公开(公告)号：CN112703673B

公开(公告)日：2024-04-12

申请号：CN201980059386.4

申请日：2019-09-27

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 河合良太 ,  后藤雄一 ,  井上义久

IPC: H03H9/24

Abstract: 谐振子(10)具备：基部(130)；至少一个振动臂(121A～D)，其具有压电膜(F3)、上部电极(E2)和下部电极(E1)；保持部(140)；以及保持臂(150)，在将至少一个振动臂(121A～D)中产生的主模式的频率设为Fm，将保持臂(150)中产生的寄生模式的频率设为Fs时，满足Fs/Fm＜1.9或者2.1＜Fs/Fm。

公开(公告)号：CN112534719B

公开(公告)日：2024-03-19

申请号：CN201980051515.5

申请日：2019-03-12

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 后藤雄一 ,  竹山佳介

IPC: H03H9/24

Abstract: 本发明涉及谐振装置。谐振装置(1)具备：下盖(20)；上盖(30)，与下盖(20)接合；以及谐振子(10)，具有在形成于下盖(20)与上盖(30)之间的振动空间弯曲振动的振动臂(121A～D)，在振动臂(121A～D)的前端部(122A～D)附着粒子(9)。在将粒子(9)的中位径设为D50，将粒子(9)的比重设为A，将谐振子(10)的谐振频率设为X时，满足#imgabs0#

公开(公告)号：CN112703673A

公开(公告)日：2021-04-23

申请号：CN201980059386.4

申请日：2019-09-27

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 河合良太 ,  后藤雄一 ,  井上义久

IPC: H03H9/24

Abstract: 谐振子(10)具备：基部(130)；至少一个振动臂(121A～D)，其具有压电膜(F3)、上部电极(E2)和下部电极(E1)；保持部(140)；以及保持臂(150)，在将至少一个振动臂(121A～D)中产生的主模式的频率设为Fm，将保持臂(150)中产生的寄生模式的频率设为Fs时，满足Fs/Fm＜1.9或者2.1＜Fs/Fm。

公开(公告)号：CN107431473B

公开(公告)日：2020-06-16

申请号：CN201680013875.2

申请日：2016-03-29

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 西村俊雄 ,  后藤雄一 ,  吉井健太郎 ,  维莱·卡亚卡里

IPC: H03H9/17

Abstract: 本发明提供一种共振装置。能够使共振频率稳定。具备：共振子，具有下部电极、多个上部电极、和形成在下部电极与多个上部电极之间的压电膜；上盖，具有第一面和第二面，被设置为该第一面与共振子的上部电极对置地密封共振子的第一面；下盖，具有第一面和第二面，被设置为该第一面与共振子的下部电极对置地密封共振子的第二面；电源端子，与上部电极电连接；以及接地端子，设置于上盖的上述第二面，下部电极经由上述上盖与上述接地端子电连接。

公开(公告)号：CN106664073B

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201580041879.7

申请日：2015-09-18

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 后藤雄一 ,  广田和香奈

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/10 ,  H03H9/24

Abstract: 在共振装置中，实现薄型化并且抑制变形、破损。共振装置具备：下侧基板；上侧基板，与下侧基板之间形成振动空间；突起部，形成在下侧基板或者上侧基板的内面，并向振动空间突出；以及共振子，被配置在振动空间内。共振子具有基部、和从基部并列地沿下侧基板或者上侧基板的内面延伸并朝向内面在垂直方向进行振动的多个振动臂。

公开(公告)号：CN109478876B

公开(公告)日：2022-05-31

申请号：CN201780034355.4

申请日：2017-06-27

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 后藤雄一 ,  福光政和

IPC: H03H9/24

Abstract: 本发明提供谐振器和谐振装置。抑制在保持部上的绝缘体层带电的电荷对谐振频率造成的影响。谐振器具备：振动部，具有压电膜、设置为将该压电膜夹持在中间并对置的下部电极和上部电极，上述振动部以规定的振动模式进行振动；保持部，至少设置于振动部的振动的位移成为最大的位移最大区域的周围，并具有绝缘膜；保持臂，对振动部与保持部进行连接；和导电部，形成为在保持部中的至少与振动部的位移最大区域对置的区域中，与保持部的绝缘膜连接，导电部与下部电极或者上述上部电极电连接，或者被接地。

