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公开(公告)号：CN106062238A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201580011354.9
申请日：2015-03-02
Applicant: 株式会社村田制作所 , 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC: C23C14/06 , H01L41/083 , H01L41/187 , H01L41/27 , H01L41/316 , H01L41/39 , H03H3/02 , H03H9/17
CPC classification number: H01L41/18 , C04B35/581 , C04B35/62218 , C04B2235/3865 , C04B2235/40 , C23C14/0042 , C23C14/0617 , C23C14/0641 , C23C14/14 , C23C14/3435 , C23C14/3464 , G10K9/125 , H01L41/0805 , H01L41/081 , H01L41/0831 , H01L41/0973 , H01L41/187 , H01L41/27 , H01L41/316 , H03H3/02 , H03H9/02015 , H03H9/588 , H03H2003/023
Abstract: 本发明提供一种氮化铝压电薄膜及其制造方法、压电材、压电部件。可得出呈氮极性且量产性优越的氮化铝压电薄膜。提供使含有锗的氮化铝压电薄膜(3)以及在基材(2)上通过溅射而含有锗的氮化铝压电薄膜生长的氮化铝压电薄膜的制造方法。
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公开(公告)号：CN106062238B
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201580011354.9
申请日：2015-03-02
Applicant: 株式会社村田制作所 , 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC: C23C14/06 , H01L41/083 , H01L41/187 , H01L41/27 , H01L41/316 , H01L41/39 , H03H3/02 , H03H9/17
CPC classification number: H01L41/18 , C04B35/581 , C04B35/62218 , C04B2235/3865 , C04B2235/40 , C23C14/0042 , C23C14/0617 , C23C14/0641 , C23C14/14 , C23C14/3435 , C23C14/3464 , G10K9/125 , H01L41/0805 , H01L41/081 , H01L41/0831 , H01L41/0973 , H01L41/187 , H01L41/27 , H01L41/316 , H03H3/02 , H03H9/02015 , H03H9/588 , H03H2003/023
Abstract: 本发明提供一种氮化铝压电薄膜及其制造方法、压电材、压电部件。可得出呈氮极性且量产性优越的氮化铝压电薄膜。提供使含有锗的氮化铝压电薄膜(3)以及在基材(2)上通过溅射而含有锗的氮化铝压电薄膜生长的氮化铝压电薄膜的制造方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105765751B
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201480064741.4
申请日：2014-11-20
Applicant: 株式会社村田制作所 , 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC: H01L41/187 , C23C14/34 , H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/316 , H03H3/02 , H03H9/17 , H04R17/02
CPC classification number: H01L41/183 , C23C14/0036 , C23C14/3414 , C23C14/3464 , C23C16/34 , H01L41/187 , H01L41/316 , H03H3/02 , H03H9/17 , H04R17/02 , H04R2307/027
Abstract: 本发明提供一种由含有钪以外的廉价元素且压电常数得到提高的氮化铝构成的压电薄膜。所述压电薄膜是由含有镁和铌的氮化铝构成的压电薄膜，其中，相对于上述镁100原子％，含有上述铌31～120原子％，上述镁和铌的合计含量相对于上述镁、铌及铝的含量的总和在10～67原子％的范围。
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公开(公告)号：CN105765751A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201480064741.4
申请日：2014-11-20
Applicant: 株式会社村田制作所 , 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC: H01L41/187 , C23C14/34 , H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/316 , H03H3/02 , H03H9/17 , H04R17/02
CPC classification number: H01L41/183 , C23C14/0036 , C23C14/3414 , C23C14/3464 , C23C16/34 , H01L41/187 , H01L41/316 , H03H3/02 , H03H9/17 , H04R17/02 , H04R2307/027
Abstract: 本发明提供一种由含有钪以外的廉价元素且压电常数得到提高的氮化铝构成的压电薄膜。所述压电薄膜是由含有镁和铌的氮化铝构成的压电薄膜，其中，相对于上述镁100原子％，含有上述铌31～120原子％，上述镁和铌的合计含量相对于上述镁、铌及铝的含量的总和在10～67原子％的范围。
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公开(公告)号：CN101910060A
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200880123914.X
申请日：2008-11-18
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC: C01B31/02
CPC classification number: C01B31/02 , C01B32/05 , C01B32/348 , C01P2004/32 , C01P2004/61 , C01P2006/12 , Y10T428/2982
Abstract: 本发明提供一种由以木质素为主要成分的有机物原料制造碳微粒的方法及利用该制造方法得到的碳微粒。所述制造方法的特征在于，将木质素及氢氧化钠(质量比例为1∶0.5)的总浓度为5％的水溶液进行喷雾干燥，制备复合微粒；将其在氮气氛围下、在600℃下热处理1小时并自然冷却；其后，将其进行水洗并进一步进行干燥，由此制造图2(b)所示的中空碳微粒。制成的碳微粒为轻质碳微粒，且与市售的活性炭的比表面积为同等级。
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公开(公告)号：CN101910060B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN200880123914.X
申请日：2008-11-18
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC: C01B31/02
CPC classification number: C01B31/02 , C01B32/05 , C01B32/348 , C01P2004/32 , C01P2004/61 , C01P2006/12 , Y10T428/2982
Abstract: 本发明提供一种由以木质素为主要成分的有机物原料制造碳微粒的方法及利用该制造方法得到的碳微粒。所述制造方法的特征在于，将木质素及氢氧化钠(质量比例为1∶0.5)的总浓度为5％的水溶液进行喷雾干燥，制备复合微粒；将其在氮气氛围下、在600℃下热处理1小时并自然冷却；其后，将其进行水洗并进一步进行干燥，由此制造图2(b)所示的中空碳微粒。制成的碳微粒为轻质碳微粒，且与市售的活性炭的比表面积为同等级。
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公开(公告)号：CN105229810A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201480026406.5
申请日：2014-05-22
Applicant: 株式会社电装 , 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC: H01L41/316 , C23C14/06 , H01L41/187
CPC classification number: H01L41/18 , C23C14/0052 , C23C14/06 , C23C14/0641 , C23C14/18 , C23C14/185 , C23C14/34 , C23C14/3464 , C23C14/46 , H01L41/187 , H01L41/316
Abstract: 一种压电体薄膜(1)，其是通过溅射得到的并且由钪铝氮化物制成的。其碳原子含有率为2.5原子％以下。在压电体薄膜(1)的制造时，在至少含有氮气的气氛下，从碳原子含有率为5原子％以下的钪铝合金靶材(10)向基板上(21)同时溅射钪和铝。另外，也可以对合金靶材的相对面倾斜地照射离子束(31)来进行溅射。另外，也可以从Sc靶材和Al靶材向基板上同时溅射铝和钪。由此，能够提供可发挥优良的压电特性的压电体薄膜及其制造方法。
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