公开(公告)号：CN106248067A

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：CN201610542711.0

申请日：2016-04-28

申请人： 霍尼韦尔国际公司

发明人： G·罗登 ,  R·D·霍尔宁

IPC分类号： G01C19/00 ,  G01C19/32

CPC分类号： G01B11/272 ,  B81B2201/0228 ,  B81B2201/04 ,  B81B2203/053 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5656 ,  G01C25/00 ,  G01P15/093 ,  G01P15/13 ,  G01P21/00 ,  G01P2015/0822 ,  G02B6/12 ,  G02B6/4295 ,  G02B6/43 ,  G02B2006/12138 ,  G01C19/00 ,  G01C19/32

摘要： 提供了用于高度集成的光学读出MEMS传感器的系统和方法。在一个实施例中，一种用于集成波导光学拾取器传感器的方法包括：将由激光光源产生的激光束发射到在第一基板内单片制作的集成波导光学拾取器中，该集成波导光学拾取器包括光学输入端口、耦合端口和光学输出端口；以及通过测量在光学输出端口处激光束的衰减，检测激光束从耦合端口到与耦合端口分离一定间隙的传感器部件的耦合的量。

公开(公告)号：CN104105943A

公开(公告)日：2014-10-15

申请号：CN201380008646.8

申请日：2013-01-17

申请人： 奥林巴斯株式会社

发明人： 藤田浩正

IPC分类号： G01B11/24 ,  G01D5/353

CPC分类号： G01B11/24 ,  G01B11/18 ,  G01D5/268 ,  G01D5/285 ,  G01D5/35374 ,  G01J1/0425 ,  G02B6/3616 ,  G02B2006/12111 ,  G02B2006/12138

摘要： 一种光学式传感器(10)，具备光源(20)、对从光源(20)出射的光进行导光的特性用导光部件(40)、配设于特性用导光部件(40)并根据特性用导光部件(40)的弯曲量来使光的光学特性变化的特性变化部(50)、对光学特性通过特性变化部(50)而变化且被特性用导光部件(40)导光后的光进行检测的检测部(60)。光学式传感器(10)还具有限制部件(80)和定位机构(90)，限制部件(80)沿着特性用导光部件(40)配设，至少抑制特性用导光部件(40)的扭转，限制特性用导光部件(40)的弯曲状态，定位机构(90)对特性用导光部件(40)和限制部件(80)进行保持，伴随着保持，至少在特性用导光部件(40)的周向上将特性变化部(50)定位。

公开(公告)号：CN101482575B

公开(公告)日：2011-02-09

申请号：CN200910024475.3

申请日：2009-02-23

申请人： 东南大学

发明人： 张彤 ,  薛晓军 ,  张晓阳 ,  吴朋钦

IPC分类号： G01P15/03 ,  G02B6/28 ,  G02B26/02

CPC分类号： G01P15/093 ,  G01P15/097 ,  G02B6/12007 ,  G02B6/1221 ,  G02B2006/12138

摘要： 一种悬臂梁结构的谐振式集成光波导加速度计，由输入波导、不对称结构的马赫—曾德尔干涉器、微机械振动悬臂梁、弯曲波导、输出波导构成，其特征在于所有光波导结构和悬臂梁结构均利用集成光学微细加工技术，采用温度不敏感的有机聚合物光波导结构和有机聚合物衬底制备，可实现器件的单片集成，其检测灵敏度、动态范围等关键技术指标可实现大范围的调整。通过检测光学回路的谐振频率光强变化，测量加速度引起的光信号相位差，实现高灵敏度的加速度检测，并且具有不受环境温度扰动、不受波导双折射影响的优点。器件体积小、质量轻、稳定性高，制备工艺简单，并可实现批量生产，显著降低器件成本。

公开(公告)号：CN106941779A

公开(公告)日：2017-07-11

申请号：CN201580042874.6

申请日：2015-06-09

申请人： STC.UNM 公司

发明人： S.R.J.布吕克 ,  A.诺伊曼 ,  P.扎克什-哈

IPC分类号： G01J1/06 ,  G01J3/02

CPC分类号： G01J1/06 ,  G01J1/44 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/18 ,  G01J3/1895 ,  G01J3/2803 ,  G01J2001/448 ,  G02B6/12004 ,  G02B6/122 ,  G02B6/124 ,  G02B2006/12061 ,  G02B2006/12107 ,  G02B2006/12138 ,  H01L27/1446 ,  H01L31/02019 ,  H01L31/02164 ,  H01L31/02327 ,  H01L31/103

