公开(公告)号：CN111823713B

公开(公告)日：2024-02-06

申请号：CN202010290879.3

申请日：2020-04-14

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 御子柴匡矩 ,  矢崎士郎 ,  新保俊尚 ,  鹰合仁司

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/16 ,  B41J2/01

Abstract: 本发明提供一种能够减少振动板的裂纹等的产生的液体喷射头以及液体喷射装置。液体喷射头具备：振动板，其构成对液体进行收纳的压力室的壁面的一部分；以及压电元件，其使所述振动板进行振动，所述振动板由多个层构成，所述多个层包括具有压缩应力的压缩膜和具有拉伸应力的拉伸膜，所述压缩膜以及所述拉伸膜为所述多个层中的以最大的张力差而相邻的两个层，所述压缩膜与所述拉伸膜的张力差的绝对值为400[N/m]以下。

公开(公告)号：CN106313895B

公开(公告)日：2018-03-16

申请号：CN201610494817.8

申请日：2016-06-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 高部本规 ,  矢崎士郎 ,  福泽祐马 ,  平井荣树

IPC: B41J2/045

CPC classification number: B41J2/14274 ,  B41J2/14233 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2202/11 ,  H01L41/0471 ,  H01L41/081 ,  H01L41/083 ,  H01L41/0838 ,  H01L41/09 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/332

Abstract: 本发明提供一种能够缓和能动部的端部处的应力的压电装置、液体喷出头以及液体喷出装置。通过对作为空室的压力室(22)进行划分的压力室形成基板(20)、和被接合于该压力室形成基板上的连通基板(14)而构成了空室部件。以在压力室形成基板的一个面上在与压力室之间夹着可挠面(21)的方式而设置有压电元件(26)。通过利用连通基板(14)来封堵压力室形成基板的凹部(34)从而划分形成空部(35)。该空部(35)被形成于，在俯视观察时与压电元件的能动部的两端(E)重叠的位置处。

公开(公告)号：CN103240994B

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201310042767.6

申请日：2013-01-31

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 平井荣树 ,  矢崎士郎 ,  角浩二 ,  高部本规 ,  小岛力 ,  伊藤浩 ,  清水稔弘 ,  上條隆弘 ,  鸟本达朗 ,  加藤治郎

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/045

CPC classification number: B41J2/14233 ,  B41J2/045 ,  B41J2/14201 ,  B41J2/14274 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1626 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14258 ,  B41J2002/14491 ,  H01L41/0471 ,  H01L41/0805

Abstract: 本发明涉及一种液体喷射头及液体喷射装置，其防止压电体层中的裂纹等不良的产生。所述液体喷射头具备：基板，其形成有与喷嘴开口连通的压力产生室；压电元件，其具有压电体层、第一电极以及第二电极，其中，所述第一电极在所述压电体层的所述基板侧以与所述压力产生室相对应的方式而形成，所述第二电极在所述压电体层的、形成有第一电极的一侧的相反侧以遍及多个所述压力产生室的方式而形成，所述第二电极以在所述压力产生室的长度方向上延伸至所述压力产生室的外侧的方式而形成。

公开(公告)号：CN104044346A

公开(公告)日：2014-09-17

申请号：CN201410088461.9

申请日：2014-03-11

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 矢崎士郎 ,  上條隆弘 ,  清水稔弘 ,  高部本规

IPC: B41J2/045

CPC classification number: H01L41/047 ,  B41J2/055 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1645 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14491 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/081 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/318 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明提供一种能够抑制压电体层封入损坏的液体喷射头及液体喷射装置、压电元件及其制造方法。其具备：流道形成基板（10）和压电元件（300），该流道形成基板（10）具有连通于喷嘴开口的压力产生室，该压电元件（300）具有设于该流道形成基板的一侧的第一电极（60）、含有铅、钛、锆的压电体层（70）以及第二电极80，所述第二电极具备设于所述压电体层侧的第一层（81）和设在该第一层的与所述压电体层的相反侧的第二层（82）；其中，在所述第二电极的与所述压电体层相反侧设有由包含于所述压电体层中的铅聚集而成的多个凸部。

公开(公告)号：CN103252995A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201310049819.2

申请日：2013-02-07

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 平井荣树 ,  矢崎士郎 ,  伊藤浩

IPC: B41J2/045

CPC classification number: B41J2/14201 ,  B41J2/14233 ,  B41J2002/14491 ,  B41J2202/11

Abstract: 本发明提供一种能够抑制裂纹的产生的、可靠性较高的液滴喷射头。本发明所涉及的液滴喷射头包括：个别电极，其以与压力产生室相对应的方式而被设置；压电体层，其被形成在所述个别电极之上；共用电极，其被形成在所述压电体层之上，并以横跨多个所述压力产生室的方式而被设置，在被所述个别电极与所述共用电极夹着的所述压电体层的能动部的长度方向外侧处，设置有导电性部件，所述导电性部件被形成于所述压电体层之上，并且与所述个别电极以及所述共用电极绝缘。

