电子束显微镜
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110310876A

    公开(公告)日:2019-10-08

    申请号:CN201910241576.X

    申请日:2019-03-27

    Abstract: 一种电子束显微镜,包括用于检测反向散射电子的能量敏感检测器(47)、以及用于处理检测器(47)的检测信号(67)的信号处理器(61)。该信号处理器包括模拟放大器(63)、窗口比较器(83),该窗口比较器具有信号输入端(84),该信号输入端连接至该模拟放大器的输出端(79)。在该信号处理器的输出端处(95)产生的信号是基于在该窗口比较器的输出端(85)处提供的信号产生的。该窗口比较器被配置为只有提供给其信号输入端的放大信号(81)小于或等于上限阈值且大于或等于下限阈值时,才输出预定信号(90)。

    用于跟踪显微镜样品的装置和方法

    公开(公告)号:CN110444456A

    公开(公告)日:2019-11-12

    申请号:CN201910353504.4

    申请日:2019-04-28

    Inventor: W.伯杰 S.迪默

    Abstract: 本发明涉及一种用于容纳显微镜样品以便在显微镜系统中进行检查或处理的样品载体,其中,该样品载体可容纳在容纳装置中,使得处于容纳状态的样品载体采取相对于该容纳装置的某个限定取向。该样品载体具有单独样品载体标识符并且被设计成与该显微镜系统通信并且在该过程中将该单独样品载体标识符传送到该显微镜系统,使得容纳在该样品载体上的样品是可跟踪的。

    电子束显微镜
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110310876B

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN201910241576.X

    申请日:2019-03-27

    Abstract: 一种电子束显微镜,包括用于检测反向散射电子的能量敏感检测器(47)、以及用于处理检测器(47)的检测信号(67)的信号处理器(61)。该信号处理器包括模拟放大器(63)、窗口比较器(83),该窗口比较器具有信号输入端(84),该信号输入端连接至该模拟放大器的输出端(79)。在该信号处理器的输出端处(95)产生的信号是基于在该窗口比较器的输出端(85)处提供的信号产生的。该窗口比较器被配置为只有提供给其信号输入端的放大信号(81)小于或等于上限阈值且大于或等于下限阈值时,才输出预定信号(90)。

    用于跟踪显微镜样品的装置和方法

    公开(公告)号:CN110444456B

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN201910353504.4

    申请日:2019-04-28

    Inventor: W.伯杰 S.迪默

    Abstract: 本发明涉及一种用于容纳显微镜样品以便在显微镜系统中进行检查或处理的样品载体,其中,该样品载体可容纳在容纳装置中,使得处于容纳状态的样品载体采取相对于该容纳装置的某个限定取向。该样品载体具有单独样品载体标识符并且被设计成与该显微镜系统通信并且在该过程中将该单独样品载体标识符传送到该显微镜系统,使得容纳在该样品载体上的样品是可跟踪的。

    粒子束系统
    5.
    发明公开
    粒子束系统 审中-实审

    公开(公告)号:CN115931940A

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202211210551.1

    申请日:2022-09-30

    Abstract: 本发明涉及一种粒子束系统,该粒子束系统包括粒子束柱、检测系统40和控制器30。该粒子束柱被配置用于产生粒子束并将其引导到样品上,由此该样品发射带电粒子41。该检测系统40用于检测这些带电粒子41并且包括可以使带电粒子41加速的电极E、向电极E施加可调电势的电势源42、闪烁体43、和输出检测信号的光检测器44。该控制器30控制该电势源42并且被配置为基于该检测信号来改变电势,使得该闪烁体43在其饱和之外操作并且使得该光检测器44在其饱和之外操作。

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