表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备

    公开(公告)号:CN102334289B

    公开(公告)日:2015-10-07

    申请号:CN201080009209.4

    申请日:2010-02-26

    发明人: 山中国人

    IPC分类号: H03H9/145 H03B5/30 H03H9/25

    摘要: 本发明提供能够实现良好的频率温度特性的表面声波谐振器。用于解决上述课题的SAW谐振器利用了欧拉角为(117°≤θ≤142°,42.79°≤|ψ|≤49.57°)的石英基板(30),具有激励出阻带上端模式的SAW的IDT(12);以及使位于构成IDT(12)的电极指(18)之间的基板凹陷而形成的槽(32),其中,在设SAW的波长为λ、槽(32)的深度为G时,满足0.01λ≤G,在设IDT(12)的线占有率为η时,槽(32)的深度G与所述线占有率η满足以下关系:-2.0000×G/λ+0.7200≤η≤-2.5000×G/λ+0.7775,其中0.0100λ≤G≤0.0500λ;以及-3.5898×G/λ+0.7995≤η≤-2.5000×G/λ+0.7775,其中0.0500λ<G≤0.0695λ。

    声波滤波器装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101218743B

    公开(公告)日:2012-04-25

    申请号:CN200680025068.9

    申请日:2006-05-23

    发明人: 柴原辉久

    IPC分类号: H03H9/64 H03H9/145 H03H9/25

    摘要: 一种具有平衡-不平衡转换功能的声波滤波器装置,其一对平衡端子间的信号的平衡度被改善。声波滤波器装置(100)中,在压电基板(101)上至少一个纵耦合谐振子型声波滤波器(110)的一端和剩余的声波滤波器内的至少一个声波滤波器(120)的一端公共连接,并与不平衡端子(104)连接,纵耦合谐振子型声波滤波器(110、120)的各自另一端分别与第一、第二平衡端子(104a、104b)电连接,从不平衡端子输入的信号构成为从第一平衡端子输出的信号与从第二平衡端子(104b)输出的信号的相位差约为180°,纵耦合谐振子型声波滤波器(110)中的声波传播方向、与纵耦合谐振子型声波滤波器(120)中的声波传播方向不同。

    弹性波元件
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101595641A

    公开(公告)日:2009-12-02

    申请号:CN200880003074.3

    申请日:2008-03-13

    IPC分类号: H03H9/145

    摘要: 本发明提供一种弹性波元件。其可改善谐振频率附近的谐振特性,难以产生指状电极间的短路故障或绝缘性的变差。该弹性波元件(1)以与压电体相接的方式形成IDT电极(3),IDT电极(3)具有多个指状电极,该多个指状电极包括在弹性波传播方向上相邻并且连接于不同电位的第一、第二指状电极(31)、(32)和隔着配置于第一指状电极(31)的指状电极长度方向外侧的间隙(33)而对置的第一虚设指状电极(34),在间隙附近,在第一指状电极(31)以及第一虚设指状电极(34)之中的至少一个,以从至少一个指状电极的侧缘向弹性波传播方向突出的方式形成了第一凸部(11)~(14)指状电极。

    声表面波元件片以及声表面波装置

    公开(公告)号:CN100511995C

    公开(公告)日:2009-07-08

    申请号:CN200410102254.0

    申请日:2004-12-10

    IPC分类号: H03H9/25

    摘要: 本发明提供一种声表面波元件片及其制造方法。声表面波元件片(50)在石英片(52)的表面具有IDT(34)和配置在IDT(34)两侧的反射器(36)。石英片(52)由其切割角被欧拉角表示为(0°、113°~135°、±(40°~49°))的面内旋转ST切割石英板形成。IDT(34)和反射器36沿着相对石英片(52)的声表面波的相位速度的方向(40)倾斜PFA±3°的方向配置。能量流动角PFA在石英片(52)的切割角被欧拉角表示为(φ°、θ°、ψ°)时,PFA=0.374(θ°-90°)-10.0°。由此,可以确实沿着面内旋转ST切割石英板的声表面波的群速度的方向配置IDT和反射器。

