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公开(公告)号：CN109983389A
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201780071715.8
申请日：2017-11-22
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： 迈克尔·古格拉
Abstract: 本发明涉及一种用于对物体(12)成像的显微镜，包括：物镜(14)，用于通过成像光路(32)对物体(12)成像；光源(16)，用于产生照明辐射；至少一个光学元件(18)，用于将照明辐射耦合输入到成像光路(32)中，使得在光学元件(18)与物镜(14)之间形成共用光路，通过该共用光路，成像光路延伸并且照明辐射被引导；监测装置(20)，用于测量照明辐射的能量参数，其中监测装置(20)对入射在其上的辐射的能量参数加以确定；和分束器装置(22)，其在照明方向上在共用光路中布置在物镜(14)前面，并从照明辐射将测量辐射耦合输出到监测装置(20)。
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公开(公告)号：CN109964162A
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201780064240.X
申请日：2017-10-16
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种用于扫描显微镜的射束操纵的设备，该设备具有用于将激发光耦入到照明光路中并用于使激发光与探测光路的探测光分开的主分色器并且具有优选定位在光瞳平面内的用于对激发光进行采样的扫描仪。该设备的特征在于，存在有附加的光学路段，其具有影响光路的光学元件，通过影响光路的光学元件在附加的光学路段中形成至少一个光瞳平面和/或至少一个中间图像平面，存在有能调节的选出装置，用于激活照明和/或探测光路的第一射束区段或者用于激活附加的光学路段，其中，照明和/或探测光路的第一射束区段不包含照明和/或探测光路的光瞳平面。
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公开(公告)号：CN109786195A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201811356208.1
申请日：2018-11-14
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： D.普雷克斯扎斯
IPC: H01J37/147 , H01J37/28
Abstract: 一种用于调节粒子束显微镜的方法，当调节粒子束显微镜时，执行以下步骤：A：将束调节装置设置为第一设置W1，将物镜激励至第一物镜激励值I1，并且记录第一图像；B：将所述束调节装置设置为第二设置W2，并且记录第二图像；C：将所述束调节装置设置为所述第一设置W1，将所述物镜激励至第二物镜激励值I2，并且记录第三图像；D：将所述束调节装置设置为所述第二设置W2，并且记录第四图像；以及E：将所述束调节装置设置为根据这些图像确定的优化的设置Wopt，将所述物镜激励至第三物镜激励值I3＝I1+K*(I2-I1)，并且记录进一步图像。
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公开(公告)号：CN109557654A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201811123379.X
申请日：2018-09-26
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及浸没基体(5)，其被构造用于调整光学装置的分界面处的光学性能，所述浸没基体在浸没基体(5)的材料(6)中具有多孔结构，所述多孔结构具有孔(7)和/或纳米孔(8)，所述孔(7)具有选自大于20nm至200μm的范围的至少一个孔径，其中，纳米孔(8)具有选自0.5nm至20nm范围的至少一个平均孔径，所述多孔结构具有选自0.1-100MPa范围内的弹性模量E。本发明还涉及浸没基体(5)的应用、具有浸没基体(5)的装置以及浸没设备。
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公开(公告)号：CN109425978A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201810979516.3
申请日：2018-08-27
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 描述了用于样本的高分辨率2D扫描显微镜检查的方法和显微镜。在该方法中，利用照明辐射照射样本，使得照明辐射聚焦在样本中或上，以在一点处形成衍射受限的照明斑点，其中，该点以衍射受限的方式在空间分辨表面检测器上成像为衍射图像，其中，表面检测器具有解析衍射图像的衍射结构的空间分辨率，其中，成像点扩散函数和照明点扩散函数都不被操纵用于产生不对称，该点相对于样本以小于照明斑点的直径的一半的增量移位到不同扫描位置，其中，多个扫描位置在成像的焦平面的z位置固定时被扫描，读取表面检测器，并且根据表面检测器的数据和分配给所述数据的扫描位置来产生样本的2D图像，所述2D图像具有增加到超出用于成像的分辨率限制的分辨率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109416461A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201780041024.3
