公开(公告)号：CN104602170B

公开(公告)日：2019-08-13

申请号：CN201410776358.3

申请日：2009-06-30

申请人： 密歇根大学董事会

发明人： K.格罗什 ,  R.J.利特雷尔

IPC分类号： H04R17/00

CPC分类号： H01L41/083 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/0257 ,  B81C1/0015 ,  B81C1/00158 ,  H01L41/1132 ,  H01L41/1136 ,  H01L41/27 ,  H04R17/00 ,  H04R17/02 ,  H04R2201/003

摘要： 包括多层传感器的压电MEMS麦克风，该传感器包括位于两个电极层之间的至少一个压电层，该传感器被尺寸定制为使得其提供了接近最大化的输出能量对传感器面积之比率，最大化的输出能量对传感器面积之比率通过计入了输入压力、带宽、及压电和电极材料特征的最优化参数来确定。该传感器可由单独的或以小间隙彼此分隔开的堆叠悬臂梁组成，或者可以是以下方式形成的应力消除隔板：通过沉积到硅衬底上，然后通过将隔板基本与衬底分离来对隔板进行应力消除，并接下来重新附着现在的经应力消除的隔板。

公开(公告)号：CN106062238B

公开(公告)日：2018-09-04

申请号：CN201580011354.9

申请日：2015-03-02

申请人： 株式会社村田制作所 ,  独立行政法人产业技术综合研究所

发明人： 梅田圭一 ,  秋山守人 ,  长濑智美 ,  西久保桂子 ,  本多淳史

IPC分类号： C23C14/06 ,  H01L41/083 ,  H01L41/187 ,  H01L41/27 ,  H01L41/316 ,  H01L41/39 ,  H03H3/02 ,  H03H9/17

CPC分类号： H01L41/18 ,  C04B35/581 ,  C04B35/62218 ,  C04B2235/3865 ,  C04B2235/40 ,  C23C14/0042 ,  C23C14/0617 ,  C23C14/0641 ,  C23C14/14 ,  C23C14/3435 ,  C23C14/3464 ,  G10K9/125 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/081 ,  H01L41/0831 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/187 ,  H01L41/27 ,  H01L41/316 ,  H03H3/02 ,  H03H9/02015 ,  H03H9/588 ,  H03H2003/023

摘要： 本发明提供一种氮化铝压电薄膜及其制造方法、压电材、压电部件。可得出呈氮极性且量产性优越的氮化铝压电薄膜。提供使含有锗的氮化铝压电薄膜(3)以及在基材(2)上通过溅射而含有锗的氮化铝压电薄膜生长的氮化铝压电薄膜的制造方法。

公开(公告)号：CN105841850B

公开(公告)日：2018-02-27

申请号：CN201610317296.9

申请日：2016-05-12

申请人： 京东方科技集团股份有限公司

发明人： 田雪雁

IPC分类号： G01L1/16 ,  H01L41/29

CPC分类号： H01L41/1132 ,  G01L1/16 ,  H01L41/0471 ,  H01L41/081 ,  H01L41/193 ,  H01L41/27 ,  H01L41/311 ,  H01L51/0508

摘要： 本发明公开了一种压电传感器及其制作方法，用以实现全方位的压力感测。本发明提供的压电传感器，包括第一电极层、第二电极层和位于第一电极层与第二电极层之间的压电薄膜层，所述压电传感器还包括：用于感测第一方向上的压力的第一功能模块和用于感测第二方向上的压力的第二功能模块，所述第一功能模块和所述第二功能模块分别与所述第二电极层相连接，其中，所述第一方向和第二方向相互垂直。

公开(公告)号：CN105637664B

公开(公告)日：2017-10-03

申请号：CN201480055006.7

申请日：2014-09-11

申请人： 国家宇航研究所(奥尼拉)

