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公开(公告)号：CN110310876B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN201910241576.X
申请日：2019-03-27
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/26
Abstract: 一种电子束显微镜，包括用于检测反向散射电子的能量敏感检测器(47)、以及用于处理检测器(47)的检测信号(67)的信号处理器(61)。该信号处理器包括模拟放大器(63)、窗口比较器(83)，该窗口比较器具有信号输入端(84)，该信号输入端连接至该模拟放大器的输出端(79)。在该信号处理器的输出端处(95)产生的信号是基于在该窗口比较器的输出端(85)处提供的信号产生的。该窗口比较器被配置为只有提供给其信号输入端的放大信号(81)小于或等于上限阈值且大于或等于下限阈值时，才输出预定信号(90)。
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公开(公告)号：CN112577985A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202010931769.0
申请日：2020-09-07
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G01N23/2251 , G01N23/2204 , G01N23/20091
Abstract: 本发明包括一种用于减少显微试样的EDS分析中的拓扑伪影的方法、以及一种电子显微镜系统和一种计算机程序产品。该方法是用电子显微镜系统执行的，其包括：生成电子束的电子柱；扫描系统；检测X射线信号的EDS检测器；固持该试样的可移动台，该台被配置为至少沿轴线x和y移动和绕旋转轴线旋转，该台被配置为执行计算中心旋转和/或同心旋转。该方法包括以下步骤：a)选择试样上的相关区域(ROI)，同时将该ROI相对于EDS检测器保持在第一取向；b)执行第一EDS分析，获得结果A；c)使该试样台绕该旋转轴旋转角度α，使得将该ROI相对于该EDS检测器保持在第二取向；d)补偿试样台旋转；e)执行第二EDS分析，获得结果B；f)合并结果A和结果B。
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公开(公告)号：CN110310876A
公开(公告)日：2019-10-08
申请号：CN201910241576.X
申请日：2019-03-27
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/26
Abstract: 一种电子束显微镜，包括用于检测反向散射电子的能量敏感检测器(47)、以及用于处理检测器(47)的检测信号(67)的信号处理器(61)。该信号处理器包括模拟放大器(63)、窗口比较器(83)，该窗口比较器具有信号输入端(84)，该信号输入端连接至该模拟放大器的输出端(79)。在该信号处理器的输出端处(95)产生的信号是基于在该窗口比较器的输出端(85)处提供的信号产生的。该窗口比较器被配置为只有提供给其信号输入端的放大信号(81)小于或等于上限阈值且大于或等于下限阈值时，才输出预定信号(90)。
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公开(公告)号：CN112577986B
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202011036541.1
申请日：2020-09-27
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G01N23/2252
Abstract: 一种EDX方法，包括：基于x射线辐射检测器的输出，生成具有多个图像元素的图像；向每个图像元素分配至少一组化学元素和这些化学元素的相对比例；确定两个图像元素子集；确定两个过滤器，这些过滤器从该图像元素的该组化学元素中选择预定子集；利用该第一过滤器和该第二过滤器分别过滤该图像元素的这些化学元素；基于过滤后的化学元素子集确定这些图像元素的代表性特征；以及使用这些代表性特征在显示设备上表示该图像元素。
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公开(公告)号：CN112577986A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202011036541.1
申请日：2020-09-27
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G01N23/2252
Abstract: 一种EDX方法，包括：基于x射线辐射检测器的输出，生成具有多个图像元素的图像；向每个图像元素分配至少一组化学元素和这些化学元素的相对比例；确定两个图像元素子集；确定两个过滤器，这些过滤器从该图像元素的该组化学元素中选择预定子集；利用该第一过滤器和该第二过滤器分别过滤该图像元素的这些化学元素；基于过滤后的化学元素子集确定这些图像元素的代表性特征；以及使用这些代表性特征在显示设备上表示该图像元素。
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