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公开(公告)号：CN102879609A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210418979.5
申请日：2012-10-26
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： G01P15/125 , B81C1/00
CPC分类号： G01P15/125 , B32B37/16 , B32B38/0008 , B32B38/10 , B32B2307/20 , B32B2307/202 , B32B2307/206 , B32B2310/0881 , B32B2310/14 , B32B2457/16 , G01P1/00 , G01P15/0802 , G01P2015/0822
摘要： 本发明提供一种“H”形梁的电容式加速度传感器及制备方法。该传感器至少包括：第一电极结构层、中间结构层及第二电极结构层；其中，第一电极结构层与第二电极结构层分别设置有电极引出通孔；所述中间结构层包括：形成在具有双器件层的含氧硅基片的边框、双面对称的质量块、及一根梁连接边框、另一根梁连接质量块且双面对称的“H”形弹性梁，在两质量块的两面对称地设有防过载凸点及阻尼调节槽，且“H”形弹性梁与含氧硅基片的体硅层间满足条件： a和c为两根梁的宽度，b为两根梁之间的间隙，d为梁与质量块连接处的连接宽度，h为体硅层厚度。本发明的制备方法简单，成品率高；形成的器件具有高度法向的对称性，抗侧向冲击和扭转冲击的能力强，交叉灵敏度低。
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公开(公告)号：CN105628011A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201510784514.5
申请日：2015-11-16
申请人： 三星电机株式会社
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5733 , B81B3/0051 , B81B3/0062 , G01P15/097 , G01P2015/0822 , G01P2015/084 , G01C19/56
摘要： 提供一种角速度传感器，所述角速度传感器包括：第一框架内的第一质量体和第二质量体；第一柔性连接器系统，将所述第一质量体和所述第二质量体连接至所述第一框架，并包括检测所述第一质量体和所述第二质量体的位移的至少一个传感器；第二柔性连接器系统，将所述第一框架连接至被设置为与所述第一框架分开的第二框架，并包括驱动器，以驱动所述第一框架相对于第二框架的运动，从而可基于所述第一质量体和所述第二质量体能够在第一轴方向旋转且能够在第二轴方向平移，并基于所述第一框架柔性连接至所述第二框架以使所述第一框架在第三轴方向产生角位移来测量角速度。
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公开(公告)号：CN104614553A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201510051755.9
申请日：2015-01-30
申请人： 歌尔声学股份有限公司
发明人： 郑国光
IPC分类号： G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125 , G01P2015/0822
摘要： 本发明提供了一种加速度计中的Z轴结构，包括相对于衬底在Z轴方向上来回移动的质量块，所述质量块的侧壁上设置有第一可动电极极片、第二可动电极极片；还分别设有朝由X轴、Y轴组成的平面方向伸出的第一固定电极极片、第二固定电极极片。本发明的Z轴加速度计，摒弃了下极板结构，从而摆脱了下极板对Z轴加速度计的限制，使质量块的运动模式不再是跷跷板式的运动，而是在Z轴方向上、下平动，减小了Z轴加速度计的寄生电容，提高了检测的精度；避免可动质量块与衬底的接触，提高了芯片的可靠性；由于质量块和固定电极在同一层上，首先可以达到比传统Z轴结构更好的一致性，而且可以将锚点设计的更为集中，降低芯片对温度和应力变化的敏感度。
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公开(公告)号：CN106323173A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201610642260.8
申请日：2016-06-24
申请人： 霍尼韦尔国际公司
CPC分类号： G01C19/5726 , B81B2201/0228 , B81B2201/04 , B81B2203/053 , G01C19/5621 , G01C19/5656 , G01C19/574 , G01C25/00 , G01P15/032 , G01P15/093 , G01P21/00 , G01P2015/0822 , G02B6/29331 , G01B11/02 , G01C19/56
摘要： 提供了用于MEMS传感器的针对基于时间的光学敏感元件的系统和方法。在一个实施例中，一种用于集成波导的基于时间的光学敏感元件传感器的方法包括：将由光源生成的光束发射到在第一基板中单片制造的集成波导光学敏感元件中，集成波导光学敏感元件包括光学输入端、耦合端和光学输出端；以及通过在光学输出端测量光束的衰减，来探测耦合端和与耦合端隔开一间隙的移动传感器部件之间的重叠面积的改变，其中，移动传感器部件关于包括耦合端的第一基板的表面做平面内移动，且耦合端被定位为探测移动传感器部件的边沿的移动。
