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公开(公告)号：CN110998445B
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN201880052393.7
申请日：2018-07-09
Applicant: 陶氏环球技术有限责任公司 , 美国陶氏有机硅公司
Abstract: 一种光波导的制造方法，通过：(a)沉积第一组合物，该第一组合物包括：(i)包含环氧基和烯基的聚硅氧烷，和(ii)分子量不大于1000且折射率至少为1.47的包含环氧基的化合物；以及(iii)光致产酸剂；和(iv)氢化硅烷化催化剂，(b)通过暴露于紫外光下固化第一组合物；(c)去除第一组合物的未固化部分的至少一部分以产生最终的图案化芯层；(d)在最终的图案化芯层上沉积第二组合物，以产生复合材料，该第二组合物包含：(i)包含环氧基和烯基的聚硅氧烷，和(ii)包含环氧基和硅‑氢键的化合物，其分子量不大于1000且折射率不大于1.45；(iii)光致产酸剂；(e)在20至150℃的温度下加热0.1至120分钟；和(f)通过暴露在紫外线下固化。
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公开(公告)号：CN113534344B
公开(公告)日：2023-04-21
申请号：CN202110810706.4
申请日：2021-07-16
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本公开提供了一种模斑转换器的制作方法及模斑转换器，其中，模斑转换器的制作方法包括：提供一衬底；在上述衬底上生长保护层；在上述保护层上定义楔形结构区域；在上述楔形结构区域，通过一次接触式曝光得到光栅式结构；通过热熔上述光栅式结构，得到楔形结构；通过刻蚀，将上述楔形结构转移至上述衬底上；在上述楔形结构上制作脊波导结构，得到模斑转换器。
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公开(公告)号：CN111474629B
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202010269235.6
申请日：2020-04-08
Abstract: 本发明公开一种基于条形几何波导的偏振旋转分束器及其制备方法，条形几何波导包括硅基底、二氧化硅下包层、氮化硅条形几何结构和聚合物包层，条形几何波导由水平和竖直条形波导构成，分别为L型波导、Z型波导和多模干涉仪级联L型波导。该条形几何波导对输入光进行偏振旋转，并将不同的偏振光输出到不同端口。本发明通过水平和竖直条形波导实现光芯片三维空间的利用，并实现平面波导和三维波导之间的转换。本发明的条形几何波导具有大有效折射率差和大高宽比，因而能更好地对偏振进行旋转，并将不同偏振信号分离到不同位置。并可以通过热调补偿工艺误差。
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公开(公告)号：CN112379479B
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202011249399.9
申请日：2020-11-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本申请公开了一种硅基光收发器件及其制备方法，所述方法包括：获取SOI晶圆；制备锗调制器，包括：在所述SOI晶圆上定义调制器区域；在所述调制器区域形成第一锗材料层；通过光刻和刻蚀所述锗材料层形成第一锗波导；对所述调制器区域进行掺杂处理；在所述调制器区域形成第一电极和第二电极；制备锗探测器和硅光波导；在所述锗调制器、所述锗探测器和所述硅光波导的表面形成保护膜。本申请的硅基光收发器件及其制备方法，采用纯锗材料替代锗硅材料制作调制器，无需对锗硅材料中硅的成分严格控制，且只需要一步外延步骤，可以降低工艺成本。
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公开(公告)号：CN113093331A
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202110235407.2
申请日：2021-03-03
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种硅基光波导传感器，由下至上包括硅衬底、埋氧层、顶层硅和上包层；其中，所述顶层硅上设置有通过电子束光刻及刻蚀形成的亚波长光栅槽微环结构。本发明将亚波长光栅做成槽结构，可增大光与分析物的相互作用强度；为进一步减小弯曲损耗，微环内侧光栅使用梯形结构，增大微环内侧的有效折射率，降低辐射损耗，具有良好的应用前景。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN112379479A
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN202011249399.9
申请日：2020-11-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本申请公开了一种硅基光收发器件及其制备方法，所述方法包括：获取SOI晶圆；制备锗调制器，包括：在所述SOI晶圆上定义调制器区域；在所述调制器区域形成第一锗材料层；通过光刻和刻蚀所述锗材料层形成第一锗波导；对所述调制器区域进行掺杂处理；在所述调制器区域形成第一电极和第二电极；制备锗探测器和硅光波导；在所述锗调制器、所述锗探测器和所述硅光波导的表面形成保护膜。本申请的硅基光收发器件及其制备方法，采用纯锗材料替代锗硅材料制作调制器，无需对锗硅材料中硅的成分严格控制，且只需要一步外延步骤，可以降低工艺成本。
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公开(公告)号：CN111766661A
公开(公告)日：2020-10-13
申请号：CN202010604741.6
申请日：2020-06-28
Applicant: 武汉邮电科学研究院有限公司
Abstract: 本申请涉及一种等离激元波导的制备方法，该制备方法包括步骤：在衬底上刻蚀一保护层；在所述保护层上形成刻蚀窗口；在所述刻蚀窗口内采用干法刻蚀工艺刻蚀所述衬底，使所述衬底上形成一沟道；去除所述保护层；在形成有沟道的衬底上镀一层金属基材。本申请提供的等离激元波导的制备方法，不仅使得刻蚀难度较小，而且材质价格不高，成本更低。
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公开(公告)号：CN111474629A
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN202010269235.6
申请日：2020-04-08
Abstract: 本发明公开一种基于条形几何波导的偏振旋转分束器及其制备方法，条形几何波导包括硅基底、二氧化硅下包层、氮化硅条形几何结构和聚合物包层，条形几何波导由水平和竖直条形波导构成，分别为L型波导、Z型波导和多模干涉仪级联L型波导。该条形几何波导对输入光进行偏振旋转，并将不同的偏振光输出到不同端口。本发明通过水平和竖直条形波导实现光芯片三维空间的利用，并实现平面波导和三维波导之间的转换。本发明的条形几何波导具有大有效折射率差和大高宽比，因而能更好地对偏振进行旋转，并将不同偏振信号分离到不同位置。并可以通过热调补偿工艺误差。
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公开(公告)号：CN111076751A
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201911393973.5
申请日：2019-12-30
Applicant: 苏州德睿电力科技有限公司
Abstract: 本发明涉及一种光波导传感器，包括传感器本体，所述传感器本体包括依次设置的输入单模光波导、多模光波导和输出单模光波导，所述输入单模光波导和多模光波导之间、所述多模光波导和输出单模光波导之间分别无缝连接，所述多模光波导包括芯层、形成在所述芯层的相对二个侧面上的敏感层及形成所述芯层的其他侧面上的包层。本发明的光波导传感器采用输入单模光波导-多模光波导-输出单模光波导传感结构，并在多模光波导芯层的侧面设置一层敏感层，大大提高此类传感器的灵敏度。
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