摘要： 一种2D传感器阵列包括半导体衬底和布置在半导体衬底上的多个像素。每一个像素包括耦合区和结区，以及平板波导结构，所述平板波导结构布置在半导体衬底上并且从耦合区延伸到区。平板波导包括布置在第一包覆层与第二包覆层之间的限制层。第一包覆和第二包覆每一个具有比限制层的折射率低的折射率。每一个像素还包括布置在耦合区中和平板波导内的耦合结构。耦合结构包括具有不同折射率的至少两种材料，其布置为由光栅周期限定的光栅。结区包括与电接触件连通的p‑n结以用于偏置和收集由入射辐射的吸收引起的载流子。

公开(公告)号：CN104704408A

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201380052754.5

申请日：2013-08-02

申请人： 弗劳恩霍夫应用研究促进协会

发明人： W·沙德

IPC分类号： G02B6/138

CPC分类号： G02B6/1225 ,  G01K11/3206 ,  G01L1/246 ,  G02B6/107 ,  G02B6/12007 ,  G02B6/12009 ,  G02B6/1221 ,  G02B6/124 ,  G02B6/132 ,  G02B6/29395 ,  G02B2006/12138

摘要： 本发明涉及一种具有至少一个光子组件(4)的平面光学元件(1)，该光子组件(4)排列在至少一个基质(2)上，该基质(2)包含至少一个聚合物或者由至少一个聚合物构成，其中基质(2)包括至少一个第一薄膜层(21)和第二薄膜层(22)，该第一薄膜层(21)具有第一侧(211)以及相对第二侧(212)，而第二薄膜层(22)具有第一侧(221)以及相对第二侧(222)，其中第二薄膜层(22)的第一侧(221)排列在第一薄膜层(21)的第二侧(212)，并且至少第二薄膜层(22)至少在子区域(225)含有纳米线(3)。本发明还涉及相应的传感器及其制造方法。

公开(公告)号：CN101952710A

公开(公告)日：2011-01-19

申请号：CN200880114706.3

申请日：2008-10-30

申请人： 皇家飞利浦电子股份有限公司

发明人： D·J·W·克伦德 ,  C·R·M·德威茨 ,  R·彭特曼 ,  R·W·I·德博尔 ,  E·M·H·P·范迪克

IPC分类号： G01N21/55 ,  G01N21/64 ,  G01N21/77 ,  G01N33/551

CPC分类号： G01N21/648 ,  B82Y15/00 ,  G01N21/552 ,  G01N21/554 ,  G01N21/6452 ,  G01N21/7703 ,  G01N33/54373 ,  G01N2021/6432 ,  G01N2021/7786 ,  G02B6/0229 ,  G02B2006/12138

摘要： 提供了一种用于检测结合表面(12)附近的目标成分(10)的微电子传感器设备(100)，该设备包括：用于发射入射在结合表面(12)的具有一波长的辐射束(101)的源(21)；位于结合表面(12)附近的光学结构(11)，用于响应于入射在结合表面(12)的辐射，在由结合表面(12)界定的且在从离开结合表面(12)到样品室(2)内的衰减长度上延伸的检测体积(4)内提供倏逝辐射；以及用于响应于来自源(21)的所发射的入射辐射(101)，检测来自检测体积(4)内存在的目标成分(101)的辐射(102)的检测器(31)，其中结合表面(12)配置有电介质材料(3)的直立壁，用于提供一个或多个检测体积(4)，该检测体积被界定到小于衍射极限的最大面内检测体积尺寸(W1)，衍射极限由辐射波长和用于包含目标成分(10)的介质(2)定义。

公开(公告)号：CN100554935C

公开(公告)日：2009-10-28

申请号：CN02829722.9

申请日：2002-10-07

申请人： 英国国防部

发明人： 穆罕默德·佐勒卜 ,  斯特凡·莫尔 ,  伯纳德·詹姆斯·特雷韦斯-布朗 ,  彼得·罗伯特·菲尔登 ,  尼古拉斯·约翰·戈达德

IPC分类号： G01N21/17 ,  G02B6/26

CPC分类号： G01N21/648 ,  G01N21/47 ,  G01N21/7703 ,  G01N2015/0088 ,  G01N2015/1447 ,  G01N2021/7723 ,  G01N2021/7776 ,  G02B6/122 ,  G02B2006/12138