发明人： H·梅西耶德罗什特 ,  D·若利

IPC分类号： H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/37

CPC分类号： H01L41/0993 ,  H01L41/0471 ,  H01L41/082 ,  H01L41/183 ,  H01L41/27 ,  H01L41/37

摘要： 本发明涉及一种在选择方向上提供大幅剪切运动的致动器。根据本发明：纤维(2)相对于选择方向的倾角大于2°且小于40°；利用不可压缩的弹性材料(10)填充活性层的压电纤维之间的空间；活性层(1)包括与选择方向平行的至少两个尺寸稳定的细长元件(8)；使用硬质粘合剂(9)将每个纤维(2)的端部粘合到所述尺寸稳定的元件(8)；以及通过硬质粘合剂(12)将所述尺寸稳定的元件(8)粘合到所述电极支承层(4)。

公开(公告)号：CN107068847A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201710289450.0

申请日：2017-04-27

申请人： 苏州国科昂卓医疗科技有限公司

发明人： 邵维维 ,  张萌 ,  韩志乐 ,  崔崤峣 ,  苗源民

IPC分类号： H01L41/02 ,  H01L41/083 ,  H01L41/27

CPC分类号： H01L41/02 ,  H01L41/083 ,  H01L41/27

摘要： 本发明提供一种压电器件及其制作方法，所述压电器件包括叠置的参考电极层、第一导电层以及第二导电层，所述参考电极层、第一导电层以及第二导电层中的至少之一的表面上设置有保护膜层。通过设置保护膜层，提高压电器件表面金属电极的抗腐蚀性和耐磨损性，利于压电器件的保存；此外，通过给不同电极加工不同厚度不同材料的保护膜层，能够使表面电极与外界绝缘，降低外界对压电器件工作的影响，提高压电器件工作的稳定性，实现不同的应用需求。

公开(公告)号：CN107053848A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201611224574.2

申请日：2016-12-27

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 酒井朋裕 ,  北田和也 ,  角浩二

IPC分类号： B41J2/14

CPC分类号： H01L41/27 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/14274 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1635 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14258 ,  B41J2002/14419 ,  B41J2202/03 ,  H01L41/0472 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/083 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/318

摘要： 本发明提供压电元件、压电元件应用设备以及压电元件的制造方法。一种压电元件，具备第1电极；压电体层，该压电体层包括第1压电体膜和多个第2压电体膜，上述第1压电体膜形成在第1电极上且含有钾、钠以及铌，上述多个第2压电体膜形成在第1压电体膜上且含有钾、钠以及铌；以及第2电极，该第2电极形成在压电体层上，压电体层是多个压电体膜的层叠体，第1压电体膜具有30nm以上且70nm以下的厚度，分别的压电体膜内的钠的浓度沿膜厚方向形成梯度，在第1电极侧高，在第2电极侧低。

公开(公告)号：CN107046094A

公开(公告)日：2017-08-15

申请号：CN201610943104.5

申请日：2016-11-01

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 山崎清夏 ,  田村博明

IPC分类号： H01L41/083 ,  H01L41/27 ,  H01L41/312 ,  A61B8/00 ,  A61B8/08 ,  B06B1/06

CPC分类号： A61B8/4494 ,  A61B8/4444 ,  B06B1/06 ,  B06B1/0607 ,  G01P15/09 ,  G01P15/0922 ,  H01L41/04 ,  H01L41/081 ,  H01L41/0825 ,  H01L41/083 ,  H01L41/1136 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/257 ,  H01L41/29 ,  H01L41/312 ,  H02N2/186 ,  A61B8/0891 ,  B06B1/0688 ,  H01L41/27

摘要： 提供一种压电元件及其制造方法、超声波探头、超声波测定装置。所述压电元件具备压电体和振动膜，所述振动膜将各向异性的单晶硅作为振动用材料，所述各向异性具有泊松比相对高的位向和泊松比相对低的位向，所述泊松比相对低的位向称为“低泊松比位向”，以所述低泊松比位向成为沿着所述压电体的高伸缩方向的方向的方式层叠所述压电体和所述振动膜，所述高伸缩方向是所述压电体根据支承结构产生的伸缩程度相对高的方向和相对低的方向中相对高的方向。

公开(公告)号：CN106449967A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201610884471.2

