公开(公告)号：CN119526257A

公开(公告)日：2025-02-28

申请号：CN202411212017.3

申请日：2024-08-30

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 八木圭太 ,  盐川阳一 ,  铃木佑多

IPC: B24B37/013 ,  B24B49/10 ,  B24B49/12 ,  B24B37/10 ,  B24B7/22

Abstract: 本发明提供一种改善了测定范围内的膜厚分布的精度的膜厚信号处理装置、研磨装置及膜厚信号处理方法。膜厚信号处理装置具有接收部和校正部。接收部接收从电涡流传感器输出的传感器数据来生成第一膜厚数据(168)和第二膜厚数据(172)。校正部校正由接收部生成的第一膜厚数据和第二膜厚数据。校正部基于在电涡流传感器的一次测定中作为测定对象的研磨对象物上的测定范围(174、176)的尺寸、在研磨对象物上的第一测定点(146)测定出的第一膜厚数据和在研磨对象物上的第二测定点(148)测定出的第二膜厚数据来求出校正后的膜厚数据(166)。第一测定点和第二测定点之间的距离为测定范围的尺寸以下。

公开(公告)号：CN119300952A

公开(公告)日：2025-01-10

申请号：CN202380043716.7

申请日：2023-03-22

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 铃木佑多 ,  高桥太郎 ,  渡边和英 ,  高田畅行

IPC: B24B37/30 ,  B24B37/32 ,  B24B41/06 ,  B24B49/10 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明关于研磨装置。研磨装置具备三轴传感器，其与头支臂(20)相邻配置，且检测关于作用于研磨头(1)的三轴方向的力的信息。

公开(公告)号：CN119217182A

公开(公告)日：2024-12-31

申请号：CN202411776189.3

申请日：2024-12-05

Applicant: 江苏甬金金属科技有限公司

Inventor： 贲海峰 ,  喻晓明 ,  吴海松 ,  吴益峰 ,  高亮亮 ,  毛小明 ,  顾前星 ,  邢勇 ,  王亚沂 ,  缪翔

IPC: B24B7/12 ,  B24B55/06 ,  B24B55/00 ,  B24B41/00 ,  B24B9/04 ,  B24B49/10 ,  B24B47/08

Abstract: 本发明公开了一种附带除尘功能的冷轧钢带打磨设备，涉及钢带打磨技术领域，打磨设备包括主体机构、传送机构、钢带检测机构、打磨机构、打磨调节机构和除尘机构，主体机构和传送机构连接，主体机构和钢带检测机构连接，主体机构和打磨机构连接，主体机构和打磨调节机构连接，主体机构和除尘机构连接，传送机构和钢带检测机构连接，打磨机构和打磨调节机构连接，打磨调节机构和除尘机构连接，钢带检测机构用于检测冷轧钢带粗糙度，打磨机构对冷轧钢带打磨，打磨调节机构用于调整打磨机构。

公开(公告)号：CN119212826A

公开(公告)日：2024-12-27

申请号：CN202380039820.9

申请日：2023-03-08

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 吉田笃史 ,  石井游 ,  中西正行

IPC: B24B37/005 ,  B24B7/00 ,  B24B21/00 ,  B24B37/013 ,  B24B37/10 ,  B24B37/32 ,  B24B41/06 ,  B24B49/10 ,  B24B49/12 ,  H01L21/304

Abstract: 基板研磨装置是对基板的处理面进行研磨处理的基板研磨装置，具备：配置有第一磨削部件和最大径比所述第一磨削部件大的第二磨削部件的磨削组件；包含研磨部件的研磨组件；及控制所述磨削组件和所述研磨组件的控制装置，所述控制装置以通过所述第一磨削部件对所述处理面的一部分进行第一磨削、及通过所述第二磨削部件对所述处理面进行第二磨削的方式控制所述磨削组件，并以对进行了所述第一磨削和所述第二磨削的所述处理面进行研磨的方式控制所述研磨组件。

公开(公告)号：CN112108994B

公开(公告)日：2024-12-17

申请号：CN201910544450.X

申请日：2019-06-21

Applicant: 清华大学

Inventor： 赵德文

IPC: B24B37/12 ,  B24B37/14 ,  B24B41/04 ,  B24B37/013 ,  B24B49/10 ,  B24B49/16

Abstract: 本发明涉及化学机械抛光后处理技术领域，公开了一种用于化学机械抛光的承载头，包括连轴盘、平衡架、承载盘、柔性膜、环状压盘，所述平衡架的中轴部可滑动地设置于连轴盘的中心通孔内并通过其底盘部及翼缘部带动承载盘相对于连轴盘上下移动，所述柔性膜的一部分被环状压盘夹紧至承载盘下部以形成可调压腔室，所述平衡架的一部分由非金属材料制成。

公开(公告)号：CN119036261A

公开(公告)日：2024-11-29

申请号：CN202411397886.8

申请日：2024-10-09

Applicant: 山西金鑫针布有限公司

Inventor： 张鑫 ,  冯秀庆 ,  张宪明

IPC: B24B19/18 ,  B24B29/02 ,  B24B47/16 ,  B24B27/00 ,  B24B49/12 ,  B24B47/12 ,  B24B49/10 ,  B24B55/00 ,  B24B51/00 ,  D01G15/84

