公开(公告)号：CN108351469A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201680067066.X

申请日：2016-11-17

Applicant: 日本电信电话株式会社

Inventor： 龟井新 ,  地藏堂真 ,  武田浩太郎 ,  福田浩

IPC: G02B6/13 ,  G02B6/122 ,  G02B6/124 ,  G02B6/125

CPC classification number: G01M11/33 ,  G01M11/085 ,  G01M11/086 ,  G01M11/30 ,  G02B6/12007 ,  G02B6/122 ,  G02B6/1228 ,  G02B6/124 ,  G02B6/125 ,  G02B6/13 ,  G02B6/34 ,  G02B2006/12061 ,  G02B2006/12085 ,  G02B2006/12107 ,  G02B2006/12138 ,  G02B2006/12147 ,  G02B2006/12164

Abstract: 现有技术中硅光路的目视检测取决于目视确认者的感官判断，在充分进行小划痕的检测方面存在局限性。目视检查时看漏的具有划痕的不良芯片会被误判为合格并流向目视检查的下游工序。无法在整个光路的早期工序的阶段将不良芯片判断为不合格，会降低下游的制造/检查工序中的成品率，产品的制造检查成本会增加。本发明的光路除了实现所希望的功能的光路之外，还包含环绕整个光路并充分贴近光路的光波导的划痕检测用光波导和连接于检测用光波导的光栅耦合器。基于使用了光栅耦合器的检测用光波导的透射特性测定，能在切割成芯片之前的晶圆状态下高效地发现各个芯片内的划痕。能通过按芯片来设置独立的检测用光波导，并进而形成多个芯片共用的一根检测用光波导来分段地发现划痕。

公开(公告)号：CN108351469B

公开(公告)日：2020-09-08

申请号：CN201680067066.X

申请日：2016-11-17

Applicant: 日本电信电话株式会社

Inventor： 龟井新 ,  地藏堂真 ,  武田浩太郎 ,  福田浩

IPC: G02B6/13 ,  G02B6/122 ,  G02B6/124 ,  G02B6/125

Abstract: 现有技术中硅光路的目视检测取决于目视确认者的感官判断，在充分进行小划痕的检测方面存在局限性。目视检查时看漏的具有划痕的不良芯片会被误判为合格并流向目视检查的下游工序。无法在整个光路的早期工序的阶段将不良芯片判断为不合格，会降低下游的制造/检查工序中的成品率，产品的制造检查成本会增加。本发明的光路除了实现所希望的功能的光路之外，还包含环绕整个光路并充分贴近光路的光波导的划痕检测用光波导和连接于检测用光波导的光栅耦合器。基于使用了光栅耦合器的检测用光波导的透射特性测定，能在切割成芯片之前的晶圆状态下高效地发现各个芯片内的划痕。能通过按芯片来设置独立的检测用光波导，并进而形成多个芯片共用的一根检测用光波导来分段地发现划痕。