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公开(公告)号：CN110389144A
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201910306630.4
申请日：2019-04-16
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G01N23/2202 , H01J37/26
Abstract: 在生产TEM样品的方法中，物体(3)紧固到物体固持器(13)的元件(19)上使得该物体(3)的待加工的表面(11)被布置成与该元件(19)的旋转轴线(23)基本上垂直。离子束以掠入射被引导至待加工的表面(11)，其中，当离子束被引导至待加工的表面(11)时，该元件(19)采用相对于旋转轴线(23)的不同的旋转位置。
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公开(公告)号：CN110389144B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN201910306630.4
申请日：2019-04-16
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G01N23/2202 , H01J37/26
Abstract: 在生产TEM样品的方法中，物体(3)紧固到物体固持器(13)的元件(19)上使得该物体(3)的待加工的表面(11)被布置成与该元件(19)的旋转轴线(23)基本上垂直。离子束以掠入射被引导至待加工的表面(11)，其中，当离子束被引导至待加工的表面(11)时，该元件(19)采用相对于旋转轴线(23)的不同的旋转位置。
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公开(公告)号：CN112083195B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202010458432.2
申请日：2020-05-26
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本文描述的发明涉及一种用于操作对物体进行成像、分析、和/或处理的粒子束装置的方法。而且，本文描述的发明涉及一种用于执行该方法的粒子束装置。该方法包括：识别该物体上的至少一个兴趣区域；定义：(i)用于分析该物体的分析序列，(ii)用于通过变形来处理该物体的处理序列，以及(iii)用于取决于该处理序列和/或该分析序列来调整该至少一个兴趣区域的调整序列；根据该处理序列通过变形来处理该物体和/或根据该分析序列来分析该物体；根据该调整序列来调整该至少一个兴趣区域；以及在调整该至少一个兴趣区域之后或之时，使用该粒子束装置的粒子束发生器产生的一次粒子束来对该至少一个兴趣区域进行成像和/或分析。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111757093A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010240406.2
申请日：2020-03-30
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H04N17/00
Abstract: 本发明涉及用于确定和校正图像记录装置的图像记录像差的方法和装置。该方法包括：通过图像记录装置来记录第一图像，其中，该第一图像表示物体(1)的第一区域(3)；通过该图像记录装置来记录第二图像，其中，这些第二图像表示该第一区域3的相互不同的部分区域(7、9、11)，其中，这些部分区域(7、9、11)中的每一个都小于该第一区域(3)；以及基于该第一图像和这些第二图像来确定该图像记录装置的图像记录像差的至少一个值。
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公开(公告)号：CN111757093B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202010240406.2
申请日：2020-03-30
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H04N17/00
Abstract: 本发明涉及用于确定和校正图像记录装置的图像记录像差的方法和装置。该方法包括：通过图像记录装置来记录第一图像，其中，该第一图像表示物体(1)的第一区域(3)；通过该图像记录装置来记录第二图像，其中，这些第二图像表示该第一区域3的相互不同的部分区域(7、9、11)，其中，这些部分区域(7、9、11)中的每一个都小于该第一区域(3)；以及基于该第一图像和这些第二图像来确定该图像记录装置的图像记录像差的至少一个值。
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公开(公告)号：CN115372394A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202210527177.1
申请日：2022-05-16
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G01N23/2204 , G01N23/2251 , G01N23/2255
Abstract: 本发明涉及一种用于在粒子束显微镜的样品室中定位可移动物体的方法，该方法借助于柔性粒子束屏障执行。粒子束显微镜包括至少一个用于产生带电粒子束的粒子束柱、以及样品室、用于检测相互作用信号的检测器以及控制与评估单元。在该方法中，最初在样品室中提供物体。接下来，定义屏障区域，随后使用带电粒子束对屏障区域进行扫描。检测在扫描期间产生的相互作用信号。物体朝向屏障区域移动，其中，监视检测到的相互作用信号并登记信号变化，因此可以检测到物体进入屏障区域或离开屏障区域的时间。
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公开(公告)号：CN112083195A
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN202010458432.2
申请日：2020-05-26
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本文描述的发明涉及一种用于操作对物体进行成像、分析、和/或处理的粒子束装置的方法。而且，本文描述的发明涉及一种用于执行该方法的粒子束装置。该方法包括：识别该物体上的至少一个兴趣区域；定义：(i)用于分析该物体的分析序列，(ii)用于通过变形来处理该物体的处理序列，以及(iii)用于取决于该处理序列和/或该分析序列来调整该至少一个兴趣区域的调整序列；根据该处理序列通过变形来处理该物体和/或根据该分析序列来分析该物体；根据该调整序列来调整该至少一个兴趣区域；以及在调整该至少一个兴趣区域之后或之时，使用该粒子束装置的粒子束发生器产生的一次粒子束来对该至少一个兴趣区域进行成像和/或分析。
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公开(公告)号：CN110501357A
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201910386904.5
申请日：2019-05-09
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： J.比伯格
IPC: G01N23/04 , G01N23/2005 , G01N23/20025 , G01N23/2251
Abstract: 一种用于在显微镜系统中定位样本的方法，其中，利用显微镜系统观察和/或处理样本的感兴趣区域(ROI)，并且显微镜系统包括：光轴；用于接收样本的可移动样本载物台；存储设备，其存储描述样本的位置的数据记录；控制设备，所述控制设备能够借助于所存储的数据记录来控制样本载物台的移动。该方法包括以下步骤：a)将样本区域(ROI)保持在第一位置；b)存储第一数据记录，通过第一数据记录来描述第一位置，其中第一位置被定义为独立位置；c)存储第二数据记录，通过第二数据记录来描述第二位置，其中第二位置链接到独立位置；d)调用所存储的数据记录中的一个，使得样本载物台移动以使得样本区域保持在由所调用的数据记录所描述的位置。
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