Abstract: 本发明公开了一种磨针机及由磨针机生产的盖板针布结构，涉及纺织行业纺纱装备梳理器材技术领域。包括两侧的机架、滚筒与磨针机构，滚筒的上部还安装有磨料丝抛光辊。磨针机构包括磨针在线监测装置与磨针操作机构，前者用于监测滚筒上所包覆的盖板针布的磨针情况，磨针操作机构用于加工打磨盖板针布上的梳针。磨针操作机构包括两组相同的磨针总成，其包括直线导轨、磨头部件、拖板、往复移动调速电机、磨头进给伺服电机、自动退出装置与换向开关，磨针在线监测装置包括人机界面、控制面板、相机拖板、数码相机、光电传感器与监测伺服电机。本发明通过智能型改进，提高了盖板针布耐磨性，结构合理，提高了磨针工艺的稳定性，减少时耗，且优等品比率高。

公开(公告)号：CN118848801A

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202410440797.0

申请日：2024-04-12

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 黄竟维 ,  大滝裕史 ,  中村贵正 ,  一瀬翔

IPC: B24B37/005 ,  H01L21/67 ,  B24B49/10 ,  B24B37/10 ,  B24B37/34 ,  B24B27/00 ,  B24B37/04

Abstract: 本发明提供一种信息处理装置、推导装置、机器学习装置、及其方法，能够迅速且准确地对基板处理装置的状态进行诊断。信息处理装置包括：基准信息获取部，获取成为基准的相当于基板处理装置的基准装置中的基准处理片数及基准装置信息以作为基准信息；比较信息获取部，获取成为基准装置的比较对象的相当于基板处理装置的比较装置中的比较处理片数及比较装置信息以作为比较信息；以及诊断处理部，基于基准信息及比较信息，生成包含基准处理片数与比较处理片数产生差异时的原因、及用于消除差异的对策中的至少一个的诊断信息。

公开(公告)号：CN118744382A

公开(公告)日：2024-10-08

申请号：CN202411015231.X

申请日：2024-07-26

Applicant: 贵州大东风机械有限公司

Inventor： 黄昌辉 ,  李小龙 ,  詹胜太

IPC: B24B19/14 ,  B24B21/18 ,  B24B21/16 ,  B24B55/02 ,  B24B49/12 ,  B24B49/10

Abstract: 本发明公开了一种航空发动机叶片打磨方法及打磨系统，属于航空发动机叶片生产技术领域。航空发动机叶片打磨方法包括：采集当前砂带的厚度，获得当前砂带的当前厚度值；将获得的当前厚度值，与砂带的最初厚度值比较，获得当前砂带的磨损厚度值；根据获得的当前砂带的磨损厚度值，获取具有当前厚度值的砂带对航空发动机叶片进行打磨时与具有最初厚度值的砂带对航空发动机叶片进行打磨时存在的单位时间打磨量差值；根据单位时间打磨量差值，对通过具有当前厚度值的砂带对航空发动机叶片进行打磨的时间进行补偿打磨时间，补偿砂带磨损造成的打磨差值。本发明的航空发动机叶片打磨方法有利于提高打磨精度和一致性。

公开(公告)号：CN118699939A

公开(公告)日：2024-09-27

申请号：CN202411059965.8

申请日：2024-08-05

Applicant: 长春长光大器科技有限公司

Inventor： 狄文广 ,  张斌 ,  王阔 ,  刘怀磊 ,  张海超 ,  王旭

IPC: B24B13/01 ,  B24B49/16 ,  B24B49/10

Abstract: 本发明涉及磨头加技术领域，尤其涉及一种沥青加工磨头及其破损自动识别方法，沥青加工磨头包括磨盘、电极、导电滑轨和沥青磨板，导电滑轨位于磨盘的上表面，用于传输电力；电极位于磨盘的下表面，电极的正负极分别与导电滑轨的正负极连接，以实现电力的传输；沥青磨板安装在磨盘的下表面，以覆盖并保护电极的裸露部分。本发明的优点在于，通过电极的短路能够迅速、准确地识别出破损的磨头，避免了人工检测中的疏漏和误差，从而大大提高了生产效率。通过自动化识别破损磨头减少设备因磨盘破损而加剧的磨损，从而延长设备使用寿命，降低维护成本。

公开(公告)号：CN118660786A

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN202380020814.9

申请日：2023-01-25

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 尹升镐

IPC: B24B49/10 ,  B24B37/10 ,  B24B37/30 ,  B24B37/32 ,  G06N20/10 ,  H01L21/304

Abstract: 信息处理装置(5)具备信息取得部(500)和状态预测部(501)，该信息取得部取得研磨处理状态信息，该研磨处理状态信息包含通过基板处理装置进行的基板的化学机械研磨处理中的表示研磨中的顶环的振动的顶环振动信息、表示研磨中的从顶环发生的声音的顶环声音信息，该基板处理装置具备将研磨垫支承为能够旋转的研磨台和将基板按压于研磨垫的顶环，该状态预测部向学习模型(10A)输入通过信息取得部(500)取得的研磨处理状态信息，从而预测对应于该研磨处理状态信息的基板滑出信息，该学习模型通过机器学习而学习了研磨处理状态信息与基板滑出信息的相关关系，该基板滑出信息表示进行化学机械研磨处理的基板发生滑出。