谐振装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112740550B

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN201980061641.9

    申请日:2019-10-17

    Abstract: 提供能够减少保持部的绝缘膜所带电的电荷给予谐振频率的影响的谐振装置。谐振装置(1)具备:谐振子(10),包括振动部(120)和保持部(140),上述保持部(140)配置于振动部(120)四周的至少局部且包括将振动部(120)保持为能够振动的保持体和形成在该保持体上的绝缘膜(235);和下盖(20),其包括形成振动部(120)的振动空间的至少局部的凹部(21),绝缘膜235的内侧面相对于规定凹部(21)的侧壁(23)的内表面(23a)隔开第1距离D1配置。

    谐振装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112740550A

    公开(公告)日:2021-04-30

    申请号:CN201980061641.9

    申请日:2019-10-17

    Abstract: 提供能够减少保持部的绝缘膜所带电的电荷给予谐振频率的影响的谐振装置。谐振装置(1)具备:谐振子(10),包括振动部(120)和保持部(140),上述保持部(140)配置于振动部(120)四周的至少局部且包括将振动部(120)保持为能够振动的保持体和形成在该保持体上的绝缘膜(235);和下盖(20),其包括形成振动部(120)的振动空间的至少局部的凹部(21),绝缘膜235的内侧面相对于规定凹部(21)的侧壁(23)的内表面(23a)隔开第1距离D1配置。

Patent Agency Ranking