申请日：2017-06-29
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种在显微镜(1)的光学路径中调整样品保持件(7)的方法，其中将照明辐射(BS)中的至少一个束指引到样品保持件(7)上；通过检测器(19)检测由样品保持件(7)反射的一部分照明辐射(BSref)并且确定检测的照明辐射(BSref)的测量值；根据测量值，确定关于光学路径的样品保持件(7)的实际的目前位置；将确定的实际位置与期望的位置比较，并且产生用于修改实际的位置的控制命令，通过执行该控制命令将样品保持件(7)移动到期望的位置中。
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公开(公告)号：CN109313327A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201780035308.1
申请日：2017-06-02
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： 因格·克莱珀 , 托马斯·卡尔克布莱纳
CPC classification number: G02B21/0032 , G02B21/0036 , G02B21/0072 , G02B21/0076 , G02B21/008 , G02B21/367 , G02B27/10 , G02B27/48
Abstract: 本发明涉及一种显微镜(10)，其包括用于成像光路(16)、照射光路(14)、检测装置(20)和用于控制检测装置(20)和照射装置(18)的控制装置(22)。控制装置将阵列中的检测装置(20)的光源(24)分成至少第一组和第二组(54)，其中每组(54)由阵列中彼此相邻的光源(24)组成并覆盖阵列的一部分。控制装置(22)在一个时间点仅接通第一组(54)的一个光源(24)并按照顺序以一时钟周期切换第一组(54)的光源(24)，使得两个先后接通的光源(24)在阵列中彼此相邻，并且第二组(54)的光源(24)以与第一组(54)的光源(24)相同的时钟周期接通。控制装置(22)以与光源(24)的切换相同的时钟周期读取检测装置(20)。
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公开(公告)号：CN109272550A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201810788289.6
申请日：2018-07-17
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
CPC classification number: G06T5/003 , G06T5/50 , G06T7/248 , G06T7/30 , G06T2207/10061 , G06T2207/20201 , G06T2207/20221 , G06T7/73 , H01J37/26
Abstract: 一种使用粒子显微镜记录图像的方法包括：记录对象的多个图像，其中，这些所记录图像中的每一个所记录图像与图像数据相关联，所述图像数据包括与在所述所记录图像的坐标系中的位置相关联的强度值。所述方法进一步包括：确定在所述这些所记录图像的所述图像数据的坐标系之间的位移；基于所确定位移而确定所得图像的边界框；以及基于所述这些所记录图像的所述图像数据的与一些位置相关联的强度值来计算所述所得图像的图像数据，这些位置位于与所述所得图像相关联的、基于所述这些所记录图像的所述所确定位移的所述所确定边界框内。
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公开(公告)号：CN104897051B
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201410074532.X
申请日：2014-03-03
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明涉及用于对数码显微镜进行测量校准的校准板及其使用方法。所述校准板包括至少一个形成有表面构造的校准区，所述表面构造包括周期性地排布的多个格子单元，其中，每个格子单元的边界的至少一部分和/或顶点的至少一部分能够由所述数码显微镜的光学成像系统识别出。本发明还涉及包括所述校准板的数码显微镜系统。
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公开(公告)号：CN106574867B
公开(公告)日：2018-11-20
申请号：CN201580040299.6
申请日：2015-06-19
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 一种致动声光部件的方法和设备，所述声光部件影响穿过其中的光，尤其影响显微镜光路中的照明光和/或检测光，显微镜优选地是激光扫描显微镜，其中，照明波长和/或检测波长使用至少一个频率发生器设定，频率发生器连接到声光部件，并控制该影响，其中，优选地为了确保独立于温度的影响，频率发生器产生信号，该信号产生用于照明光和/或检测光的波长的强度分布的光谱扩展，其中，该致动由两个或更多个致动信号实现，使得产生声光部件的传递函数的两个或更多个重叠和/或叠加主瓣或主最大值。
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