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公开(公告)号：CN115398802A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202080099331.9
申请日：2020-11-11
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供能够进一步改善DLD的谐振子以及谐振装置。谐振子(10)具备：振动部(110)，包括多个振动臂和基部，上述多个振动臂(121A)～(121D)为三根以上且分别具有固定端，至少两根以不同的相位进行面外弯曲，上述基部(130)具有供多个振动臂(121A)～(121D)各自的固定端连接的前端部(131A)和与前端部(131A)对置的后端部(131B)；保持部(140)，构成为保持振动部(110)；以及支承臂(151A)，一端与保持部(140)连接，另一端与基部(130)的后端部(131B)连接，支承臂(151A)在俯视时关于振动部(110)中的长边方向的中心线(CL1)非对称。
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公开(公告)号：CN109075766B
公开(公告)日：2022-04-19
申请号：CN201780026974.9
申请日：2017-02-16
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24 , B81B3/00 , H01L41/113 , H01L41/187 , H03H9/02
Abstract: 本发明提供谐振器和谐振装置。在谐振频率的调整工序中，抑制谐振频率的温度特性的变动。谐振器：具有基部；和振动臂，具有第1电极和第2电极、设置于第1电极与第2电极之间并具有与第1电极对置的上表面且在向第1电极和第2电极之间施加了电压时以规定的振动模式进行振动的压电膜，所述振动臂的一端是与基部的前端连接的固定端，另一端是向离开前端的方向延伸的自由端，该谐振器具备：保护膜，设置为隔着第1电极而与压电膜的上表面对置，并且设置为从振动臂延续到基部；和温度特性调整膜，由与保护膜不同的材料构成，温度特性调整膜设置为在多个振动臂上的比在该振动臂延伸的方向上的中央靠固定端侧处和基部处中的至少一处，使保护膜的局部向表面暴露。
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公开(公告)号：CN111989863A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN201880092468.4
申请日：2018-11-26
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 谐振装置(1)具备谐振器(10)、上盖(30)和下盖(20)，谐振器具有具备基部(130)和多个振动臂(135)的振动部(120)、保持部(140)以及保持臂(111、112)，下盖(20)具有在相邻的2个振动臂(135B、135C)之间突起的突起部(50)，突起部(50)具有绝缘膜(235)，振动臂(135)具有锤部(G)，锤部(G)具有形成在绝缘膜(235)上的导电膜(236)，在多个振动臂(135)延伸的方向上，与相邻的2个振动臂(135B、135C)中的任意一个的锤部(G)与保持部(140)之间的第一距离(L1)相比，锤部(G)与突起部(50)之间的第二距离(L2)较大。
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公开(公告)号：CN109075766A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780026974.9
申请日：2017-02-16
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24 , B81B3/00 , H01L41/113 , H01L41/187 , H03H9/02
Abstract: 本发明提供谐振器和谐振装置。在谐振频率的调整工序中，抑制谐振频率的温度特性的变动。谐振器：具有基部；和振动臂，具有第1电极和第2电极、设置于第1电极与第2电极之间并具有与第1电极对置的上表面且在向第1电极和第2电极之间施加了电压时以规定的振动模式进行振动的压电膜，所述振动臂的一端是与基部的前端连接的固定端，另一端是向离开前端的方向延伸的自由端，该谐振器具备：保护膜，设置为隔着第1电极而与压电膜的上表面对置，并且设置为从振动臂延续到基部；和温度特性调整膜，由与保护膜不同的材料构成，温度特性调整膜设置为在多个振动臂上的比在该振动臂延伸的方向上的中央靠固定端侧处和基部处中的至少一处，使保护膜的局部向表面暴露。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106797207A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201580053202.5
申请日：2015-12-17
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/02448 , H03H9/02259 , H03H9/10 , H03H9/1057 , H03H9/173 , H03H9/2405 , H03H2009/155 , H03H2009/241
Abstract: 本发明提供压电振子以及压电振动装置，压电振子(13)为具备振动部(15)的压电振子(13)，振动部(15)具有Si层(22)，该Si层(22)是作为简并半导体的n型的Si层(22)，且具有0.5mΩcm以上0.9mΩcm以下的电阻率。
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公开(公告)号：CN112204880B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN201880092625.1
申请日：2018-12-21
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 本发明提供谐振子(10)，具备：振动部(120)，具备：具有主面的基板(F2)、形成在基板(F2)的主面上的下部电极(E1)、形成在下部电极(E1)上的压电膜(F3)、以及形成在压电膜(F3)上的上部电极(E2)；以及保持部(140)，设置为包围振动部(120)的至少一部分。在振动部(120)的周围设置有开口槽，该开口槽在俯视基板(F2)的主面时的第一方向具有不同的宽度。在俯视基板(F2)的主面时，上部电极(E2)形成为从基板(F2)的外边缘隔开沿着第一方向的间隙设置，并且开口槽的宽度较大的区域的间隙的长度比开口槽的宽度较小的区域的间隙的长度大。
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公开(公告)号：CN112740550B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN201980061641.9
申请日：2019-10-17
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 提供能够减少保持部的绝缘膜所带电的电荷给予谐振频率的影响的谐振装置。谐振装置(1)具备：谐振子(10)，包括振动部(120)和保持部(140)，上述保持部(140)配置于振动部(120)四周的至少局部且包括将振动部(120)保持为能够振动的保持体和形成在该保持体上的绝缘膜(235)；和下盖(20)，其包括形成振动部(120)的振动空间的至少局部的凹部(21)，绝缘膜235的内侧面相对于规定凹部(21)的侧壁(23)的内表面(23a)隔开第1距离D1配置。
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公开(公告)号：CN111108690B
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN201880060903.5
申请日：2018-04-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 谐振器具备：振动部；保持部，设置成包围振动部的至少一部分；以及保持臂，连接振动部和保持部，该振动部具有：上部电极和下部电极；压电膜，设置于上部电极与下部电极之间，具有与上部电极对置的主面，在上部电极与下部电极之间被施加电压时使振动部以规定的振动模式振动；保护膜，由绝缘体构成，夹着上部电极与压电膜的主面对置地设置，在振动部中的第一区域露出；导电膜，夹着保护膜与压电膜的主面对置地设置，在振动部中的与第一区域相邻的区域亦即第二区域露出；以及连接电极，形成于保护膜，使导电膜与下部电极电连接，上部电极形成为与导电膜相互重叠的区域的面积为导电膜的面积的总和的一半以下或者避免形成与导电膜相互重叠的区域。
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公开(公告)号：CN110741550B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN201880037723.5
申请日：2018-02-26
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供更简便且高精度的频率调整方法。是具备具有根据施加给电极的电压进行振动的振动部的谐振器的谐振装置的制造方法，包含：在振动部中的与其它的区域相比由振动引起的位移较大的区域形成由氧化钼构成的调整膜的工序；以及通过激光除去调整膜中至少一部分来调整上述谐振器的频率的工序。
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