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公开(公告)号：CN112335178B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN201980041750.4
申请日：2019-07-30
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 本发明提供一种能够抑制构成连接部的共晶合金的一部分金属沿着连接布线扩散的MEMS设备。谐振装置(1)具备：MEMS基板(50)，包含谐振器(10)、和与谐振器(10)电连接的连接布线由第一金属层(71)和设置于MEMS基板(50)侧的第二金属层(72)的共晶合金构成，在俯视MEMS基板(50)的主面时，连接布线(75)的线宽(WL)比连接部的宽度(WC)小。(75)；以及连接部(70)，与连接布线(75)电连接，
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公开(公告)号：CN109075766B
公开(公告)日：2022-04-19
申请号：CN201780026974.9
申请日：2017-02-16
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24 , B81B3/00 , H01L41/113 , H01L41/187 , H03H9/02
Abstract: 本发明提供谐振器和谐振装置。在谐振频率的调整工序中，抑制谐振频率的温度特性的变动。谐振器：具有基部；和振动臂，具有第1电极和第2电极、设置于第1电极与第2电极之间并具有与第1电极对置的上表面且在向第1电极和第2电极之间施加了电压时以规定的振动模式进行振动的压电膜，所述振动臂的一端是与基部的前端连接的固定端，另一端是向离开前端的方向延伸的自由端，该谐振器具备：保护膜，设置为隔着第1电极而与压电膜的上表面对置，并且设置为从振动臂延续到基部；和温度特性调整膜，由与保护膜不同的材料构成，温度特性调整膜设置为在多个振动臂上的比在该振动臂延伸的方向上的中央靠固定端侧处和基部处中的至少一处，使保护膜的局部向表面暴露。
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公开(公告)号：CN109075766A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780026974.9
申请日：2017-02-16
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24 , B81B3/00 , H01L41/113 , H01L41/187 , H03H9/02
Abstract: 本发明提供谐振器和谐振装置。在谐振频率的调整工序中，抑制谐振频率的温度特性的变动。谐振器：具有基部；和振动臂，具有第1电极和第2电极、设置于第1电极与第2电极之间并具有与第1电极对置的上表面且在向第1电极和第2电极之间施加了电压时以规定的振动模式进行振动的压电膜，所述振动臂的一端是与基部的前端连接的固定端，另一端是向离开前端的方向延伸的自由端，该谐振器具备：保护膜，设置为隔着第1电极而与压电膜的上表面对置，并且设置为从振动臂延续到基部；和温度特性调整膜，由与保护膜不同的材料构成，温度特性调整膜设置为在多个振动臂上的比在该振动臂延伸的方向上的中央靠固定端侧处和基部处中的至少一处，使保护膜的局部向表面暴露。
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公开(公告)号：CN113826322B
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202080033645.9
申请日：2020-02-03
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 本发明提供一种谐振装置，其降低了施加于支承臂与保持部的连接部分的应力。谐振装置具备：谐振器，包括基部、从该基部的一端沿着第一方向延伸的振动臂、配置于振动臂的周围的至少一部分并将振动臂保持为能够振动的保持部、以及将基部与保持部连接的支承臂；和第一基板，包括形成谐振器的振动空间的至少一部分的第一凹部、以及在厚度方向上与支承臂空开第一距离地设置的第一限制部，第一距离小于在第一基板的厚度方向上第一凹部的底面与振动臂之间的距离。
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公开(公告)号：CN111108690A
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201880060903.5
申请日：2018-04-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 本发明抑制对谐振器上的绝缘体层或者绝缘体层上的导电层施加的电压给谐振器的振动带来的影响。具备：振动部；保持部，设置成包围振动部的至少一部分；以及保持臂，连接振动部和保持部，该振动部具有：上部电极和下部电极；压电膜，设置于上部电极与下部电极之间，具有与上部电极对置的主面，在上部电极与下部电极之间被施加电压时使振动部以规定的振动模式振动；保护膜，由绝缘体构成，夹着上部电极与压电膜的主面对置地设置，在振动部中的第一区域露出；导电膜，夹着保护膜与压电膜的上述主面对置地设置，在振动部中的与第一区域相邻的区域亦即第二区域露出；以及连接电极，形成于保护膜，使导电膜与下部电极电连接，上部电极形成为与导电膜相互重叠的区域的面积为导电膜的面积的总和的一半以下或者避免形成与导电膜相互重叠的区域。
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公开(公告)号：CN112740550B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN201980061641.9
申请日：2019-10-17
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 提供能够减少保持部的绝缘膜所带电的电荷给予谐振频率的影响的谐振装置。谐振装置(1)具备：谐振子(10)，包括振动部(120)和保持部(140)，上述保持部(140)配置于振动部(120)四周的至少局部且包括将振动部(120)保持为能够振动的保持体和形成在该保持体上的绝缘膜(235)；和下盖(20)，其包括形成振动部(120)的振动空间的至少局部的凹部(21)，绝缘膜235的内侧面相对于规定凹部(21)的侧壁(23)的内表面(23a)隔开第1距离D1配置。
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公开(公告)号：CN111108690B
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN201880060903.5
申请日：2018-04-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 谐振器具备：振动部；保持部，设置成包围振动部的至少一部分；以及保持臂，连接振动部和保持部，该振动部具有：上部电极和下部电极；压电膜，设置于上部电极与下部电极之间，具有与上部电极对置的主面，在上部电极与下部电极之间被施加电压时使振动部以规定的振动模式振动；保护膜，由绝缘体构成，夹着上部电极与压电膜的主面对置地设置，在振动部中的第一区域露出；导电膜，夹着保护膜与压电膜的主面对置地设置，在振动部中的与第一区域相邻的区域亦即第二区域露出；以及连接电极，形成于保护膜，使导电膜与下部电极电连接，上部电极形成为与导电膜相互重叠的区域的面积为导电膜的面积的总和的一半以下或者避免形成与导电膜相互重叠的区域。
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