公开(公告)号：CN119492251A

公开(公告)日：2025-02-21

申请号：CN202411655484.3

申请日：2024-11-19

Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

Inventor： 鲍忠敏 ,  王黎光 ,  马玉怀 ,  芮阳 ,  曹启刚 ,  李俊丽 ,  赵娜 ,  白园

IPC: F26B21/00 ,  F28G7/00 ,  F28G9/00 ,  F28G15/00 ,  F28F25/08

Abstract: 本发明属于冷却塔清洗技术领域，具体涉及一种单晶炉冷却塔填料清洗装置及其方法，一级除垢装置中的干燥吹扫组件首先将冷却塔填料内部的潮湿污垢吹干，一级除垢装置中的振动组件将冷却塔填料内部干燥的大颗粒污垢震碎，干燥吹扫组件还将冷却塔填料内部震碎的大颗粒污垢吹出冷却塔填料内部；二级除垢装置中的药剂存储组件内存储有与所述顽固水垢反应的化学药剂，药剂喷洒组件与药剂存储组件连通，药剂喷洒组件用于将药剂存储组件内的化学药剂喷洒至冷却塔填料内，使得化学药剂与冷却塔填料内的水垢进行化学反应，从而去除冷却塔填料内的顽固水垢；本发明提供的装置和方法将冷却塔填料清理的更加干净的同时提高了效率。

公开(公告)号：CN119075645A

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN202411381712.2

申请日：2024-09-30

Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

Inventor： 鲍忠敏 ,  王黎光 ,  马玉怀 ,  芮阳 ,  李俊丽 ,  赵娜 ,  白园 ,  倪浩然

IPC: B01D53/78 ,  B01D53/56 ,  B01D53/00

Abstract: 本发明涉及废气处理技术领域，尤其涉及一种硅片酸洗废气处理装置及废气处理方法，该硅片酸洗废气处理装置中设有碱洗组件、第一净化组件、氧化组件、第二净化组件、冷却组件及存储组件，碱洗组件的入料端用于抽取硅片酸洗废气，出料端与第一净化组件的入料端连接，第一净化组件的出料端与氧化组件的入料端连接，氧化组件的出料端与第二净化组件的入料端连接，冷却组件安装在第一净化组件和氧化组件间的连接管路上，存储组件与第一净化组件和氧化组件间的连接管路连接；如此，通过冷却组件将大量的二氧化氮气体冷凝为二氧化氮液体，通过存储组件存储二氧化氮液体，以降低需要反应的二氧化氮气体总量，防止部分来不及反应的二氧化氮气体逃逸至大气中造成污染。

公开(公告)号：CN117516252A

公开(公告)日：2024-02-06

申请号：CN202311683992.8

申请日：2023-12-07

Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

Inventor： 鲍忠敏 ,  马玉怀 ,  芮阳 ,  徐慶晧 ,  王黎光 ,  曹启刚 ,  王忠保 ,  赵泽慧 ,  白园

IPC: F28F25/00 ,  F28F27/00 ,  F25D31/00 ,  C02F1/66 ,  C02F103/02

Abstract: 一种冷却塔用节水系统和方法，该系统包括储水箱、补水箱、冷却装置、增压泵、PH调节装置和输水管路；储水箱的入口与冷却塔的排污口连通，出口与输水补水箱的入口连通，储水箱中的出口位置设置有高液位开关，用于在储水箱中的液位达到预设液位阈值时开启；补水箱的出口与增压泵的一端连通，另一端与PH调节装置的入口连通，用于抽取补水箱中的冷却水输送至PH调节装置；PH调节装置的出口与冷却塔的补水口连通，用于将PH调节装置中PH值调节合格的冷却水输送至冷却塔；冷却装置设置于储水箱和补水箱附近，用于对储水箱和补水箱中的冷却水进行降温；具有连通关系的各设备之间通过输水管路连通。本方案能够提高冷却水的利用率，减少水资源的浪费。