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公开(公告)号:CN109272550A
公开(公告)日:2019-01-25
申请号:CN201810788289.6
申请日:2018-07-17
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
CPC classification number: G06T5/003 , G06T5/50 , G06T7/248 , G06T7/30 , G06T2207/10061 , G06T2207/20201 , G06T2207/20221 , G06T7/73 , H01J37/26
Abstract: 一种使用粒子显微镜记录图像的方法包括:记录对象的多个图像,其中,这些所记录图像中的每一个所记录图像与图像数据相关联,所述图像数据包括与在所述所记录图像的坐标系中的位置相关联的强度值。所述方法进一步包括:确定在所述这些所记录图像的所述图像数据的坐标系之间的位移;基于所确定位移而确定所得图像的边界框;以及基于所述这些所记录图像的所述图像数据的与一些位置相关联的强度值来计算所述所得图像的图像数据,这些位置位于与所述所得图像相关联的、基于所述这些所记录图像的所述所确定位移的所述所确定边界框内。
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公开(公告)号:CN112577986B
公开(公告)日:2024-06-04
申请号:CN202011036541.1
申请日:2020-09-27
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G01N23/2252
Abstract: 一种EDX方法,包括:基于x射线辐射检测器的输出,生成具有多个图像元素的图像;向每个图像元素分配至少一组化学元素和这些化学元素的相对比例;确定两个图像元素子集;确定两个过滤器,这些过滤器从该图像元素的该组化学元素中选择预定子集;利用该第一过滤器和该第二过滤器分别过滤该图像元素的这些化学元素;基于过滤后的化学元素子集确定这些图像元素的代表性特征;以及使用这些代表性特征在显示设备上表示该图像元素。
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公开(公告)号:CN109272550B
公开(公告)日:2023-11-14
申请号:CN201810788289.6
申请日:2018-07-17
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 一种使用粒子显微镜记录图像的方法包括:记录对象的多个图像,其中,这些所记录图像中的每一个所记录图像与图像数据相关联,所述图像数据包括与在所述所记录图像的坐标系中的位置相关联的强度值。所述方法进一步包括:确定在所述这些所记录图像的所述图像数据的坐标系之间的位移;基于所确定位移而确定所得图像的边界框;以及基于所述这些所记录图像的所述图像数据的与一些位置相关联的强度值来计算所述所得图像的图像数据,这些位置位于与所述所得图像相关联的、基于所述这些所记录图像的所述所确定位移的所述所确定边界框内。
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公开(公告)号:CN112577986A
公开(公告)日:2021-03-30
申请号:CN202011036541.1
申请日:2020-09-27
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G01N23/2252
Abstract: 一种EDX方法,包括:基于x射线辐射检测器的输出,生成具有多个图像元素的图像;向每个图像元素分配至少一组化学元素和这些化学元素的相对比例;确定两个图像元素子集;确定两个过滤器,这些过滤器从该图像元素的该组化学元素中选择预定子集;利用该第一过滤器和该第二过滤器分别过滤该图像元素的这些化学元素;基于过滤后的化学元素子集确定这些图像元素的代表性特征;以及使用这些代表性特征在显示设备上表示该图像元素。
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公开(公告)号:CN112083195B
公开(公告)日:2024-07-02
申请号:CN202010458432.2
申请日:2020-05-26
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本文描述的发明涉及一种用于操作对物体进行成像、分析、和/或处理的粒子束装置的方法。而且,本文描述的发明涉及一种用于执行该方法的粒子束装置。该方法包括:识别该物体上的至少一个兴趣区域;定义:(i)用于分析该物体的分析序列,(ii)用于通过变形来处理该物体的处理序列,以及(iii)用于取决于该处理序列和/或该分析序列来调整该至少一个兴趣区域的调整序列;根据该处理序列通过变形来处理该物体和/或根据该分析序列来分析该物体;根据该调整序列来调整该至少一个兴趣区域;以及在调整该至少一个兴趣区域之后或之时,使用该粒子束装置的粒子束发生器产生的一次粒子束来对该至少一个兴趣区域进行成像和/或分析。
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公开(公告)号:CN112577985A
公开(公告)日:2021-03-30
申请号:CN202010931769.0
申请日:2020-09-07
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G01N23/2251 , G01N23/2204 , G01N23/20091
Abstract: 本发明包括一种用于减少显微试样的EDS分析中的拓扑伪影的方法、以及一种电子显微镜系统和一种计算机程序产品。该方法是用电子显微镜系统执行的,其包括:生成电子束的电子柱;扫描系统;检测X射线信号的EDS检测器;固持该试样的可移动台,该台被配置为至少沿轴线x和y移动和绕旋转轴线旋转,该台被配置为执行计算中心旋转和/或同心旋转。该方法包括以下步骤:a)选择试样上的相关区域(ROI),同时将该ROI相对于EDS检测器保持在第一取向;b)执行第一EDS分析,获得结果A;c)使该试样台绕该旋转轴旋转角度α,使得将该ROI相对于该EDS检测器保持在第二取向;d)补偿试样台旋转;e)执行第二EDS分析,获得结果B;f)合并结果A和结果B。
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公开(公告)号:CN112083195A
公开(公告)日:2020-12-15
申请号:CN202010458432.2
申请日:2020-05-26
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本文描述的发明涉及一种用于操作对物体进行成像、分析、和/或处理的粒子束装置的方法。而且,本文描述的发明涉及一种用于执行该方法的粒子束装置。该方法包括:识别该物体上的至少一个兴趣区域;定义:(i)用于分析该物体的分析序列,(ii)用于通过变形来处理该物体的处理序列,以及(iii)用于取决于该处理序列和/或该分析序列来调整该至少一个兴趣区域的调整序列;根据该处理序列通过变形来处理该物体和/或根据该分析序列来分析该物体;根据该调整序列来调整该至少一个兴趣区域;以及在调整该至少一个兴趣区域之后或之时,使用该粒子束装置的粒子束发生器产生的一次粒子束来对该至少一个兴趣区域进行成像和/或分析。
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