公开(公告)号：CN118639315A

公开(公告)日：2024-09-13

申请号：CN202410855159.5

申请日：2024-06-28

Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

Inventor： 张燕坤 ,  王黎光 ,  曹启刚 ,  马旭武 ,  芮阳 ,  王忠保 ,  李俊丽 ,  赵娜

IPC: C30B15/30

Abstract: 本发明涉及晶棒制备领域，尤其涉及一种单晶炉取晶棒设备，该单晶炉取晶棒设备设有支撑底座、升降构件、转向组件、夹取构件及固定组件，固定组件包括两个构造相同的固定座；升降构件安装在支撑底座上，转向组件的两端分别与升降构件及夹取构件连接，两个固定座分别长度可调的安装在夹取构件的上下两端；如此，在夹取晶棒时，能够根据晶棒的长度调整各固定座与夹取构件间的距离，从而确保在固定座将晶棒的两端固定后，夹取构件能够正对该晶棒的二分之一处，以在对晶棒运输及转至水平的过程中保持晶棒的稳定，从而保证晶棒的质量及操作人员的安全。

公开(公告)号：CN119976671A

公开(公告)日：2025-05-13

申请号：CN202510382231.1

申请日：2025-03-28

Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

Inventor： 张燕坤 ,  曹启刚 ,  杨凯 ,  王黎光

IPC: B66C23/18 ,  B66C23/68 ,  B66C23/62 ,  B66C13/06

Abstract: 该发明提供一种石英坩埚预装料用密封吸盘辅助提升装置，包括升降机构、提升臂、辅助稳盘机构及辅助操控机构，提升臂平行设置在升降机构上，提升臂的一端与升降机构销接，提升臂的另一端为自由端，在提升臂的自由端设置有用于吊起密封吸盘的吊钩，升降机构可驱动提升臂垂直升降，辅助稳盘机构对称设置在吊钩的两侧，并能够在吊钩的两侧垂直向下伸缩运动，辅助操控机构设置在在提升臂的自由端，并与辅助稳盘机构牵引连接，通过推拉辅助操控机构能够使提升臂的自由端围绕升降机构自由平行转动，并且，在推拉转动的过程中，辅助操控机构能够同时牵引辅助稳盘机构向下伸出，使其按压在被吊起的密封吸盘上表面两侧，使密封吸盘在被移动过程中保持平稳。

公开(公告)号：CN117504478A

公开(公告)日：2024-02-06

申请号：CN202311474941.4

申请日：2023-11-07

Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

Inventor： 张燕坤 ,  曹启刚 ,  芮阳 ,  马旭武 ,  徐慶晧 ,  王黎光

IPC: B01D46/58 ,  C30B29/06 ,  C30B15/00 ,  B01D46/10 ,  B01D46/88

Abstract: 本发明公开一种单晶炉清洁用空气净化装置，包括第一容纳室、第二容纳室，第一容纳室和第二容纳室的高度不低于单晶炉副炉的高度，第一容纳室设置第一对接口，第二容纳室设置第二对接口，第一对接口和第二对接口贴合使第一容纳腔和第二容纳腔相连通，第二容纳室的一侧设置进入口，进入口上设置塑胶垂帘以便清洁人员进入，第一容纳室和/或第二容纳室中设置高效过滤器，高效过滤器将清理主炉内壁、副炉内壁、加热器的内外壁过程中所产生的含有氧化物的扬尘过滤并收集在高效过滤器内，避免了清洁过程中所产生的扬尘飘逸至无尘车间中进入其他单晶炉内。本发明还提供一种单晶炉清洁用空气净化方法。