公开(公告)号：CN1666870A
公开(公告)日：2005-09-14
申请号：CN200510053843.9
申请日：2005-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , H04R17/00 , Y10T29/42 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明提供一种既可以提高构成压电元件的压电层的特性，又可以稳定压电层特性的致动器装置的制造方法及液体喷射装置。形成所述振动膜的工序包括通过形成锆层并且在预定温度下对该锆层进行热氧化，从而将由氧化锆形成的构成所述振动膜的最表层的绝缘膜以使其表面粗糙度Ra在1～3nm范围内地形成的工序，并且，形成所述压电元件的工序包括：通过使用溅射法在所述下电极上涂布钛(Ti)来形成钛种层的工序；以及在该钛种层上涂布压电材料来形成压电体前驱体膜，并且烧结该压电体前驱体膜使其结晶，从而形成所述压电层的工序。
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公开(公告)号：CN111823713A
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN202010290879.3
申请日：2020-04-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够减少振动板的裂纹等的产生的液体喷射头以及液体喷射装置。液体喷射头具备：振动板，其构成对液体进行收纳的压力室的壁面的一部分；以及压电元件，其使所述振动板进行振动，所述振动板由多个层构成，所述多个层包括具有压缩应力的压缩膜和具有拉伸应力的拉伸膜，所述压缩膜以及所述拉伸膜为所述多个层中的以最大的张力差而相邻的两个层，所述压缩膜与所述拉伸膜的张力差的绝对值为400[N/m]以下。
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公开(公告)号：CN111347782A
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201911301283.2
申请日：2019-12-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够降低振动板的裂纹等的产生的液体喷射头以及液体喷射装置。液体喷射头具备：振动板，其构成对液体进行收纳的压力室的壁面的一部分；压电元件，其使振动板振动，振动板由多个层构成，在将振动板的厚度设为D，并将振动板的中立轴与由多个层中的最大张力差的相邻的两个层形成的界面之间的距离设为d时，满足d/D≤0.25的关系。
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