申请日：2016-10-11

申请人： 南京江淳机电装备科技有限公司

发明人： 姜银方 ,  童炳祥 ,  姜文帆 ,  严琴 ,  祝希文 ,  蒋俊俊 ,  陈凯歌 ,  陈波 ,  严有琪

IPC分类号： H01L41/22 ,  H01L41/23 ,  H01L41/27

CPC分类号： H01L41/22 ,  H01L41/23 ,  H01L41/27

摘要： 本发明公开了一种超声导波弛豫铁电单晶传感器封装的保压装置，包括顶紧螺栓、壳体、上压块、下压块和导向弹性支撑机构，顶紧螺栓下端抵靠在上压块上端面上，上压块下端面抵靠在下压块的上侧，下压块四角通过导向弹性支撑机构支撑在壳体的下边上。使用保压装置的封装方法包括以下步骤：1）粘结匹配层和压电晶片，2）制备背衬层，3）正极铜箔和负极铜箔定位在压电晶片上并与背衬层粘接，4）装配外壳和同轴连接器，5）粘结挡片，在此过程中对各工序的半成品共进行四次加压和保压。本发明的保压装置结构简单，使用方便，提高了弛豫铁电单晶传感器的封装质量。本发明的封装方法提高了成品率，降低了的弛豫铁电单晶传感器的制造成本。

公开(公告)号：CN105229809A

公开(公告)日：2016-01-06

申请号：CN201480016157.1

申请日：2014-01-13

申请人： 拜耳材料科学股份公司

发明人： J·瓦格纳 ,  J·克劳斯 ,  C·格拉夫 ,  D·科丁 ,  J·马斯 ,  D·蒂普尔 ,  T·霍夫施塔特

IPC分类号： H01L41/047 ,  H01L41/083 ,  H01L41/193 ,  H01L41/27 ,  H01L41/297

CPC分类号： H01L41/27 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/09 ,  H01L41/193 ,  H01L41/297 ,  H02N11/002

摘要： 本发明涉及一种用于生产至少一个多层机电换能器(44)的方法，具有步骤：设置至少一个电介质弹性体箔(10,16,22,30,46)；在一个施加步骤中，将至少一个电极层(12,18,20,24,26,28,42)施加到所述弹性体箔(10,16,22,30,46)的至少一个第一部分(16.1,16.4,22.1)上；将所述弹性体箔(10,16,22,30,46)布置在一个折叠设备(2)的接收表面(4)上，其中所述折叠设备(2)具有第一板(2.1)和一个第二板(2.2)；将所述弹性体箔(10,16,22,30,46)固定在所述接收表面(4)上；以及在一个折叠步骤中，通过使所述第一板(2.1)相对于所述第二板(2.2)折叠使得所述电极层(12,18,20,24,26,28,42)被布置在所述弹性体箔(10,16,22,30,46)的第一部分(16.1,16.4,22.1)和所述弹性体箔(10,16,22,30,46)的第二部分(16.2,16.3,22.3)之间，来将所述弹性体箔(10,16,22,30,46)的第一部分(16.1,16.4,22.1)折叠到所述弹性体箔(10,16,22,30,46)的另一部分(16.2,16.3,22.3)上。

公开(公告)号：CN104602170A

公开(公告)日：2015-05-06

申请号：CN201410776358.3

申请日：2009-06-30

申请人： 密执安大学评议会

发明人： K.格罗什 ,  R.J.利特雷尔

IPC分类号： H04R17/00

CPC分类号： H01L41/083 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/0257 ,  B81C1/0015 ,  B81C1/00158 ,  H01L41/1132 ,  H01L41/1136 ,  H01L41/27 ,  H04R17/00 ,  H04R17/02 ,  H04R2201/003

摘要： 包括多层传感器的压电MEMS麦克风，该传感器包括位于两个电极层之间的至少一个压电层，该传感器被尺寸定制为使得其提供了接近最大化的输出能量对传感器面积之比率，最大化的输出能量对传感器面积之比率通过计入了输入压力、带宽、及压电和电极材料特征的最优化参数来确定。该传感器可由单独的或以小间隙彼此分隔开的堆叠悬臂梁组成，或者可以是以下方式形成的应力消除隔板：通过沉积到硅衬底上，然后通过将隔板基本与衬底分离来对隔板进行应力消除，并接下来重新附着现在的经应力消除的隔板。