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公开(公告)号：CN119160507A
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN202411353387.9
申请日：2024-09-26
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 一种便于储存运送的晶锭盛放装置，包括盛放箱、以及设于盛放箱内的晶锭料盒；晶锭料盒包括盒体，盒体的顶部表面开设有两个轴线平行的弧形凹槽，弧形凹槽的两个端部设置有与弧形凹槽同心布设的弧形阻挡部，弧形凹槽的内部设有直径小于弧形凹槽且同心布设的弧形支撑部；弧形支撑部将弧形凹槽隔成多个放置槽；盒体的底部表面上开设有正对弧形凹槽的盛放孔。还提供了一种晶锭储存方法。本发明采用双面内衬的晶锭料盒，能够根据需要，针对长短不一的晶锭进行存储，以避免搬运中存在的崩边以及货物之间的撞击。
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公开(公告)号：CN119075645A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202411381712.2
申请日：2024-09-30
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 本发明涉及废气处理技术领域，尤其涉及一种硅片酸洗废气处理装置及废气处理方法，该硅片酸洗废气处理装置中设有碱洗组件、第一净化组件、氧化组件、第二净化组件、冷却组件及存储组件，碱洗组件的入料端用于抽取硅片酸洗废气，出料端与第一净化组件的入料端连接，第一净化组件的出料端与氧化组件的入料端连接，氧化组件的出料端与第二净化组件的入料端连接，冷却组件安装在第一净化组件和氧化组件间的连接管路上，存储组件与第一净化组件和氧化组件间的连接管路连接；如此，通过冷却组件将大量的二氧化氮气体冷凝为二氧化氮液体，通过存储组件存储二氧化氮液体，以降低需要反应的二氧化氮气体总量，防止部分来不及反应的二氧化氮气体逃逸至大气中造成污染。
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公开(公告)号：CN117516252A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311683992.8
申请日：2023-12-07
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
IPC: F28F25/00 , F28F27/00 , F25D31/00 , C02F1/66 , C02F103/02
Abstract: 一种冷却塔用节水系统和方法，该系统包括储水箱、补水箱、冷却装置、增压泵、PH调节装置和输水管路；储水箱的入口与冷却塔的排污口连通，出口与输水补水箱的入口连通，储水箱中的出口位置设置有高液位开关，用于在储水箱中的液位达到预设液位阈值时开启；补水箱的出口与增压泵的一端连通，另一端与PH调节装置的入口连通，用于抽取补水箱中的冷却水输送至PH调节装置；PH调节装置的出口与冷却塔的补水口连通，用于将PH调节装置中PH值调节合格的冷却水输送至冷却塔；冷却装置设置于储水箱和补水箱附近，用于对储水箱和补水箱中的冷却水进行降温；具有连通关系的各设备之间通过输水管路连通。本方案能够提高冷却水的利用率，减少水资源的浪费。
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公开(公告)号：CN117183119A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311354210.6
申请日：2023-10-19
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 本发明公开一种张紧装置，包括机架、导轨、滑块、传感器、第一气缸和控制器，导轨设置在机架上，滑块安装在导轨上并沿着导轨上下滑动，滑块上设置轴座固定孔以供安装单晶硅硅棒截断机从动轮，传感器的顶端和滑块的下端相连接，第一气缸的气缸轴顶端和传感器的下端相连接，传感器和控制器电性连接以供传感器上端检测的实时张紧力信号发送至控制器，第一气缸的缸筒设置在机架上，第一气缸的进气端设置气泵，气泵和控制器电性连接；控制器根据传感器检测的实时张紧力信号控制气泵工作自动调整滑块的高度将锯带的张紧力维持在预设的张紧力范围内。本发明还公开一种单晶硅硅棒截断机。
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公开(公告)号：CN117139306A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202311113321.8
申请日：2023-08-30
