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公开(公告)号：CN102782806A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201080065121.4
申请日：2010-12-20
申请人： 株式会社安川电机
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70758 , G03F7/70691 , G03F7/70716 , G03F7/70725 , G03F7/70816
摘要： 该工作台装置包括：用于保持样本的可动台；用于使可动台至少在铅直方向进行动作的悬浮单元；以及直线电动机，其具备配置于可动台内侧的直线电动机可动部和配置于可动台内侧的直线电动机固定部、并用于使可动台在水平面内的第1水平方向进行动作的。
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公开(公告)号：CN102398267A
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN201110268118.9
申请日：2011-09-09
申请人： 株式会社安川电机
CPC分类号： B25J15/026 , B25J15/0004
摘要： 本发明涉及一种手和机器人。根据实施方式的手包括一对支撑单元、一对捕捉爪、开闭机构以及往复机构。所述一对捕捉爪分别被支撑在所述一对支撑单元的内表面上并且捕捉零件。所述开闭机构沿着与所述支撑单元的纵向交叉的往复轴线打开和闭合所述一对支撑单元。所述往复机构使所述一对捕捉爪绕所述往复轴线旋转以改变所述捕捉爪的每个末端的方向。
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公开(公告)号：CN116568618A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202180082283.7
申请日：2021-11-16
申请人： 株式会社安川电机
IPC分类号： B65G54/02
摘要： 基板搬运系统(1)具备：线性搬运装置(2)，其沿着搬运线(TL)搬运基板(W)；机器人，其从线性搬运装置(2)接收基板(W)而搬入处理单元(PU)，并从处理单元(PU)搬出基板(W)而交接给线性搬运装置(2)，线性搬运装置(2)具备：移动基部(50)(第一移动体)，其沿着搬运线(TL)移动；浮起单元(10)(第二移动体)，其支承基板(W)；以及非接触力产生部(70)，其以使浮起单元(10)相对于移动基部(50)浮起的同时使浮起单元(10)追随移动基部(50)的移动的方式，使非接触力从移动基部(50)作用于浮起单元(10)。
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公开(公告)号：CN104813580B
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：CN201280077161.X
申请日：2012-11-20
申请人： 株式会社安川电机
CPC分类号： H02P21/146 , H02K11/24 , H02P6/08 , H02P21/18 , H02P21/20 , H02P21/22 , H02P27/04 , H02P2205/05
摘要： 本发明提供一种耐环境性能良好且能够以低成本构筑的电机驱动系统以及用于该电机驱动系统的电机控制装置。具备电机、设置在电机与负载之间的转矩传感器、以及控制电机的驱动的电机控制装置。电机控制装置具备根据由转矩传感器检测出的转矩检测信号、来推定电机的速度以及位置中的至少一方的推定部。
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公开(公告)号：CN104813580A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201280077161.X
申请日：2012-11-20
申请人： 株式会社安川电机
CPC分类号： H02P21/146 , H02K11/24 , H02P6/08 , H02P21/18 , H02P21/20 , H02P21/22 , H02P27/04 , H02P2205/05
摘要： 本发明提供一种耐环境性能良好且能够以低成本构筑的电机驱动系统以及用于该电机驱动系统的电机控制装置。具备电机、设置在电机与负载之间的转矩传感器、以及控制电机的驱动的电机控制装置。电机控制装置具备根据由转矩传感器检测出的转矩检测信号、来推定电机的速度以及位置中的至少一方的推定部。
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公开(公告)号：CN103765181A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201180073110.5
申请日：2011-09-01
申请人： 株式会社安川电机
CPC分类号： G01L5/0028 , B25J9/1633 , B25J13/085 , G01L5/16 , G01L5/162 , G05B2219/40586 , Y10S901/09 , Y10T74/20305
摘要： 本发明提供能够抑制对负载传感元件施加的负载的力传感器（10）和机器人（14）。力传感器（110）包括：第一基座部件（30a），其一个面固定在被固定部件上；多个负载传感元件（S1～S4），其设置在第一基座部件（30a）的另一个面上并用于检测负载；第二基座部件（130b），其被配置成与第一基座部件（30a）的另一个面相对，并且向第一基座部件（30a）的方向产生对各负载传感元件（S1～S4）所施加的预负载；预负载调整部（140），其用于调整由第二基座部件（130b）产生的预负载的大小；以及缓冲体（32a、32b），其用于承受对各负载传感元件（S1～S4）所施加的来自外部的外部负载的一部分。
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公开(公告)号：CN103619530B
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201180071781.8
申请日：2011-07-07
申请人： 株式会社安川电机
CPC分类号： B25J15/00 , B23P19/06 , B25J15/0019 , B25J15/0028 , B25J15/0066 , B25J15/0253 , Y10S901/41
摘要： 本发明的课题在于，提供如下的末端执行器和机器人：能够使把持螺纹部件并进行旋转的工序实现自动化，并且能够抑制该工序所需的成本。为了解决该课题，末端执行器和机器人具有：把持部，其以螺纹部件能够绕该螺纹部件的轴线旋转的方式把持所述螺纹部件；以及旋转部，其设置在所述轴线上，在与由所述把持部把持的所述螺纹部件的头部接触的状态下沿着该轴线进行直线运动，通过伴随直线运动的旋转使该螺纹部件绕所述轴线旋转。
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公开(公告)号：CN102398267B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201110268118.9
申请日：2011-09-09
申请人： 株式会社安川电机
CPC分类号： B25J15/026 , B25J15/0004
摘要： 本发明涉及一种手和机器人。根据实施方式的手包括一对支撑单元、一对捕捉爪、开闭机构以及往复机构。所述一对捕捉爪分别被支撑在所述一对支撑单元的内表面上并且捕捉零件。所述开闭机构沿着与所述支撑单元的纵向交叉的往复轴线打开和闭合所述一对支撑单元。所述往复机构使所述一对捕捉爪绕所述往复轴线旋转以改变所述捕捉爪的每个末端的方向。
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