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公开(公告)号：CN109272550B
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN201810788289.6
申请日：2018-07-17
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 一种使用粒子显微镜记录图像的方法包括：记录对象的多个图像，其中，这些所记录图像中的每一个所记录图像与图像数据相关联，所述图像数据包括与在所述所记录图像的坐标系中的位置相关联的强度值。所述方法进一步包括：确定在所述这些所记录图像的所述图像数据的坐标系之间的位移；基于所确定位移而确定所得图像的边界框；以及基于所述这些所记录图像的所述图像数据的与一些位置相关联的强度值来计算所述所得图像的图像数据，这些位置位于与所述所得图像相关联的、基于所述这些所记录图像的所述所确定位移的所述所确定边界框内。
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公开(公告)号：CN110310876B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN201910241576.X
申请日：2019-03-27
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/26
Abstract: 一种电子束显微镜，包括用于检测反向散射电子的能量敏感检测器(47)、以及用于处理检测器(47)的检测信号(67)的信号处理器(61)。该信号处理器包括模拟放大器(63)、窗口比较器(83)，该窗口比较器具有信号输入端(84)，该信号输入端连接至该模拟放大器的输出端(79)。在该信号处理器的输出端处(95)产生的信号是基于在该窗口比较器的输出端(85)处提供的信号产生的。该窗口比较器被配置为只有提供给其信号输入端的放大信号(81)小于或等于上限阈值且大于或等于下限阈值时，才输出预定信号(90)。
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公开(公告)号：CN110223899B
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN201910143644.9
申请日：2019-02-26
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： L.韩
IPC: H01J37/02 , H01J37/06 , H01J37/08 , H01J37/244
Abstract: 本发明涉及一种用于操作对物体进行成像、分析、和/或处理的装置的压力系统的方法。本发明涉及一种用于执行这种方法的粒子束装置。该方法包括：将泵与压力储器断开；将压力储器连接至真空腔室上；测量压力储器中存在的储器压力、确定第一时刻时储器压力的第一压力值以及第二时刻时储器压力的第二压力值，第二时刻晚于第一时刻；确定储器压力的第一压力值与储器压力的第二压力值之间的函数关系，函数关系是时间函数；针对晚于第二时刻的时刻来外推函数关系；使用外推的函数关系来确定阈值时刻，阈值时刻是外推的函数关系达到压力阈值时的时刻；确定储器压力达到压力阈值之前的剩余时间段；告知使用者和/或装置的控制系统剩余时间段。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116417314A
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202211629054.5
申请日：2022-12-07
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： L.韩
Abstract: 本发明涉及一种生成样品的表面部分的晶体取向图的方法。晶体取向图表示在表面部分的多个样品位置处的晶体取向。该方法包括：对于多个不同取向设置中的每一个，使用被引导到该表面部分并从该表面部分进行反向散射的带电粒子束的粒子来记录包括中心位置的该表面部分的图像，其中，这些取向设置中的每一个由方位角和仰角定义，在记录该相应图像期间，该带电粒子束在该方位角和该仰角下入射到该中心位置上；以及基于所记录的图像生成该晶体取向图。
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公开(公告)号：CN110310876A
公开(公告)日：2019-10-08
申请号：CN201910241576.X
申请日：2019-03-27
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/26
Abstract: 一种电子束显微镜，包括用于检测反向散射电子的能量敏感检测器(47)、以及用于处理检测器(47)的检测信号(67)的信号处理器(61)。该信号处理器包括模拟放大器(63)、窗口比较器(83)，该窗口比较器具有信号输入端(84)，该信号输入端连接至该模拟放大器的输出端(79)。在该信号处理器的输出端处(95)产生的信号是基于在该窗口比较器的输出端(85)处提供的信号产生的。该窗口比较器被配置为只有提供给其信号输入端的放大信号(81)小于或等于上限阈值且大于或等于下限阈值时，才输出预定信号(90)。
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公开(公告)号：CN109272550A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201810788289.6
申请日：2018-07-17
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
CPC classification number: G06T5/003 , G06T5/50 , G06T7/248 , G06T7/30 , G06T2207/10061 , G06T2207/20201 , G06T2207/20221 , G06T7/73 , H01J37/26
Abstract: 一种使用粒子显微镜记录图像的方法包括：记录对象的多个图像，其中，这些所记录图像中的每一个所记录图像与图像数据相关联，所述图像数据包括与在所述所记录图像的坐标系中的位置相关联的强度值。所述方法进一步包括：确定在所述这些所记录图像的所述图像数据的坐标系之间的位移；基于所确定位移而确定所得图像的边界框；以及基于所述这些所记录图像的所述图像数据的与一些位置相关联的强度值来计算所述所得图像的图像数据，这些位置位于与所述所得图像相关联的、基于所述这些所记录图像的所述所确定位移的所述所确定边界框内。
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公开(公告)号：CN111739775A
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN202010217498.2
申请日：2020-03-25
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： L.韩
IPC: H01J37/28
Abstract: 本申请涉及一种使用粒子束系统来生成物体(1)的结果图像(37)的方法。该方法包括使用粒子束系统来记录物体(1)的区域(33)的多个一次图像，其中，每个一次图像的记录包括使该一次粒子束在区域(33)上沿扫描方向扫描并且检测由此生成的二次粒子，其中，用于记录至少一对两个一次图像的扫描方向至少相差至少10°的第一阈值；以及基于多个一次图像，生成表示物体(1)的区域(33)的结果图像(37)。
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公开(公告)号：CN110223899A
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：CN201910143644.9
申请日：2019-02-26
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： L.韩
IPC: H01J37/02 , H01J37/06 , H01J37/08 , H01J37/244
Abstract: 本发明涉及一种用于操作对物体进行成像、分析、和/或处理的装置的压力系统的方法。本发明涉及一种用于执行这种方法的粒子束装置。该方法包括：将泵与压力储器断开；将压力储器连接至真空腔室上；测量压力储器中存在的储器压力、确定第一时刻时储器压力的第一压力值以及第二时刻时储器压力的第二压力值，第二时刻晚于第一时刻；确定储器压力的第一压力值与储器压力的第二压力值之间的函数关系，函数关系是时间函数；针对晚于第二时刻的时刻来外推函数关系；使用外推的函数关系来确定阈值时刻，阈值时刻是外推的函数关系达到压力阈值时的时刻；确定储器压力达到压力阈值之前的剩余时间段；告知使用者和/或装置的控制系统剩余时间段。
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