氧化物超导导体及其制造方法

    公开(公告)号:CN1395261A

    公开(公告)日:2003-02-05

    申请号:CN02127243.3

    申请日:2002-06-20

    Abstract: 本发明的目的在于,提供具有优异的强度和超导特性的氧化物超导导体及其制造方法。本发明为了达到上述目的,提供一种氧化物超导导体,其特征在于:是在具备在含有Ag的基材或在其他金属母材的至少一面形成的具有轧制织构的Ag层的氧化物超导体形成用基材上,通过使氧化物超导体的原料气体发生化学反应在所述基材上成膜的方法得到的氧化物超导体层的氧化物超导导体,在所述基材的氧化物超导体层测的表层部形成在Ag中扩散了Cu的扩散层,在该扩散层上形成所述的氧化物超导体层;以及提供一种氧化物超导导体,其特征在于:是在具备在Ag基材或在其他金属母材的至少一面形成的具有轧制织构的Ag层的氧化物超导体形成用基材的Ag层上,通过CVD法顺次生成多层含有Cu的氧化物超导体的氧化物超导导体,在所述多层的氧化物超导体层中,基材之上的所述氧化物超导体层的Cu含量比其他所述氧化物超导体层的Cu含量浓度更高。

    一种基于MOCVD技术制备REBCO超导材料的装置

    公开(公告)号:CN105420684A

    公开(公告)日:2016-03-23

    申请号:CN201510968214.2

    申请日:2015-12-21

    Applicant: 东北大学

    CPC classification number: C23C16/408 C23C16/45512 C23C16/45565 C23C16/45572

    Abstract: 一种基于MOCVD技术制备REBCO超导材料的装置,包括真空室、金属有机源输送管路、喷淋器、冷却器、衬底、加热器及氧气引入机构,金属有机源输送管路位于真空室顶部,喷淋器位于真空室内部并与金属有机源输送管路相连,冷却器位于喷淋器下方,氧气引入机构位于冷却器下方,衬底通过弧形板安装在真空室下部,加热器位于衬底及弧形板下方,衬底与氧气引入机构之间留有反应气体输送空间;氧气引入机构与衬底之间距离可调;氧气引入机构包括氧气入口和进气通道,氧气入口与进气通道相连通,进气通道上密布有若干喷淋孔;进气通道采用环状结构;喷淋孔的氧气喷射方向与喷淋器的金属有机源喷射方向平行且相反;在靠近喷淋器一侧的氧气引入机构上设置有隔热机构。

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