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公开(公告)号：CN117961979A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410138019.6
申请日：2024-01-31
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 本发明提供了一种单晶炉磁场冷头的更换装置及更换方法，涉及单晶炉设备维护技术领域，该装置包括隔离箱体和隔离操作手套；隔离箱体的下拐角处设置开口，隔离箱体能够通过开口紧密固定在单晶炉磁场的磁场功能箱上，并且使插在磁场功能箱上的冷头处于隔离箱体内部；隔离箱体的正面和背面均对称设置有一对隔离操作手套，该隔离操作手套与隔离箱体内部隔绝，隔离操作手套伸入隔离箱体的内部，操作人员能够通过隔离操作手套遍及到保养后的新冷头以及旧冷头的位置；隔离箱体的上端设置有排气口，下端设置有充气口，用于向隔离箱体内充入稀有气体，并将空气从排气口排出。本方案能够缩短单晶炉磁场冷头的更换时间，进而提高单晶硅的生产效率。
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公开(公告)号：CN118639315A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202410855159.5
申请日：2024-06-28
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
IPC: C30B15/30
Abstract: 本发明涉及晶棒制备领域，尤其涉及一种单晶炉取晶棒设备，该单晶炉取晶棒设备设有支撑底座、升降构件、转向组件、夹取构件及固定组件，固定组件包括两个构造相同的固定座；升降构件安装在支撑底座上，转向组件的两端分别与升降构件及夹取构件连接，两个固定座分别长度可调的安装在夹取构件的上下两端；如此，在夹取晶棒时，能够根据晶棒的长度调整各固定座与夹取构件间的距离，从而确保在固定座将晶棒的两端固定后，夹取构件能够正对该晶棒的二分之一处，以在对晶棒运输及转至水平的过程中保持晶棒的稳定，从而保证晶棒的质量及操作人员的安全。
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公开(公告)号：CN119017572A
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202411371591.3
申请日：2024-09-29
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 该发明提供一种晶棒截断机带锯辅助稳带装置，包括安装在晶棒截断机工作面上的限位座，限位座端部开设有通槽，通槽两侧的侧壁上对称开设有与通槽相垂直的安装孔，在安装孔内分别插设有相互正对的导向柱，两个导向柱之间形成供带锯通过的通道，利用两个导向柱相互抵在带锯的两侧，对带锯进行限位，并且，两个导向柱分别能够沿安装孔对向移动，调节两个导向柱之间的间距，使两个导向柱分别靠近带锯的两侧，并与带锯保持有效的间隙，降低带锯在切割晶棒的过程中出现摆动或偏移的现象，有助于使带锯在切割晶棒过程中保持稳定，进而提高晶棒的切割质量。
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公开(公告)号：CN117504478A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311474941.4
申请日：2023-11-07
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 本发明公开一种单晶炉清洁用空气净化装置，包括第一容纳室、第二容纳室，第一容纳室和第二容纳室的高度不低于单晶炉副炉的高度，第一容纳室设置第一对接口，第二容纳室设置第二对接口，第一对接口和第二对接口贴合使第一容纳腔和第二容纳腔相连通，第二容纳室的一侧设置进入口，进入口上设置塑胶垂帘以便清洁人员进入，第一容纳室和/或第二容纳室中设置高效过滤器，高效过滤器将清理主炉内壁、副炉内壁、加热器的内外壁过程中所产生的含有氧化物的扬尘过滤并收集在高效过滤器内，避免了清洁过程中所产生的扬尘飘逸至无尘车间中进入其他单晶炉内。本发明还提供一种单晶炉清洁用空气净化方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118756322A
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202411028831.X
申请日：2024-07-30