公开(公告)号：CN112585870A

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：CN201980054142.7

申请日：2019-08-28

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 后藤雄一 ,  河合良太

IPC: H03H9/02 ,  H01L41/047 ,  H01L41/09 ,  H01L41/113 ,  H01L41/187 ,  H01L41/29 ,  H03H9/24

Abstract: 本发明提供一种谐振装置，能够抑制电容的不平衡。谐振装置(1)具备：谐振器(10)，其包含上部电极(125A～125D)、下部电极(129)、以及形成在上部电极(125A～125D)与下部电极(129)之间的压电薄膜(F3)；上盖(30)，其设置为第一面与谐振器(10)的上部电极(125A～125D)对置；电源端子(ST1)，其设置于上述基板的第二面，与上部电极(125B、125C)电连接；电源端子(ST2)，其设置于上盖(30)的第二面，与上部电极(125A、125D)电连接；以及接地端子(GT)，其设置于上盖(30)的第二面，与下部电极(129)电连接，电源端子(ST1)的面积与电源端子(ST2)的面积不同，以便在电源端子(ST1)与接地端子(GT)之间产生的电容与在电源端子(ST2)与接地端子(GT)之间产生的电容近似。

公开(公告)号：CN107431472B

公开(公告)日：2020-05-12

申请号：CN201580078736.3

申请日：2015-10-21

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 后藤雄一 ,  广田和香奈

IPC: H03H9/17

Abstract: 即使在小型化的谐振装置中，也防止振动臂与上下的基板接触。谐振装置具备谐振子以及将谐振子夹在之间并相互对置的上盖和下盖，谐振子具有：基部；多个振动臂，具有压电体和将该压电体夹在之间并相互对置的1对电极层，一端与基部的前端连接，沿远离基部的方向延伸；保持部，被设置于基部以及振动臂的周围的至少一部分；以及保持臂，一端与基部连接，另一端在与多个振动臂的一端相比更靠多个振动臂的另一端侧与保持部连接，基部、多个振动臂以及保持臂具有基板以及层叠于该基板的、由热膨胀率与该基板不同的材料构成的温度特性修正层，并且由基板以及温度特性修正层一体地形成。

公开(公告)号：CN107431472A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201580078736.3

申请日：2015-10-21

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 后藤雄一 ,  广田和香奈

IPC: H03H9/17

Abstract: 即使在小型化的谐振装置中，也防止振动臂与上下的基板接触。谐振装置具备谐振子以及将谐振子夹在之间并相互对置的上盖和下盖，谐振子具有：基部；多个振动臂，具有压电体和将该压电体夹在之间并相互对置的1对电极层，一端与基部的前端连接，沿远离基部的方向延伸；保持部，被设置于基部以及振动臂的周围的至少一部分；以及保持臂，一端与基部连接，另一端在与多个振动臂的一端相比更靠多个振动臂的另一端侧与保持部连接，基部、多个振动臂以及保持臂具有基板以及层叠于该基板的、由热膨胀率与该基板不同的材料构成的温度特性修正层，并且由基板以及温度特性修正层一体地形成。

公开(公告)号：CN106664073A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201580041879.7

申请日：2015-09-18

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 后藤雄一 ,  广田和香奈

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/10 ,  H03H9/24

CPC classification number: H03H9/2447 ,  B06B1/0603 ,  H03H3/0072 ,  H03H9/1057 ,  H03H9/2489 ,  H03H2009/02299

Abstract: 在共振装置中，实现薄型化并且抑制变形、破损。共振装置具备：下侧基板；上侧基板，与下侧基板之间形成振动空间；突起部，形成在下侧基板或者上侧基板的内面，并向振动空间突出；以及共振子，被配置在振动空间内。共振子具有基部、和从基部并列地沿下侧基板或者上侧基板的内面延伸并朝向内面在垂直方向进行振动的多个振动臂。