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公开(公告)号：CN118704082A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410798574.1
申请日：2024-06-20
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
Inventor： 马彦新 , 王黎光 , 马玉怀 , 芮阳 , 曹启刚 , 李健 , 马红升 , 王忠保
IPC: C30B15/20
Abstract: 本发明提供一种多范围拉晶压力的控制方法，属于拉晶电气控制技术领域，通过在所述真空泵的入口设置单向阀，使得真空泵中的水不会因压差的问题逆流至单晶炉中，且不影响气体的吸入，进而不会造成单晶炉内氧化，且不影响单晶炉内压力调节。
