配置成保护光掩模的表膜、包括该表膜的掩模版、和制造该表膜的方法

    公开(公告)号:CN109324474A

    公开(公告)日:2019-02-12

    申请号:CN201810722896.2

    申请日:2018-07-04

    CPC classification number: G03F1/62 G03F1/64 G03F7/0035

    Abstract: 公开配置成保护光掩模的表膜、包括该表膜的掩模版、和制造该表膜的方法。所述表膜配置成保护光掩模免受外部污染物并且可包括金属催化剂层和在所述金属催化剂层上的包括2D材料的表膜膜片,其中所述金属催化剂层支撑所述表膜膜片的边缘区域且不支撑所述表膜膜片的中央区域。所述金属催化剂层可在基底上,使得所述基底和所述金属催化剂层共同支撑所述表膜膜片的边缘区域且不支撑所述表膜膜片的中央区域。所述表膜可基于如下形成:在所述金属催化剂层生长所述2D材料和蚀刻支撑所形成的表膜膜片的中央区域的所述金属催化剂层的内部区域。

    利用摩擦电的能量采集器和包括其的装置

    公开(公告)号:CN107547003A

    公开(公告)日:2018-01-05

    申请号:CN201710206465.6

    申请日:2017-03-31

    Abstract: 示例实施方式涉及一种利用摩擦电的能量采集器,以及涉及包括该能量采集器的装置。能量采集器可以包括具有第一摩擦电材料的第一结构,具有第二摩擦电材料的第二结构,以及将第一摩擦电材料和第二摩擦电材料的摩擦表面与外部环境隔离的封闭结构。能量采集器还可以包括在封闭结构中的填充材料。填充材料可以具有电荷。填充材料可以具有粘度。封闭结构的至少一部分可以包括弹性材料。

    摩擦电发电机
    110.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107359808A

    公开(公告)日:2017-11-17

    申请号:CN201710303449.9

    申请日:2017-05-03

    Abstract: 本公开提供一种摩擦电发电机。该摩擦电发电机包括:彼此间隔开的第一电极和第二电极;第一带电物体,在第一电极的面对第二电极的表面上;第二带电物体,提供在第一带电物体和第二电极之间;以及接地单元,配置为由于第二带电物体的运动而间歇地使第二带电物体和电荷储存器互相连接。第一带电物体配置为由于接触而带正电荷。第二带电物体配置为由于接触而带负电荷。

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