硬掩模组合物、其制法和使用其形成图案化的层的方法

    公开(公告)号:CN109256328B

    公开(公告)日:2024-03-15

    申请号:CN201810030517.3

    申请日:2018-01-12

    Abstract: 提供硬掩模组合物、其制法和使用其形成图案化的层的方法。所述硬掩模组合物可包括石墨烯量子点、金属化合物、和溶剂。所述金属化合物可与所述石墨烯量子点化学键合(例如,共价键合)。所述金属化合物可包括金属氧化物、金属碳化物、或其组合。所述金属氧化物可包括如下的至少一种:锆(Zr)氧化物、钛(Ti)氧化物、钨(W)氧化物、或铝(Al)氧化物,和所述金属碳化物可包括如下的至少一种:锆(Zr)碳化物、钛(Ti)碳化物、钨(W)碳化物、或铝(Al)碳化物。所述石墨烯量子点可通过M‑O‑C键或M‑C键与所述金属化合物键合,其中M为金属元素,O为氧,且C为碳。

    垂直型晶体管、包括其的反相器及垂直型半导体器件

    公开(公告)号:CN113410304A

    公开(公告)日:2021-09-17

    申请号:CN202110280227.6

    申请日:2021-03-16

    Abstract: 示例实施方式提供了垂直型晶体管、包括其的反相器和包括其的垂直型半导体器件。垂直型晶体管包括:基板;提供在基板上的第一源/漏电极层;第二源/漏电极层,提供在第一源/漏电极层之上;第一栅电极层,提供在第一源/漏电极层和第二源/漏电极层之间;穿过第一栅电极层的第一栅绝缘膜;孔,穿过第二源/漏电极层、第一栅绝缘膜和第一源/漏电极层;以及提供在该孔的侧面上的第一沟道层,其中第一沟道层可以包括2D半导体。

    摩擦电发电机
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107359808A

    公开(公告)日:2017-11-17

    申请号:CN201710303449.9

    申请日:2017-05-03

    Abstract: 本公开提供一种摩擦电发电机。该摩擦电发电机包括:彼此间隔开的第一电极和第二电极;第一带电物体,在第一电极的面对第二电极的表面上;第二带电物体,提供在第一带电物体和第二电极之间;以及接地单元,配置为由于第二带电物体的运动而间歇地使第二带电物体和电荷储存器互相连接。第一带电物体配置为由于接触而带正电荷。第二带电物体配置为由于接触而带负电荷。

    半导体装置
    8.
    发明公开
    半导体装置 审中-公开

    公开(公告)号:CN119325262A

    公开(公告)日:2025-01-17

    申请号:CN202410714579.1

    申请日:2024-06-04

    Abstract: 公开了一种半导体装置。所述半导体装置包括:鳍型有源区,在基底上在第一水平方向上在长度上延伸;水平半导体层,在鳍型有源区上;种子层,在鳍型有源区上并且与水平半导体层接触;栅极线,在鳍型有源区上围绕水平半导体层和种子层,并且在与第一水平方向相交的第二水平方向上在长度上延伸;以及一对垂直半导体层,在鳍型有源区上分别在水平半导体层的在第一水平方向上的第一侧和第二侧上,水平半导体层在所述一对垂直半导体层之间,其中,所述一对垂直半导体层中的每个的内壁接触水平半导体层,并且所述一对垂直半导体层的上表面或下表面接触种子层。

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