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公开(公告)号:CN113639742B
公开(公告)日:2024-04-26
申请号:CN202110442124.5
申请日:2021-04-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 佐藤健太
Abstract: 显示装置及惯性测量系统,显示装置(10)具备显示出表示频率和频率的振动的频谱强度的第1二维显示(110)的显示部(11),第1二维显示叠加显示第1方向的第1测量值KX、与第1方向正交的第2方向的第2测量值KY、与第1方向和第2方向正交的第3方向的第3测量值KZ中的至少一个测量值、以及第1测量值KX、第2测量值与第3测量值的合成值Co,至少一个测量值和合成值的每个值按照第N测量值d1、中间值d11、d12、d13、第N+1测量值d2的顺序连续地显示与第N时间对应的第N测量值d1、与第N+1的时间对应的第N+1测量值d2、以及将第N时间与第N+1时间之间划分为m份而在第N测量值与第N+1测量值之间生成的m‑1个的中间值d11、d12、d13。
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公开(公告)号:CN117782167A
公开(公告)日:2024-03-29
申请号:CN202311238839.4
申请日:2023-09-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01D3/028
Abstract: 提供不易受到安装有物理量传感器的被测定物中产生的高频电磁振动噪声的影响的传感器模块。传感器模块具备:计数部,与从物理量传感器输出的被测定信号和从基准周期信号生成部输出的基准周期信号中的一方同步地生成另一方的时间事件的第一~第n计数值;时间数字值生成部,生成基于所述被测定信号与所述基准周期信号的相位差的第一~第n时间数字值;以及合成输出值生成部,基于所述第i时间数字值和所述第i计数值生成第i合成输出值,所述第j合成输出值的量子化误差被反馈到所述第j+1合成输出值的生成中,所述物理量发生变化的频率成为最大频率时的所述物理量的变化周期比分别生成所述第一~第n合成输出值的平均周期的8倍长。
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公开(公告)号:CN117629169A
公开(公告)日:2024-03-01
申请号:CN202311588674.3
申请日:2019-04-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供传感器单元及结构物监视装置,可降低施加于基板的应力对传感器单元的检测信号的影响,且检测精度高。该传感器单元包括物理量传感器、用于与外部连接的连接器、搭载有所述物理量传感器和所述连接器的基板、以及收纳所述基板的容器,所述基板包括:第一区域,所述连接器搭载于所述第一区域;第二区域,所述物理量传感器搭载于所述第二区域;以及连接区域,位于所述第一区域与所述第二区域之间,在从所述第一区域与所述第二区域的排列方向的剖视观察下,所述连接区域的截面积S3小于所述第一区域的截面积S1及所述第二区域的截面积S2,所述基板在所述第二区域的所述连接区域一侧借助固定部件而安装于所述容器。
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公开(公告)号:CN117629165A
公开(公告)日:2024-03-01
申请号:CN202311109109.4
申请日:2023-08-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5628 , B81B7/02 , G01C19/5621
Abstract: 本申请提供构造体、物理量传感器、惯性传感器、构造体的制造方法,能够避免伴随晶体基板的不同的结晶面的交点的不适。构造体(1)是设有切槽(SL)的晶体基板(2)的构造体。构造体作为切槽(SL)的内壁,包括第一侧面(S1)和第二侧面(S2)和第一端面(EF1)和第二端面(EF2)。第一侧面沿着作为切槽的长度方向的第一方向(DR1),第二侧面沿着第一方向。第一端面与第一侧面相连续,沿着晶体基板的第一结晶面,第二端面与第二侧面相连续,沿着晶体基板的第二结晶面。在俯视观察晶体基板(2)时,沿着相当于第一端面(EF1)的第一线段(L1)的直线和沿着相当于第二端面(EF2)的第二线段(L2)的直线相交的交点(CP)位于晶体基板(2)内。
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公开(公告)号:CN115711731A
公开(公告)日:2023-02-24
申请号:CN202210992605.8
申请日:2022-08-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 佐藤健太
IPC: G01M13/00 , G06F18/10 , G01H17/00 , G01M13/045
Abstract: 本发明提供信号处理方法、信号处理装置及监视系统,能够基于因对象物的振动而产生的物理量来计算用于简便地判定对象物的状态的指标。在信号处理方法中,获取基于从检测因对象物的振动而产生的第一轴的物理量的第一传感器输出的信号的第一测量数据和基于从检测因振动而产生的第二轴的物理量的第二传感器输出的信号的第二测量数据,基于第一测量数据和第二测量数据生成利萨茹图形,将利萨茹图形的各点的坐标转换为极坐标,生成将通过利萨茹图形的各点和原点的直线投影到包括第一轴及第二轴的平面而得到的直线与第一轴所成的第一角度的时间序列数据,计算通过对第一角度的时间序列数据进行频率分析而得到的第一频谱中的第一最大峰强度。
