公开(公告)号：CN117305975A

公开(公告)日：2023-12-29

申请号：CN202311283342.4

申请日：2023-09-28

Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

Inventor： 魏瑶 ,  马玉怀 ,  芮阳 ,  杨宗川 ,  徐慶晧 ,  王黎光 ,  曹启刚 ,  李敬德 ,  马旭武 ,  马彦新

IPC: C30B15/20 ,  C30B29/06

Abstract: 本发明提供一种单晶炉真空度控制系统、单晶炉及方法，包括中炉筒、真空度控制单元、执行单元，真空度控制单元包括采集判断模块、控制器，执行单元包括氧化物去除模块、真空度调整模块，中炉筒与采集判断模块连接，采集判断模块与控制器的接收端连接，控制器的输出端与真空度调整模块的输入端连接，真空度调整模块与氧化物去除模块连接，氧化物去除模块与中炉筒连接，当采集判断模块采集中炉筒内的真空度与设定值进行判断，并将判断结果反馈至控制器，控制器控制真空度调整模块启动，真空度调整模块调整真空度达到设定值，在抽真空时气体先通过氧化物去除模块将氧化物去除，再进入真空度调整模块，使得真空度调整模块不会被氧化物影响，炉压稳定。

公开(公告)号：CN119549465A

公开(公告)日：2025-03-04

申请号：CN202411743983.8

申请日：2024-11-30

Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

Inventor： 李敬德 ,  王黎光 ,  马玉怀 ,  芮阳 ,  王忠保 ,  白园 ,  李俊丽 ,  赵娜

IPC: B08B5/02 ,  B08B13/00 ,  F04C18/16 ,  F04C25/02

Abstract: 本发明属于真空泵清洁技术领域，具体涉及一种单晶炉用真空泵清洁系统及及氧化物防沉积螺杆泵，真空泵清洁系统包括螺杆泵，所述螺杆泵的进口端与单晶炉连通，螺杆泵的泵体上设置有氧化物防沉积，氧化物防沉积用于在螺杆泵运行期间向螺杆泵的泵腔内吹入与单晶炉内的掺杂不发生反应的压缩气体，且压缩气体由螺杆泵的入口端吹入，氧化物防沉积包括压缩气体发生器和至少一根吹气管，吹气管的一端连接至压缩气体发生器，另一端与螺杆泵的泵体连通，吹气管向真空泵内的转子或内腔上吹送压缩气体，将附着在真空泵内的转子或内腔上的氧化物吹起，该氧化物随着真空泵的运行从螺杆泵的出口排出，以免氧化物沉积到转子上，进而导致泵卡死。