公开(公告)号：CN118848801A

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202410440797.0

申请日：2024-04-12

申请人： 株式会社荏原制作所

发明人： 黄竟维 ,  大滝裕史 ,  中村贵正 ,  一瀬翔

IPC分类号： B24B37/005 ,  H01L21/67 ,  B24B49/10 ,  B24B37/10 ,  B24B37/34 ,  B24B27/00 ,  B24B37/04

摘要： 本发明提供一种信息处理装置、推导装置、机器学习装置、及其方法，能够迅速且准确地对基板处理装置的状态进行诊断。信息处理装置包括：基准信息获取部，获取成为基准的相当于基板处理装置的基准装置中的基准处理片数及基准装置信息以作为基准信息；比较信息获取部，获取成为基准装置的比较对象的相当于基板处理装置的比较装置中的比较处理片数及比较装置信息以作为比较信息；以及诊断处理部，基于基准信息及比较信息，生成包含基准处理片数与比较处理片数产生差异时的原因、及用于消除差异的对策中的至少一个的诊断信息。

公开(公告)号：CN118769119A

公开(公告)日：2024-10-15

申请号：CN202410382809.9

申请日：2024-04-01

申请人： 株式会社荏原制作所

发明人： 黄竟维 ,  大滝裕史 ,  中村贵正

IPC分类号： B24B37/005 ,  H01L21/67 ,  B24B49/10 ,  B24B37/10 ,  B24B37/34 ,  B24B27/00 ,  B24B37/04

摘要： 本发明提供一种信息处理装置、推导装置、机器学习装置、及其方法，能够支援对基板处理装置中的基板处理的处理内容进行规定的配方信息的设定。信息处理装置(3A)包括：目标处理片数受理部(300)，受理在基板处理装置中执行反复进行对多个基板的基板处理及搬送处理的处理动作时的每单位时间的基板的目标处理片数；装置信息获取部(301)，获取包含对执行处理动作时的搬送处理的运行状态进行规定的搬送处理信息(11)的装置信息(10)；以及支援信息生成部(302A)，基于目标处理片数及装置信息(10)生成包含在基板处理中能够利用的配方能利用时间的支援信息(14)。

公开(公告)号：CN117584033A

公开(公告)日：2024-02-23

申请号：CN202311015605.3

申请日：2023-08-14

申请人： 株式会社荏原制作所

发明人： 黄竟维 ,  大滝裕史 ,  中村贵正

IPC分类号： B24B37/005 ,  B24B37/34

摘要： 本发明提供一种能够适当地制作基板处理计划表的信息处理装置及方法、机器学习装置及方法。信息处理装置包括：信息获取部，获取配方信息与搬送时间信息，所述配方信息表示研磨处理及精加工处理的处理内容，所述搬送时间信息表示各搬送处理所需的搬送时间；以及计划表制作部，基于配方信息及搬送时间信息，以最后一片精加工处理后的基板被搬出至基板搬出位置的最终处理结束时间成为最短的方式来决定各处理的开始时机，由此来制作基板处理计划表。