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公开(公告)号:CN113639742A
公开(公告)日:2021-11-12
申请号:CN202110442124.5
申请日:2021-04-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 佐藤健太
Abstract: 显示装置及惯性测量系统,显示装置(10)具备显示出表示频率和频率的振动的频谱强度的第1二维显示(110)的显示部(11),第1二维显示叠加显示第1方向的第1测量值KX、与第1方向正交的第2方向的第2测量值KY、与第1方向和第2方向正交的第3方向的第3测量值KZ中的至少一个测量值、以及第1测量值KX、第2测量值与第3测量值的合成值Co,至少一个测量值和合成值的每个值按照第N测量值d1、中间值d11、d12、d13、第N+1测量值d2的顺序连续地显示与第N时间对应的第N测量值d1、与第N+1的时间对应的第N+1测量值d2、以及将第N时间与第N+1时间之间划分为m份而在第N测量值与第N+1测量值之间生成的m‑1个的中间值d11、d12、d13。
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公开(公告)号:CN111610344A
公开(公告)日:2020-09-01
申请号:CN202010102926.7
申请日:2020-02-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明公开了传感器模块、传感器系统及惯性传感器的异常判定方法。传感器模块具备:惯性传感器;存储部,存储第一时间点的所述惯性传感器的检测轴方向上的结构共振频率;共振频率测量部,基于所述惯性传感器的输出信号,测量第二时间点的所述惯性传感器的检测轴方向上的所述结构共振频率;以及异常判定部,在所述第一时间点的所述结构共振频率以及所述第二时间点的所述结构共振频率偏离了预定值的情况下,判定为所述惯性传感器异常。
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公开(公告)号:CN110388906A
公开(公告)日:2019-10-29
申请号:CN201910288377.4
申请日:2019-04-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供传感器单元及结构物监视装置,可降低施加于基板的应力对传感器单元的检测信号的影响,且检测精度高。该传感器单元包括物理量传感器、用于与外部连接的连接器、搭载有所述物理量传感器和所述连接器的基板、以及收纳所述基板的容器,所述基板包括:第一区域,所述连接器搭载于所述第一区域;第二区域,所述物理量传感器搭载于所述第二区域;以及连接区域,位于所述第一区域与所述第二区域之间,在从所述第一区域与所述第二区域的排列方向的剖视观察下,所述连接区域的截面积S3小于所述第一区域的截面积S1及所述第二区域的截面积S2,所述基板在所述第二区域的所述连接区域一侧借助固定部件而安装于所述容器。
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公开(公告)号:CN110243343A
公开(公告)日:2019-09-17
申请号:CN201910173617.6
申请日:2019-03-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 佐藤健太
Abstract: 本发明涉及传感器模块、倾斜仪以及结构物监视装置,其稳定地抑制来自外界的振动、掉落时的冲击传播至传感器。传感器模块(200A)包括:传感器(100);第一基板(210A),传感器安装于第一基板;第二基板(220A),与外部的连接器连接;导通部件(250、260、271),将第一基板与第二基板连接;收容部(230A),第一基板、第二基板和导通部件收容于收容部;盖体(240A),堵塞收容部的开口部;第一弹性部件(280A),与第一基板的第一主面(210A1)和收容部接触;以及第二弹性部件(290A),与第一基板的第二主面(210A2)和盖体接触。传感器的共振频率f1、导通部件的共振频率f2、第一弹性部件的共振频率f3、第二弹性部件的共振频率f4满足:f2<f3<f1且f2<f4<f1。
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公开(公告)号:CN118730067A
公开(公告)日:2024-10-01
申请号:CN202410368691.4
申请日:2024-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5607
Abstract: 本发明涉及双音叉振子、物理量传感器及惯性计测装置,提供一种双音叉振子等,能够使连接激励电极和焊盘的配线难以断线。在双音叉振子(1)中,两端与一对基部(B1、B2)连接的一对振动梁(V1、V2),朝向第一方向(DR1)依次配置有第一端部区域(TA1)、第一激励区域(EA1)、第一中继区域(RA1)、第二激励区域(EA2)、第二中继区域(RA2)、第三激励区域(EA3)及第二端部区域(TA2),在第一中继区域(RA1)的表面之上设有:配线(L3a),连接第一激励区域(EA1)的激励电极(EL1a)和第二激励区域(EA2)的激励电极(EL2a);以及配线(L4a),连接第一激励区域(EA1)的激励电极(EL3a)和第二激励区域(EA2)的激励电极(EL4a)。
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