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 该发明提供一种单晶炉用晶体旋转提拉装置，包括安装在单晶炉上端的基座、旋转机构、以及设置在旋转机构上的用于提拉籽晶的绕绳机构，所述旋转机构安装在基座上，并能够在基座上圆周旋转，所述旋转机构内设置有晶棒重量检测装置，晶棒重量检测装置位于绕绳机构的上方，与绕绳机构相齐平，所述绕绳机构上卷绕有用于提拉籽晶的籽晶绳，籽晶绳固定籽晶的一端向上绕过晶棒重量检测装置后向下穿过旋转机构、基座并自由下垂在单晶炉中，绕绳机构通过籽晶绳提拉籽晶在单晶炉中进行拉制晶棒过程中，晶棒的重量通过籽晶绳作用于晶棒重量检测装置上，通过晶棒重量检测装置检测籽晶绳的压力，以获取拉制过程中的晶棒重量，提高了对晶棒计重的精准度。
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公开(公告)号：CN117305975A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311283342.4
申请日：2023-09-28
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种单晶炉真空度控制系统、单晶炉及方法，包括中炉筒、真空度控制单元、执行单元，真空度控制单元包括采集判断模块、控制器，执行单元包括氧化物去除模块、真空度调整模块，中炉筒与采集判断模块连接，采集判断模块与控制器的接收端连接，控制器的输出端与真空度调整模块的输入端连接，真空度调整模块与氧化物去除模块连接，氧化物去除模块与中炉筒连接，当采集判断模块采集中炉筒内的真空度与设定值进行判断，并将判断结果反馈至控制器，控制器控制真空度调整模块启动，真空度调整模块调整真空度达到设定值，在抽真空时气体先通过氧化物去除模块将氧化物去除，再进入真空度调整模块，使得真空度调整模块不会被氧化物影响，炉压稳定。
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公开(公告)号：CN117161021A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202311092096.4
申请日：2023-08-28
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种单晶炉上炉筒清洁装置，涉及单晶炉清洁装置技术领域，包括爬升组件、清扫收集组件，清扫收集组件包括驱动电机、清洁转盘、清洁毛刷、真空吸附管，清洁转盘的内部设置中空空腔，清洁转盘的周向侧壁均匀开设吸附口，清洁转盘位于驱动电机的上方，驱动电机与爬升组件连接，驱动电机的驱动端与清洁转盘连接，清洁转盘的周向侧壁与清洁毛刷连接，清洁转盘的底部与真空吸附管转动连接，且清洁转盘的中空空腔与真空吸附管连通，清洁毛刷与上炉筒的内壁接触，进行旋转刷洗使得附着在上炉筒内壁的氧化物变为细小颗粒，再通过吸附口、真空吸附管将刷洗出的氧化物颗粒吸附出去，使得清洁毛刷刷洗后的氧化物颗粒、粉尘能够直接被清理出去。
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公开(公告)号：CN117139306A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202311113321.8
申请日：2023-08-30
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种单晶炉清洁方法，涉及单晶炉清洁技术领域，在炉台运行时通过氩气吹扫防止氧化物附着，使得在晶棒生长的环境中，既避免氧化物附着在单晶炉内壁上，又防止氧化物对晶棒造成污染，在炉台停止运行时再对炉台进行全面清扫，使得炉台干净，保障晶体生长环境，确保产品质量。
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公开(公告)号：CN116764337A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202310772064.2
申请日：2023-06-27
Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 一种真空泵前置除尘装置，包括分离仓、引流分离机构；分离仓为内部中空且内径从上至下逐渐增大的筒体，分离仓的内壁上设有集尘板，分离仓的上端设有盖板，分离仓的顶部设有与分离仓内部连通的第一管道，分离仓的下端设有集尘室，在集尘室的底部设有与分离仓内部连通的第二管道，集尘室的底部还设有与分离仓连通的第三管道；引流分离机构沿分离仓的轴线纵向可转动的设置于分离仓的内部，引流分离机构的下端正对第二管道的出口端。本发明可实现分离仓的自动清洁、以及化合物颗粒的自动回收；在此过程中，无需人工再对分离仓进行清理，不仅清理程序简单，而且降低劳动强度、提高了工作效率。本发明还提供了一种单晶炉。
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