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种单晶炉清洁方法，涉及单晶炉清洁技术领域，在炉台运行时通过氩气吹扫防止氧化物附着，使得在晶棒生长的环境中，既避免氧化物附着在单晶炉内壁上，又防止氧化物对晶棒造成污染，在炉台停止运行时再对炉台进行全面清扫，使得炉台干净，保障晶体生长环境，确保产品质量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116764337A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202310772064.2
申请日：2023-06-27
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 一种真空泵前置除尘装置，包括分离仓、引流分离机构；分离仓为内部中空且内径从上至下逐渐增大的筒体，分离仓的内壁上设有集尘板，分离仓的上端设有盖板，分离仓的顶部设有与分离仓内部连通的第一管道，分离仓的下端设有集尘室，在集尘室的底部设有与分离仓内部连通的第二管道，集尘室的底部还设有与分离仓连通的第三管道；引流分离机构沿分离仓的轴线纵向可转动的设置于分离仓的内部，引流分离机构的下端正对第二管道的出口端。本发明可实现分离仓的自动清洁、以及化合物颗粒的自动回收；在此过程中，无需人工再对分离仓进行清理，不仅清理程序简单，而且降低劳动强度、提高了工作效率。本发明还提供了一种单晶炉。
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公开(公告)号：CN118621427A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410645465.6
申请日：2024-05-23
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 一种半导体生长炉晶棒取出设备及方法，包括两个夹持机构、两个夹持机构之间的连接柱、动力机构；夹持机构包括固定环、旋转环、夹紧部、传动部；固定环可允许晶棒穿过，旋转环套转动装于固定环外部，旋转环的内壁与固定环的外壁之间形成夹腔，夹紧部设于固定环内圆面处，传动部设于夹腔内，传动部的一端铰接于旋转环且另一端穿过固定盘并相接于夹紧部；动力机构的输出端分别对应的与两个夹持机构上的旋转环相连接，使动力机构能够带动两个夹持机构上的旋转环同步转动，实现两个夹持机构同时对晶棒的夹紧或释放。在取晶棒时，采用垂直提取方式，受晶棒重力作用，纵向提升力与晶棒轴线处于一条直线，晶棒重心更加稳定，可防止晶棒与单晶炉发生磕碰。
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公开(公告)号：CN118181007A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410528413.0
申请日：2024-04-29
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 本发明提供了一种晶棒滚磨机的上料装置、晶棒滚磨系统和方法，涉及单晶硅加工技术领域，该装置包括：固定机构、旋转机构、升降机构、平移机构和夹持机构；固定机构的底端固定于晶棒滚磨机的一端，另一端与旋转机构的底端转动连接，旋转机构的上端与升降机构的底端固定连接，该升降机构的上端与平移机构的一端活动连接，且该平移机构可在升降机构上沿竖直方向上下移动；夹持机构的上端活动固定在平移机构上，且可在平移机构上沿水平方向移动，该夹持机构的下端用于夹持待滚磨的晶棒。本方案能够降低晶棒上下料时操作人员的劳动强度，同时降低上下料时所存在的安全隐患。
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公开(公告)号：CN117961979A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410138019.6
申请日：2024-01-31
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 本发明提供了一种单晶炉磁场冷头的更换装置及更换方法，涉及单晶炉设备维护技术领域，该装置包括隔离箱体和隔离操作手套；隔离箱体的下拐角处设置开口，隔离箱体能够通过开口紧密固定在单晶炉磁场的磁场功能箱上，并且使插在磁场功能箱上的冷头处于隔离箱体内部；隔离箱体的正面和背面均对称设置有一对隔离操作手套，该隔离操作手套与隔离箱体内部隔绝，隔离操作手套伸入隔离箱体的内部，操作人员能够通过隔离操作手套遍及到保养后的新冷头以及旧冷头的位置；隔离箱体的上端设置有排气口，下端设置有充气口，用于向隔离箱体内充入稀有气体，并将空气从排气口排出。本方案能够缩短单晶炉磁场冷头的更换时间，进而提高单晶硅的生产效率。
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