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公开(公告)号：CN106248067A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610542711.0
申请日：2016-04-28
申请人： 霍尼韦尔国际公司
CPC分类号： G01B11/272 , B81B2201/0228 , B81B2201/04 , B81B2203/053 , G01C19/5621 , G01C19/5656 , G01C25/00 , G01P15/093 , G01P15/13 , G01P21/00 , G01P2015/0822 , G02B6/12 , G02B6/4295 , G02B6/43 , G02B2006/12138 , G01C19/00 , G01C19/32
摘要： 提供了用于高度集成的光学读出MEMS传感器的系统和方法。在一个实施例中，一种用于集成波导光学拾取器传感器的方法包括：将由激光光源产生的激光束发射到在第一基板内单片制作的集成波导光学拾取器中，该集成波导光学拾取器包括光学输入端口、耦合端口和光学输出端口；以及通过测量在光学输出端口处激光束的衰减，检测激光束从耦合端口到与耦合端口分离一定间隙的传感器部件的耦合的量。
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公开(公告)号：CN102879609B
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201210418979.5
申请日：2012-10-26
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： G01P15/125 , B81C1/00
CPC分类号： G01P15/125 , B32B37/16 , B32B38/0008 , B32B38/10 , B32B2307/20 , B32B2307/202 , B32B2307/206 , B32B2310/0881 , B32B2310/14 , B32B2457/16 , G01P1/00 , G01P15/0802 , G01P2015/0822
摘要： 本发明提供一种“H”形梁的电容式加速度传感器及制备方法。该传感器至少包括：第一电极结构层、中间结构层及第二电极结构层；其中，第一电极结构层与第二电极结构层分别设置有电极引出通孔；所述中间结构层包括：形成在具有双器件层的含氧硅基片的边框、双面对称的质量块、及一根梁连接边框、另一根梁连接质量块且双面对称的“H”形弹性梁，在两质量块的两面对称地设有防过载凸点及阻尼调节槽，且“H”形弹性梁与含氧硅基片的体硅层间满足条件： a和c为两根梁的宽度，b为两根梁之间的间隙，d为梁与质量块连接处的连接宽度，h为体硅层厚度。本发明的制备方法简单，成品率高；形成的器件具有高度法向的对称性，抗侧向冲击和扭转冲击的能力强，交叉灵敏度低。
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公开(公告)号：CN104105945B
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201380007577.9
申请日：2013-01-30
申请人： 快捷半导体公司
发明人： C·阿卡 , 约翰·加德纳·布卢姆斯伯
IPC分类号： G01C19/5712 , G01P15/125 , G01P15/18
CPC分类号： G01C19/5712 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0822
摘要： 除其他情况之外，本文档讨论了惯性传感器，其包括在器件层的x‑y平面中形成的单个质量块，所述单个质量块包括单个中心锚，所述单个中心锚被配置为使所述单个质量块悬吊在通孔晶片上方。所述惯性传感器还包括在所述惯性传感器相应的第一侧和第二侧上的所述器件层的所述x‑y平面中形成的第一电极定子框架和第二电极定子框架，所述第一电极定子框架和所述第二电极定子框架关于所述单个中心锚对称，并且每个电极定子框架独立地包括中心平台和被配置为将所述中心平台固定到所述通孔晶片上的锚，其中所述第一电极定子框架和所述第二电极定子框架的所述锚沿着所述中心平台相对于所述单个中心锚不对称。
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公开(公告)号：CN104105945A
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201380007577.9
申请日：2013-01-30
申请人： 快捷半导体公司
发明人： C·阿卡 , 约翰·加德纳·布卢姆斯伯
IPC分类号： G01C19/5712 , G01P15/125 , G01P15/18
CPC分类号： G01C19/5712 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0822
摘要： 除其他情况之外，本文档讨论了惯性传感器，其包括在器件层的x-y平面中形成的单个质量块，所述单个质量块包括单个中心锚，所述单个中心锚被配置为使所述单个质量块悬吊在通孔晶片上方。所述惯性传感器还包括在所述惯性传感器相应的第一侧和第二侧上的所述器件层的所述x-y平面中形成的第一电极定子框架和第二电极定子框架，所述第一电极定子框架和所述第二电极定子框架关于所述单个中心锚对称，并且每个电极定子框架独立地包括中心平台和被配置为将所述中心平台固定到所述通孔晶片上的锚，其中所述第一电极定子框架和所述第二电极定子框架的所述锚沿着所述中心平台相对于所述单个中心锚不对称。
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