硬掩模组合物、其制法和使用其形成图案化的层的方法

    公开(公告)号:CN109256328A

    公开(公告)日:2019-01-22

    申请号:CN201810030517.3

    申请日:2018-01-12

    Abstract: 提供硬掩模组合物、其制法和使用其形成图案化的层的方法。所述硬掩模组合物可包括石墨烯量子点、金属化合物、和溶剂。所述金属化合物可与所述石墨烯量子点化学键合(例如,共价键合)。所述金属化合物可包括金属氧化物、金属碳化物、或其组合。所述金属氧化物可包括如下的至少一种:锆(Zr)氧化物、钛(Ti)氧化物、钨(W)氧化物、或铝(Al)氧化物,和所述金属碳化物可包括如下的至少一种:锆(Zr)碳化物、钛(Ti)碳化物、钨(W)碳化物、或铝(Al)碳化物。所述石墨烯量子点可通过M-O-C键或M-C键与所述金属化合物键合,其中M为金属元素,O为氧,且C为碳。

    硬掩模组合物、其制法和使用其形成图案化的层的方法

    公开(公告)号:CN109256328B

    公开(公告)日:2024-03-15

    申请号:CN201810030517.3

    申请日:2018-01-12

    Abstract: 提供硬掩模组合物、其制法和使用其形成图案化的层的方法。所述硬掩模组合物可包括石墨烯量子点、金属化合物、和溶剂。所述金属化合物可与所述石墨烯量子点化学键合(例如,共价键合)。所述金属化合物可包括金属氧化物、金属碳化物、或其组合。所述金属氧化物可包括如下的至少一种:锆(Zr)氧化物、钛(Ti)氧化物、钨(W)氧化物、或铝(Al)氧化物,和所述金属碳化物可包括如下的至少一种:锆(Zr)碳化物、钛(Ti)碳化物、钨(W)碳化物、或铝(Al)碳化物。所述石墨烯量子点可通过M‑O‑C键或M‑C键与所述金属化合物键合,其中M为金属元素,O为氧,且C为碳。

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