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公开(公告)号：CN118010808B
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202410129008.1
申请日：2024-01-31
Applicant: 南京高华科技股份有限公司
Abstract: 本发明提供的具有热磁式测温结构的MEMS微热板式气体传感器及其制备方法，涉及传感器领域；传感器包括衬底和设置在衬底上方的膜片结构；膜片结构包括自下而上层叠设置的钝化层、加热电极、永磁薄膜层、第一传热绝缘层、热检测电极、第二传热绝缘层、气体检测电极和气敏薄膜；工作时，加热电极用作热源产生的分别向传感区和气敏薄膜传递；气敏薄膜接收热流升温至工作温度区间与待测气体发生反应后改变其电阻，经气体检测电极检测后转换为待测气体浓度；永磁薄膜层工作时产生磁场，热检测电极基于能斯托效应将气敏薄膜的反应温度变化转换为输出电压变化，实现实时监测气敏薄膜反应温度。
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公开(公告)号：CN119085931A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202411206974.5
申请日：2024-08-30
Applicant: 南京高华科技股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例提供一种MEMS压力传感器非线性校正方法、系统、设备及介质。方法包括：获取MEMS压力传感器的输出值；将所述输出值输入预先建立的非线性校正模型，得到MEMS压力传感器的非线性校正值；其中，所述非线性校正模型通过模因粒子群优化算法对支持向量机进行参数优化预先建立。本公开的实施例利用高效的MPSO‑SVM非线性校正算法进行MEMS压力传感器的非线性补偿，较好地解决了小样本、非线性的问题，保持了粒子群的多样性，采用自适应调整，使算法在解搜索空间的遍历性得到改善。通过软件算法提升现有MEMS压力传感器的测量精度，可减少硬件更新频率，从而降低压力传感器生产成本和设备维护成本。
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公开(公告)号：CN116750709B
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202310647135.6
申请日：2023-06-02
Applicant: 南京高华科技股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例公开了一种MEMS加速度与压力集成传感器及其制备方法。包括：第一衬底，设置有空腔；设置于第一衬底的埋氧层、器件层和第一钝化层，三者对应空腔的部分形成敏感薄膜；第一压敏电阻和第一欧姆接触区，内嵌于器件层的表面；设置于第一钝化层的牺牲层、结构层和第二钝化层，结构层和第二钝化层对应空腔的部分悬空形成质量块和悬臂梁；第二压敏电阻和第二欧姆接触区，内嵌于悬空部分的结构层背离第一衬底的表面；引线层和金属填充层，引线层设置于第二钝化层的表面，金属填充层分别与引线层、第一欧姆接触区和第二欧姆接触区电连接；第二衬底，与第一衬底背离第一钝化层的表面连接。提高集成化程度，降低生产成本，简化工艺流程。
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公开(公告)号：CN116593735B
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202310532137.0
申请日：2023-05-12
Applicant: 南京高华科技股份有限公司
IPC: G01P15/125
Abstract: 本公开实施例提供一种MEMS电容式加速度计及其制备方法。包括：第一衬底；第一电极层和支撑层，设置于第一衬底，并且支撑层位于第一电极层外侧；弹性件和弹性件底盘，弹性件的第一端插置于第一电极层与第一衬底抵接，第二端与弹性件底盘抵接；连接层，设置于支撑层和弹性件底盘背离第一衬底的一侧；第二衬底，设置于连接层背离第一衬底的一侧；弹性梁和质量块，设置于第二衬底，质量块与第一电极层相对应，弹性梁位于质量块外侧；第二电极层和绝缘层，绝缘层设置于质量块朝向第一衬底的一侧，第二电极层夹设于绝缘层和连接层之间。能有效防止在加速度过大时弹性梁发生断裂，实现过载保护。有效避免了静电吸合的发生，提高了加速度计的可靠性。
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公开(公告)号：CN117705313A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202311692634.3
申请日：2023-12-11
Applicant: 南京高华科技股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例提供一种MEMS电容式温湿度集成传感器及制备方法，传感器包括：体硅层，设置有贯穿其厚度的下空腔；依次层叠设置于体硅层的埋氧层、器件层、第一介质层和第一电极层；温度敏感层，设置于下空腔内，且位于第一介质层和第一电极层之间；其中，上述五者对应下空腔的部分共同形成悬臂梁；结构层和金属填充层，结构层设置于第一介质层的上表面，结构层设有贯穿起厚度的上空腔，上空腔与下空腔位置对应且连通；金属填充层分别连接引线层和第一电极层；第二电极层，设置于悬臂梁上的第一电极层上方的上空腔；设置于结构层上的引线层、第二介质层和第三电极层；引线层和第二介质层位于第三电极层和结构层之间；湿度敏感层，填充于填充空间内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114964400B
