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公开(公告)号：CN101494164B
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN200910009621.5
申请日：2009-01-23
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01L21/00 , H01L21/304 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67751 , B24B37/345
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置的运转方法，当基板处理装置发生故障时，只要不是特别重大的故障，就不使装置整体停止，继续进行针对基板的一部分处理，清洗、回收基板，或容易地向外部排出装置内的基板等，从而能够降低无法处理基板的风险。具体为，是具有研磨部(3)、清洗部(4)及搬运机构(7、22)的基板处理装置的运转方法，在研磨部(3)、清洗部(4)及搬运机构(7、22)的任意一处检测到异常时，根据检测到异常的地点及基板在基板处理装置内的位置对基板进行分类，按分类后的基板改变并进行针对检测到所述异常后的基板的处理。
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公开(公告)号：CN114430707B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202080065900.8
申请日：2020-09-10
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: B24B37/10 , B24B37/005 , B24B37/34 , G06N20/00
Abstract: 具备：取得包含基板在装置内的位置及在各单元内的经过时间的状态信息的状态信息取得部；具有预测在某个状态下对于进行是否从匣盒取出新的基板及搬送至哪个处理单元的行动的价值的预测模型，并将取得的状态信息作为输入，基于预测模型选择一个行动的行动选择部；以进行所选择的行动的方式发送指示信号的指示信号发送部；取得包含处理片数与等待时间的动作结果的动作结果取得部；及以处理片数越多且等待时间越短则报酬越大的方式基于取得的动作结果来计算报酬，并基于该报酬来更新预测模型的预测模型更新部。
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公开(公告)号：CN113134785B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202110042947.9
申请日：2021-01-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 提供一种能够精密控制晶片、基板、面板等工件的膜厚轮廓的研磨头系统。研磨头系统具备：具有将多个按压力施加于工件(W)的多个压电元件(47)的研磨头(7)；及决定应施加于多个压电元件(47)的电压的多个指令值的动作控制部(10)。
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公开(公告)号：CN118848801A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202410440797.0
申请日：2024-04-12
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种信息处理装置、推导装置、机器学习装置、及其方法，能够迅速且准确地对基板处理装置的状态进行诊断。信息处理装置包括：基准信息获取部，获取成为基准的相当于基板处理装置的基准装置中的基准处理片数及基准装置信息以作为基准信息；比较信息获取部，获取成为基准装置的比较对象的相当于基板处理装置的比较装置中的比较处理片数及比较装置信息以作为比较信息；以及诊断处理部，基于基准信息及比较信息，生成包含基准处理片数与比较处理片数产生差异时的原因、及用于消除差异的对策中的至少一个的诊断信息。
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公开(公告)号：CN114430707A
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN202080065900.8
申请日：2020-09-10
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: B24B37/10 , B24B37/005 , B24B37/34 , G06N20/00
Abstract: 具备：取得包含基板在装置内的位置及在各单元内的经过时间的状态信息的状态信息取得部；具有预测在某个状态下对于进行是否从匣盒取出新的基板及搬送至哪个处理单元的行动的价值的预测模型，并将取得的状态信息作为输入，基于预测模型选择一个行动的行动选择部；以进行所选择的行动的方式发送指示信号的指示信号发送部；取得包含处理片数与等待时间的动作结果的动作结果取得部；及以处理片数越多且等待时间越短则报酬越大的方式基于取得的动作结果来计算报酬，并基于该报酬来更新预测模型的预测模型更新部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113134785A
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN202110042947.9
申请日：2021-01-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 提供一种能够精密控制晶片、基板、面板等工件的膜厚轮廓的研磨头系统。研磨头系统具备：具有将多个按压力施加于工件(W)的多个压电元件(47)的研磨头(7)；及决定应施加于多个压电元件(47)的电压的多个指令值的动作控制部(10)。
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公开(公告)号：CN118769119A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202410382809.9
申请日：2024-04-01
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种信息处理装置、推导装置、机器学习装置、及其方法，能够支援对基板处理装置中的基板处理的处理内容进行规定的配方信息的设定。信息处理装置(3A)包括：目标处理片数受理部(300)，受理在基板处理装置中执行反复进行对多个基板的基板处理及搬送处理的处理动作时的每单位时间的基板的目标处理片数；装置信息获取部(301)，获取包含对执行处理动作时的搬送处理的运行状态进行规定的搬送处理信息(11)的装置信息(10)；以及支援信息生成部(302A)，基于目标处理片数及装置信息(10)生成包含在基板处理中能够利用的配方能利用时间的支援信息(14)。
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公开(公告)号：CN118617223A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410228918.5
申请日：2024-02-29
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种能够适当地制作基板处理计划表的信息处理装置、基板处理装置、信息处理方法及存储介质。信息处理装置制作在基板处理装置中对规定片数的基板依次进行各处理时的基板处理计划表。信息处理装置包括：基板处理时间获取部，基于配方信息来获取研磨时间及精加工时间；搬送处理时间获取部，获取搬送时间；以及计划表制作部，将处理顺序条件、同时处理条件、以及对相对于研磨处理后移送处理使研磨处理前移送处理优先进行规定的移送处理优先条件设为数学最优化的限制条件，将使最后一片基板的最终处理结束时间成为最短设为数学最优化的目标函数，进行决定各处理的开始时机的数学最优化，由此制作基板处理计划表。
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公开(公告)号：CN117584033A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311015605.3
申请日：2023-08-14
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: B24B37/005 , B24B37/34
Abstract: 本发明提供一种能够适当地制作基板处理计划表的信息处理装置及方法、机器学习装置及方法。信息处理装置包括：信息获取部，获取配方信息与搬送时间信息，所述配方信息表示研磨处理及精加工处理的处理内容，所述搬送时间信息表示各搬送处理所需的搬送时间；以及计划表制作部，基于配方信息及搬送时间信息，以最后一片精加工处理后的基板被搬出至基板搬出位置的最终处理结束时间成为最短的方式来决定各处理的开始时机，由此来制作基板处理计划表。
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公开(公告)号：CN101494164A
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200910009621.5
申请日：2009-01-23
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01L21/00 , H01L21/304 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67751 , B24B37/345
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置的运转方法，当基板处理装置发生故障时，只要不是特别重大的故障，就不使装置整体停止，继续进行针对基板的一部分处理，清洗、回收基板，或容易地向外部排出装置内的基板等，从而能够降低无法处理基板的风险。具体为，是具有研磨部(3)、清洗部(4)及搬运机构(7、22)的基板处理装置的运转方法，在研磨部(3)、清洗部(4)及搬运机构(7、22)的任意一处检测到异常时，根据检测到异常的地点及基板在基板处理装置内的位置对基板进行分类，按分类后的基板改变并进行针对检测到所述异常后的基板的处理。
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