摘要： 公开了一种新颖的单点漏波导结构，用作粒子检测用的光传感器。制造该波导结构以提高从传感器表面延伸的瞬逝场与流动系统的大量溶液中的粒子的交叠，从而使最大量的粒子处于瞬逝场中。增加了瞬逝场与粒子的交叠，并允许光模式沿流的方向传播几毫米，这提供了一种在单流动通道中对多粒子检测的有效识别方法。

公开(公告)号：CN109564323A

公开(公告)日：2019-04-02

申请号：CN201780050314.4

申请日：2017-07-31

申请人： 三星电子株式会社

发明人： 李敬锡 ,  黄圭元 ,  金寅昊 ,  金元穆 ,  李旭圣 ,  郑斗硕

IPC分类号： G02B6/02 ,  G02B5/02 ,  G02B5/30

CPC分类号： G02B6/12007 ,  G01J1/0488 ,  G01J1/44 ,  G02B5/208 ,  G02B6/124 ,  G02B2006/12107 ,  G02B2006/12109 ,  G02B2006/12138

摘要： 本发明提供了一种光学滤波器及使用其的光学装置，该光学滤波器包括：覆层；多个金属图案，其被规则地图案化在所述覆层上；以及光波导层，其形成在所述多个金属图案上方，其中，光从所述光波导层行进至所述覆层。

公开(公告)号：CN108351469A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201680067066.X

申请日：2016-11-17

申请人： 日本电信电话株式会社

发明人： 龟井新 ,  地藏堂真 ,  武田浩太郎 ,  福田浩

IPC分类号： G02B6/13 ,  G02B6/122 ,  G02B6/124 ,  G02B6/125

CPC分类号： G01M11/33 ,  G01M11/085 ,  G01M11/086 ,  G01M11/30 ,  G02B6/12007 ,  G02B6/122 ,  G02B6/1228 ,  G02B6/124 ,  G02B6/125 ,  G02B6/13 ,  G02B6/34 ,  G02B2006/12061 ,  G02B2006/12085 ,  G02B2006/12107 ,  G02B2006/12138 ,  G02B2006/12147 ,  G02B2006/12164

摘要： 现有技术中硅光路的目视检测取决于目视确认者的感官判断，在充分进行小划痕的检测方面存在局限性。目视检查时看漏的具有划痕的不良芯片会被误判为合格并流向目视检查的下游工序。无法在整个光路的早期工序的阶段将不良芯片判断为不合格，会降低下游的制造/检查工序中的成品率，产品的制造检查成本会增加。本发明的光路除了实现所希望的功能的光路之外，还包含环绕整个光路并充分贴近光路的光波导的划痕检测用光波导和连接于检测用光波导的光栅耦合器。基于使用了光栅耦合器的检测用光波导的透射特性测定，能在切割成芯片之前的晶圆状态下高效地发现各个芯片内的划痕。能通过按芯片来设置独立的检测用光波导，并进而形成多个芯片共用的一根检测用光波导来分段地发现划痕。

公开(公告)号：CN107065068A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201611234416.5

申请日：2016-12-28

申请人： 重庆大学

发明人： 杨帆 ,  陈思远 ,  王涉 ,  陈洋

IPC分类号： G02B6/12 ,  G01R29/12

CPC分类号： G02B6/12 ,  G01R29/12 ,  G02B2006/12138

摘要： 针对目前发展迅速的基于拉锥光纤平板波导耦合方式的电场测量传感器，本发明提出了一种基于拉锥光纤平板波导耦合的电场测量传感器封装结构。包括衬底，衬底上具有V型槽，V型槽的表面涂有掩蔽膜；拉锥光纤放置于V型槽中，V型槽上设置有平板波导。其中，衬底材料选择为单晶硅。本发明能够将光纤固定并且保持光纤拉锥区和平板波导的间距固定，能够有效的解决波导和光纤模场的匹配性以及耦合的准直性都带有很大的随机性的问题。