公开(公告)号：CN109484028B

公开(公告)日：2020-11-06

申请号：CN201811041578.6

申请日：2018-09-07

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 中山雅夫 ,  福田俊也 ,  平井荣树 ,  矢崎士郎 ,  中尾元

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/01 ,  H01L41/09

Abstract: 本发明涉及一种液体喷射头、液体喷射装置及压电设备。液体喷射头具有：流道形成基板(10)；保护基板(30)，其被接合于所述流道形成基板(10)的所述一面侧并具有流道(31)；流道部件(40)，其被接合于所述保护基板(30)的与所述流道形成基板(10)相反一侧；驱动电路(120)，其被安装于由流道形成基板(10)、保护基板(30)和流道部件(40)包围而形成的空间(34)内；填充剂(121)，其被填充于所述驱动电路(120)与所述流道形成基板(10)、以及驱动电路(120)与保护基板(30)之间；保护膜(200)，其被形成于从保护基板(30)的所述流道的内壁起、至保护基板(30)的与流道部件(40)接合的接合面中的至少与所述内壁的边界侧为止，所述保护膜(200)具有露出孔(201)，所述露出孔(201)使所述填充剂(121)的表面的至少一部分露出。

公开(公告)号：CN108146074B

公开(公告)日：2019-08-20

申请号：CN201711007643.9

申请日：2017-10-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 矢崎士郎

IPC: B41J2/045

Abstract: 本发明提供一种能够提高压电致动器的相对于长度的位移效率并实现小型化的液体喷射头、液体喷射装置以及压电设备。具备：流道形成基板(10)，其通过分隔壁(11)而形成与喷射液体的喷嘴连通的压力产生室(12)；压电致动器(300)，其通过层压第一电极(60)、压电体层(70)以及第二电极(80)而形成，所述压电体层(70)具有在层压方向上被所述第一电极(60)和所述第二电极(80)夹持的区域(310)，在从所述层压方向俯视观察时，所述区域(310)在所述压力产生室(12)的所述压电致动器(300)侧的开口(12a)的各个边处与至少一部分边缘重叠，在所述开口(12a)的至少一部分处与所述第一电极(60)和所述第二电极(80)中的任意一方不重叠。

公开(公告)号：CN108146074A

公开(公告)日：2018-06-12

申请号：CN201711007643.9

申请日：2017-10-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 矢崎士郎

IPC: B41J2/045

Abstract: 本发明提供一种能够提高压电致动器的相对于长度的位移效率并实现小型化的液体喷射头、液体喷射装置以及压电设备。具备：流道形成基板(10)，其通过分隔壁(11)而形成与喷射液体的喷嘴连通的压力产生室(12)；压电致动器(300)，其通过层压第一电极(60)、压电体层(70)以及第二电极(80)而形成，所述压电体层(70)具有在层压方向上被所述第一电极(60)和所述第二电极(80)夹持的区域(310)，在从所述层压方向俯视观察时，所述区域(310)在所述压力产生室(12)的所述压电致动器(300)侧的开口(12a)的各个边处与至少一部分边缘重叠，在所述开口(12a)的至少一部分处与所述第一电极(60)和所述第二电极(80)中的任意一方不重叠。

公开(公告)号：CN104827773B

公开(公告)日：2017-01-11

申请号：CN201510067096.8

申请日：2015-02-09

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 平井荣树 ,  矢崎士郎 ,  高部本规 ,  福泽祐马

IPC: B41J2/045

CPC classification number: B41J2/14274 ,  B41J2/14201 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/1612 ,  B41J2002/14491 ,  B41J2202/11 ,  H01L41/047

Abstract: 本发明提供一种液体喷射头及液体喷射装置，其能够在不阻碍振动板的变形的条件下抑制初始状态下的压电体层的过度的挠曲。在与压力室(22)对应的区域内，下电极膜(27)的喷嘴列方向上的宽度被形成为窄于压力室(22)的该方向上的宽度，与压力室(22)对应的区域内的振动板极膜(27)而成为活性部的压电体层(28)的区域(P1)；层压有与该振动板(21)之间未夹有下电极膜(27)而成为非活性部的压电体层(28)的区域(P2)；未层压有压电体层(28)的区域(P3)，在将区域(P1)内的振动板的厚度设为t1，将区域(P2)内的振动板的厚度设为t2，并将区域(P3)内的振动板的厚度设为t3时，满足如下的(1)式，即，t1＞t2≥t3…(1)。(21)包括：层压有与该振动板(21)之间夹有下电

公开(公告)号：CN104070804A

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：CN201410108474.8

申请日：2014-03-21

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 矢崎士郎

IPC: B41J2/045

CPC classification number: B41J2/14201 ,  B41J2/14233 ,  B41J2002/14491

Abstract: 本发明提供液体喷射头以及液体喷射装置，能够减少压电元件驱动时的应力集中从而抑制构成部件的损伤。压电体层（28）以覆盖流路形成部件（15）中的多个压力室（22）的开口部的状态一体地形成，在与该压电体层中的相邻的压力室之间对应的区域，沿压力室的开口的边形成有贯通该压电体层的或者在该压电体层中厚度相对较薄的凹陷（31），该凹陷避开该区域中的沿压力室的角（30）的区域而形成。