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202210668802.4
申请日：2022-06-14
Applicant: 南京高华科技股份有限公司
IPC: G01F1/69
Abstract: 本申请公开了一种流量传感器及其制作方法，所述方法包括：提供柔性衬底(1)；在所述柔性衬底(1)表面形成牺牲层(2)；在所述牺牲层(2)上形成加热电阻(3)，所述加热电阻(3)位于所述柔性衬底(1)表面的中心；在所述柔性衬底(1)表面形成多个焊盘(4)，多个所述焊盘(4)绕所述柔性衬底(1)表面的中心阵列分布；在所述牺牲层(2)上形成多个导线(5)，每个所述导线(5)连接在所述加热电阻(3)及相应所述焊盘(4)之间；去除所述牺牲层(2)；使所述柔性衬底(1)径向收缩，以使所述加热电阻(3)远离所述柔性衬底(1)表面。本申请的方法无需在衬底上设置隔热腔，而且能够使加热电阻和柔性衬底之间保持较大的距离来进行隔热，有利于提高器件灵敏度，降低器件制作难度。
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公开(公告)号：CN114839432B
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN202210387574.3
申请日：2022-04-14
Applicant: 南京高华科技股份有限公司
IPC: G01R21/02
Abstract: 本发明提供一种微波功率传感器，包括基板以及设置在基板上的热电堆、共面波导单元、第一匹配电阻、第二匹配电阻、第一V形梁和第二V形梁；共面波导单元与热电堆间隔设置；第一匹配电阻和第二匹配电阻间隔设置在热电堆和共面波导单元之间；第一V形梁的顶端与第一匹配电阻连接，其另一端与共面波导单元连接，第一V形梁设置有间隔分布的第一金属条；第二V形梁的顶端与第二匹配电阻连接，其另一端与共面波导单元连接，第二V形梁设置有间隔分布的第二金属条。该传感器利用微波信号在匹配电阻上产生的热量，使得V形梁受热膨胀来自动控制功率传输阈值，使用过程中无功耗；通过在V形梁上设置间隔分布的金属条，实现信号传输短路的自保护机制。
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公开(公告)号：CN115388854A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202211031950.1
申请日：2022-08-26
Applicant: 南京高华科技股份有限公司
IPC: G01C5/06
Abstract: 本发明提供一种气压高度传感器，其包括第一压力敏感芯体、第一放大调理电路、第二压力敏感芯体、第二放大调理电路以及微控制器；所述第一放大调理电路与所述第一压力敏感芯体电连接，所述第一放大调理电路用于对第一电阻信号进行调理和放大并获取第一电压信号；所述第二放大调理电路与所述第二压力敏感芯体电连接，所述第二放大调理电路用于对第二电阻信号进行调理和放大并获取第二电压信号；所述第一放大调理电路和所述第二放大调理电路分别与所述微控制器电连接，所述微控制器根据所述第一电压信号获取第一高度值，并根据所述第二电压信号获取第二高度值。本发明的一个技术效果在于，设计合理，显著提高飞行器飞行的安全性与可靠性。
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公开(公告)号：CN115340060A
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202211031998.2
申请日：2022-08-26
Applicant: 南京高华科技股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种雨滴能量收集器及其制备方法，雨滴能量收集器包括基座、结构层和机械能转化组件，所述结构层包括固定端和自由端，所述固定端固定于所述基座的顶部；所述结构层的内部设置有所述机械能转化组件，且所述机械能转化组件由所述固定端延伸至所述自由端；所述机械能转化组件包括上电极板、下电极板和PZT压电薄膜层，所述PZT压电薄膜层设置于所述上电极板和所述下电极板之间，所述上电极板和所述下电极板之间通过所述PZT压电薄膜层电连接。本发明的一个技术效果在于，结构设计合理，能够将雨滴下落的机械能有效地转化为电能，从而有利于充分利用雨滴下落的能量，提高了能源的利用率。
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公开(公告)号：CN115265854A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210892300.X
申请日：2022-07-27
Applicant: 南京高华科技股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种压力传感器及其制备方法，压力传感器的制备方法，包括如下步骤：步骤S100，对硅衬底的第一侧表面蚀刻并形成限位平台，所述限位平台的顶面与所述硅衬底的第一侧表面之间具有间隙；步骤S200，在所述硅衬底的第一侧沉积牺牲层，通过所述牺牲层在所述硅衬底的第一侧制作结构层，并在所述结构层上设置压敏电阻；步骤S300，对所述结构层进行蚀刻，以在结构层的底层薄膜上间隔形成多个支撑部，所述底层薄膜和多个所述支撑部共同构成梁膜结构；其中，所述底层薄膜的底面与所述限位平台的顶面之间形成预设预设距离。本发明的一个技术效果在于，设计合理，不仅能够发挥较好的抗过载作用，而且能够大大提高压力传感器的灵敏度。
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