    声波滤波器装置
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101218743A

    公开(公告)日:2008-07-09

    申请号:CN200680025068.9

    申请日:2006-05-23

    发明人: 柴原辉久

    IPC分类号: H03H9/64 H03H9/145 H03H9/25

    摘要: 一种具有平衡-不平衡转换功能的声波滤波器装置,其一对平衡端子间的信号的平衡度被改善。声波滤波器装置(100)中,在压电基板(101)上至少一个纵耦合谐振子型声波滤波器(110)的一端和剩余的声波滤波器内的至少一个声波滤波器(120)的一端公共连接,并与不平衡端子(104)连接,纵耦合谐振子型声波滤波器(110、120)的各自另一端分别与第一、第二平衡端子(104a、104b)电连接,从不平衡端子输入的信号构成为从第一平衡端子输出的信号与从第二平衡端子(104b)输出的信号的相位约为180°,纵耦合谐振子型声波滤波器(110)中的声波传播方向、与纵耦合谐振子型声波滤波器(120)中的声波传播方向不同。

    声表面波器件、电子设备以及传感器装置

    公开(公告)号:CN104362999A

    公开(公告)日:2015-02-18

    申请号:CN201410594692.7

    申请日:2011-08-29

    IPC分类号: H03H9/145 H03H9/25

    摘要: 一种声表面波器件、电子设备以及传感器装置,其能够在维持工作温度范围内的SAW器件的优秀的频率温度特性的同时,抑制由于回流焊接安装时的高温、和使用时或环境的温度变化而导致的频率变化,从而使可靠性提高。SAW器件(1)具有:IDT(3),其在欧拉角为(-1.5°≤φ≤1.5°,117°≤θ≤142°,ψ)的水晶基板(2)的主面上,对阻带上限模式的SAW进行激振;电极指间槽(8),其凹设在IDT的电极指(6a,6b)之间。当欧拉角ψ为42.79°≤│ψ│≤49.57°时,IDT电极指膜厚H设定在0.055μm≤H≤0.335μm的范围内,优选设定在0.080μm≤H≤0.335μm的范围内。当欧拉角为|ψ|≠90°×n,且n=0、1、2、3时,电极指膜厚H设定在0.05μm≤H≤0.20μm范围内。

    表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备

    公开(公告)号:CN102334289A

    公开(公告)日:2012-01-25

    申请号:CN201080009209.4

    申请日:2010-02-26

    发明人: 山中国人

    IPC分类号: H03H9/145 H03B5/30 H03H9/25

    摘要: 本发明提供能够实现良好的频率温度特性的表面声波谐振器。用于解决上述课题的SAW谐振器利用了欧拉角为(-1°≤φ≤1°,117°≤θ≤142°,42.79°≤|ψ|≤49.57°)的石英基板(30),具有激励出阻带上端模式的SAW的IDT(12);以及使位于构成IDT(12)的电极指(18)之间的基板凹陷而形成的槽(32),其中,在设SAW的波长为λ、槽(32)的深度为G时,满足0.01λ≤G,在设IDT(12)的线占有率为η时,槽(32)的深度G与所述线占有率η满足以下关系:-2.0000×G/λ+0.7200≤η≤-2.5000×G/λ+0.7775,其中0.0100λ≤G≤0.0500λ;以及-3.5898×G/λ+0.7995≤η≤-2.5000×G/λ+0.7775,其中0.0500λ<G≤0.0695λ。

    带阻滤波器
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102077465A

    公开(公告)日:2011-05-25

    申请号:CN200980125563.0

    申请日:2009-05-21

    摘要: 本发明提供一种带阻滤波器,其小型且廉价,通频带端部的滤波特性陡峭性高,且具有大的衰减量。带阻滤波器(1)中通过使多个弹性波谐振器中的有助于过渡频带的形成的至少一个弹性波谐振器的传播方位比其它弹性波谐振器的传播方位大,从而使多个弹性波谐振器中的有助于过渡频带的形成的至少一个弹性波谐振器的机电耦合系数比其它弹性波谐振器的机电耦合系数小。