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公开(公告)号:CN110595456B
公开(公告)日:2023-12-12
申请号:CN201910504874.3
申请日:2019-06-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 鸟本达朗
IPC: G01C19/5733 , G01C19/5769 , G01C21/16
Abstract: 提供一种物理量传感器、复合传感器、惯性测量单元、电子设备及移动体,物理量传感器检测物理量的精度优异。作为物理量传感器的加速度传感器(100)包括:加速度传感器元件(1)和电路元件(2),该加速度传感器元件(1)包括:基板式与基板(12)接合;以及加速度传感器元件片(10),收纳于收纳空间(S2)并能够检测物理量,该电路元件(2)由粘接材料(131)粘接于盖(50)的与加速度传感器元件片(10)侧相反侧的上表面(50f),该加速度传感器(100)在盖(50)的上表面(50f)的外缘区域,沿着盖(50)的外缘设置有凹部(70)。(12);盖(50),以在内部构成收纳空间(S2)的方
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公开(公告)号:CN103240994A
公开(公告)日:2013-08-14
申请号:CN201310042767.6
申请日:2013-01-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/045 , B41J2/14201 , B41J2/14274 , B41J2/161 , B41J2/1626 , B41J2/1631 , B41J2/1646 , B41J2002/14258 , B41J2002/14491 , H01L41/0471 , H01L41/0805
Abstract: 本发明涉及一种液体喷射头及液体喷射装置,其防止压电体层中的裂纹等不良的产生。所述液体喷射头具备:基板,其形成有与喷嘴开口连通的压力产生室;压电元件,其具有压电体层、第一电极以及第二电极,其中,所述第一电极在所述压电体层的所述基板侧以与所述压力产生室相对应的方式而形成,所述第二电极在所述压电体层的、形成有第一电极的一侧的相反侧以遍及多个所述压力产生室的方式而形成,所述第二电极以在所述压力产生室的长度方向上延伸至所述压力产生室的外侧的方式而形成。
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公开(公告)号:CN110595456A
公开(公告)日:2019-12-20
申请号:CN201910504874.3
申请日:2019-06-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 鸟本达朗
IPC: G01C19/5733 , G01C19/5769 , G01C21/16
Abstract: 提供一种物理量传感器、复合传感器、惯性测量单元、电子设备及移动体,物理量传感器检测物理量的精度优异。作为物理量传感器的加速度传感器(100)包括:加速度传感器元件(1)和电路元件(2),该加速度传感器元件(1)包括:基板(12);盖(50),以在内部构成收纳空间(S2)的方式与基板(12)接合;以及加速度传感器元件片(10),收纳于收纳空间(S2)并能够检测物理量,该电路元件(2)由粘接材料(131)粘接于盖(50)的与加速度传感器元件片(10)侧相反侧的上表面(50f),该加速度传感器(100)在盖(50)的上表面(50f)的外缘区域,沿着盖(50)的外缘设置有凹部(70)。
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公开(公告)号:CN103240994B
公开(公告)日:2015-09-30
申请号:CN201310042767.6
申请日:2013-01-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/045 , B41J2/14201 , B41J2/14274 , B41J2/161 , B41J2/1626 , B41J2/1631 , B41J2/1646 , B41J2002/14258 , B41J2002/14491 , H01L41/0471 , H01L41/0805
Abstract: 本发明涉及一种液体喷射头及液体喷射装置,其防止压电体层中的裂纹等不良的产生。所述液体喷射头具备:基板,其形成有与喷嘴开口连通的压力产生室;压电元件,其具有压电体层、第一电极以及第二电极,其中,所述第一电极在所述压电体层的所述基板侧以与所述压力产生室相对应的方式而形成,所述第二电极在所述压电体层的、形成有第一电极的一侧的相反侧以遍及多个所述压力产生室的方式而形成,所述第二电极以在所述压力产生室的长度方向上延伸至所述压力产生室的外侧的方式而形成。
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