集成电路器件
    13.
    发明公开
    集成电路器件 审中-实审

    公开(公告)号:CN117199071A

    公开(公告)日:2023-12-08

    申请号:CN202310660218.9

    申请日:2023-06-05

    Abstract: 一种集成电路(IC)器件包括:鳍型有源区;沟道区,在鳍型有源区上;栅极线,在鳍型有源区上围绕沟道区;源极/漏极区,在鳍型有源区上与栅极线相邻并具有面对沟道区的侧壁,其中源极/漏极区包括第一缓冲层、第二缓冲层和主体层,第一缓冲层、第二缓冲层和主体层在远离鳍型有源区的方向上依次堆叠,每个包括掺有p型掺杂剂的Si1‑xGex层(x大于0),并具有不同的Ge浓度,第二缓冲层共形地覆盖第一缓冲层的面对主体层的表面。第二缓冲层的侧缓冲部分与底缓冲部分的厚度比率在约0.9至约1.1的范围内。

    半导体器件
    14.
    发明公开
    半导体器件 审中-实审

    公开(公告)号:CN114628500A

    公开(公告)日:2022-06-14

    申请号:CN202111116770.9

    申请日:2021-09-23

    Abstract: 一种半导体器件包括:多沟道有源图案;多个栅极结构,位于所述多沟道有源图案上并在第一方向上彼此间隔开,所述多个栅极结构包括在与所述第一方向不同的第二方向上延伸的栅电极;源极/漏极凹陷,位于相邻的所述栅极结构之间;以及源极/漏极图案,在所述源极/漏极凹陷中位于所述多沟道有源图案上,其中,所述源极/漏极图案包括:半导体衬垫层,包括硅锗并沿着所述源极/漏极凹陷延伸;半导体填充层,包括硅锗并位于所述半导体衬垫层上;以及至少一个半导体插入层,位于所述半导体衬垫层和所述半导体填充层之间,其中,所述至少一个半导体插入层具有鞍结构。

    集成电路器件及其制造方法
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112530944A

    公开(公告)日:2021-03-19

    申请号:CN202010643649.0

    申请日:2020-07-06

    Abstract: 一种集成电路器件,包括:鳍型有源区,从衬底突出并沿第一方向延伸;多个半导体图案,与鳍型有源区的上表面分开设置,所述多个半导体图案均包括沟道区;栅电极,围绕所述多个半导体图案,在垂直于第一方向的第二方向上延伸,并且包括主栅电极和子栅电极,其中所述主栅电极设置在所述多个半导体图案中的最上方半导体图案上并在第二方向上延伸,且所述子栅电极设置在多个半导体图案之间;第一间隔结构,设置在所述主栅电极的两个侧壁上;以及源极区/漏极区,与所述多个半导体图案相连,设置在所述栅电极的两侧,并接触所述间隔结构的底表面。

    半导体器件
    16.
    发明公开
    半导体器件 审中-公开

    公开(公告)号:CN112071911A

    公开(公告)日:2020-12-11

    申请号:CN202010361342.1

    申请日:2020-04-30

    Abstract: 公开了一种半导体器件。所述半导体器件包括:鳍型图案,位于基底上,鳍型图案在第一方向上延伸并且在第三方向上从基底突出;第一布线图案,位于鳍型图案上,第一布线图案在第三方向上与鳍型图案间隔开;以及栅电极,在垂直于第一方向和第三方向的第二方向上延伸并且围绕第一布线图案,栅电极包括在第二方向上与鳍型图案叠置的第一部分以及与栅电极的除了所述第一部分之外的其余部分对应的第二部分。

    半导体器件及其制造方法
    19.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112018179B

    公开(公告)日:2024-07-19

    申请号:CN202010096134.3

    申请日:2020-02-17

    Abstract: 提供一种半导体器件及其制造方法。所述半导体器件包括:沟道图案,所述沟道图案包括堆叠在衬底上的第一半导体图案和第二半导体图案;栅电极,所述栅电极覆盖沟道图案的顶表面和侧表面并沿第一方向延伸,并且包括位于第一半导体图案与第二半导体图案之间的第一栅极段;栅极间隔物,所述栅极间隔物覆盖栅电极的侧表面,并且包括暴露沟道图案的开口;以及第一源极/漏极图案,所述第一源极/漏极图案位于栅极间隔物的侧部,并且通过开口与沟道图案接触,所述第一源极/漏极图案包括:在第一栅极段的高度处并且在开口的中心处的侧壁中心厚度;以及在第一栅极段的高度处并且在开口的边缘处的侧壁边缘厚度,侧壁边缘厚度为侧壁中心厚度的约0.7至1倍。

    半导体装置
    20.
    发明公开
    半导体装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN114639734A

    公开(公告)日:2022-06-17

    申请号:CN202111326140.4

    申请日:2021-11-10

    Abstract: 提供了一种半导体装置,所述半导体装置包括:有源图案,包括下图案和多个片图案;栅极结构,设置在下图案上并且围绕多个片图案;以及源极/漏极图案,填充源极/漏极凹陷并且形成在栅极结构的至少一侧上。源极/漏极图案包括沿着源极/漏极凹陷延伸并且接触下图案的第一半导体图案以及依次地设置在第一半导体图案上的第二半导体图案和第三半导体图案,第三半导体图案的下表面设置在最下面的片图案的下表面下方,第三半导体图案的侧表面包括平面部分,并且在第三半导体图案的下表面上的第二半导体图案的厚度与在第三半导体图案的侧表面的平面部分上的第二半导体图案的厚度不同。

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