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公开(公告)号：CN102782806A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201080065121.4
申请日：2010-12-20
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70758 , G03F7/70691 , G03F7/70716 , G03F7/70725 , G03F7/70816
Abstract: 该工作台装置包括：用于保持样本的可动台；用于使可动台至少在铅直方向进行动作的悬浮单元；以及直线电动机，其具备配置于可动台内侧的直线电动机可动部和配置于可动台内侧的直线电动机固定部、并用于使可动台在水平面内的第1水平方向进行动作的。
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