角速度传感器
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102144145A

    公开(公告)日:2011-08-03

    申请号:CN201080002523.X

    申请日:2010-03-08

    IPC分类号: G01C19/56 G01P9/04

    CPC分类号: G01C19/5614

    摘要: 本发明提供一种传感器装置,相对于在第1驱动电极与检测电极之间产生的第1寄生电容、和在第2驱动电极与检测电极之间产生的第2寄生电容的比,将第1驱动信号的振幅与第2驱动信号的振幅的比设定为其倒数。由此,能够高效地抵消由电容耦合所产生的噪声分量,能够提高角速度传感信号的检测精度。

    角速度传感器
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102144145B

    公开(公告)日:2013-06-26

    申请号:CN201080002523.X

    申请日:2010-03-08

    IPC分类号: G01C19/5614

    CPC分类号: G01C19/5614

    摘要: 本发明提供一种传感器装置,相对于在第1驱动电极与检测电极之间产生的第1寄生电容、和在第2驱动电极与检测电极之间产生的第2寄生电容的比,将第1驱动信号的振幅与第2驱动信号的振幅的比设定为其倒数。由此,能够高效地抵消由电容耦合所产生的噪声分量,能够提高角速度传感信号的检测精度。